热蒸发镀膜系统自购结果公示
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热蒸发镀膜系统自购结果公示
| 供应商： | (略) |
|---|---|
| 中标金额： | # |
| 公示开始日期 | 2024-10-14 | 公示截止日期 | 2024-10-15 14:14:08 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 国家胶体材料工程技术研究中心 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 热蒸发镀膜系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | 光拓 | 规格型号 | GT600 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 极限真空，3.5*10-5pa，抽真空速度，30分钟达到5*10-4pa，氮气环境时间缩短一半。 腔体保压，12小时小于5pa。 蒸发源数量，8组金属源，并配备相应源挡板，开关方式为左右旋转。 基片盘大小，210mm*210mm，向下兼容，带水冷，旋转速度0-30转/分钟可调，掩膜与基片对位精度可以达到+/-50μm。 蒸镀速率，可蒸金属：以Ag为标准，蒸镀速率：速度稳定性：≤±10%（0.1-0.5A/s），≤±5%（0.5-10A/s），≤± 4%（＞10A/s）； 单片内膜厚匀性：±5%,测试方法： (略) 范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大 值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于15 mm×15 mm | ||
| 售后服务 | (略) 点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后2小时; | ||
资产与实验室管理部
2024-10-14
| 供应商： | (略) |
|---|---|
| 中标金额： | # |
| 公示开始日期 | 2024-10-14 | 公示截止日期 | 2024-10-15 14:14:08 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 国家胶体材料工程技术研究中心 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 热蒸发镀膜系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | 光拓 | 规格型号 | GT600 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 极限真空，3.5*10-5pa，抽真空速度，30分钟达到5*10-4pa，氮气环境时间缩短一半。 腔体保压，12小时小于5pa。 蒸发源数量，8组金属源，并配备相应源挡板，开关方式为左右旋转。 基片盘大小，210mm*210mm，向下兼容，带水冷，旋转速度0-30转/分钟可调，掩膜与基片对位精度可以达到+/-50μm。 蒸镀速率，可蒸金属：以Ag为标准，蒸镀速率：速度稳定性：≤±10%（0.1-0.5A/s），≤±5%（0.5-10A/s），≤± 4%（＞10A/s）； 单片内膜厚匀性：±5%,测试方法： (略) 范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大 值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于15 mm×15 mm | ||
| 售后服务 | (略) 点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后2小时; | ||
资产与实验室管理部
2024-10-14
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