机械工程学院磁控溅射设备采购项目竞价成交公告
机械工程学院磁控溅射设备采购项目竞价成交公告
序号 | 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
1 | 磁控溅射腔体 | 品牌:无 ;型号:VCT300 | 1/套 | # | 高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛 (略) 理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:2个(1 (略) 、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个 |
2 | 真空机组 | 品牌:无;型号:FF150 | 1/套 | # | 高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间 (略) :1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台 |
3 | 加热样品台 | 品牌:无;型号:DN100 | 1/套 | # | 高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。 |
序号 | 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
1 | 磁控溅射腔体 | 品牌:无 ;型号:VCT300 | 1/套 | # | 高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛 (略) 理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:2个(1 (略) 、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个 |
2 | 真空机组 | 品牌:无;型号:FF150 | 1/套 | # | 高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间 (略) :1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台 |
3 | 加热样品台 | 品牌:无;型号:DN100 | 1/套 | # | 高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。 |
序号 | 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
1 | 磁控溅射腔体 | 品牌:无 ;型号:VCT300 | 1/套 | # | 高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛 (略) 理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:2个(1 (略) 、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个 |
2 | 真空机组 | 品牌:无;型号:FF150 | 1/套 | # | 高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间 (略) :1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台 |
3 | 加热样品台 | 品牌:无;型号:DN100 | 1/套 | # | 高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。 |
序号 | 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
1 | 磁控溅射腔体 | 品牌:无 ;型号:VCT300 | 1/套 | # | 高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛 (略) 理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:2个(1 (略) 、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个 |
2 | 真空机组 | 品牌:无;型号:FF150 | 1/套 | # | 高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间 (略) :1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台 |
3 | 加热样品台 | 品牌:无;型号:DN100 | 1/套 | # | 高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。 |
序号 | 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
1 | 磁控溅射腔体 | 品牌:无 ;型号:VCT300 | 1/套 | # | 高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛 (略) 理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:2个(1 (略) 、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个 |
2 | 真空机组 | 品牌:无;型号:FF150 | 1/套 | # | 高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间 (略) :1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台 |
3 | 加热样品台 | 品牌:无;型号:DN100 | 1/套 | # | 高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。 |
序号 | 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
1 | 磁控溅射腔体 | 品牌:无 ;型号:VCT300 | 1/套 | # | 高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛 (略) 理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:2个(1 (略) 、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个 |
2 | 真空机组 | 品牌:无;型号:FF150 | 1/套 | # | 高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间 (略) :1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台 |
3 | 加热样品台 | 品牌:无;型号:DN100 | 1/套 | # | 高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。 |
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