智能型等离子体增强化学气相沉积系统自购结果公示
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智能型等离子体增强化学气相沉积系统自购结果公示
| 供应商： | 安徽贝 (略) |
|---|---|
| 中标金额： | # |
| 公示开始日期 | 2024-10-16 | 公示截止日期 | 2024-10-17 17:50:52 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 新一代半导 (略) | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 (略) 半导体大楼471 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 智能型等离子体增强化学气相沉积系统 | 1 | 套 |
| 品牌 | 贝意克 | 规格型号 | PECVD-400C-1000A |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | ·型号 PECVD-400C-1000A ·加热炉参数：最高温度：1200oC；两个PID温度控制器及30段可编程温控系统；炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管；系统附加滑动轨道，方便材料生长过程的快速升降温 ·预热炉 800℃ ·射频电源：输出功率0-1000W可调 ·真空系统：低真空机组VAU-02真空度可达5X10-1Pa，真空计英福康（PCG550） ·供气系统：四通道质子流量计控制系统 HORIBA | ||
| 售后服务 | (略) 点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后12小时; | ||
资产与实验室管理部
2024-10-16
| 供应商： | 安徽贝 (略) |
|---|---|
| 中标金额： | # |
| 公示开始日期 | 2024-10-16 | 公示截止日期 | 2024-10-17 17:50:52 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 新一代半导 (略) | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 (略) 半导体大楼471 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
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| 智能型等离子体增强化学气相沉积系统 | 1 | 套 |
| 品牌 | 贝意克 | 规格型号 | PECVD-400C-1000A |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | ·型号 PECVD-400C-1000A ·加热炉参数：最高温度：1200oC；两个PID温度控制器及30段可编程温控系统；炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管；系统附加滑动轨道，方便材料生长过程的快速升降温 ·预热炉 800℃ ·射频电源：输出功率0-1000W可调 ·真空系统：低真空机组VAU-02真空度可达5X10-1Pa，真空计英福康（PCG550） ·供气系统：四通道质子流量计控制系统 HORIBA | ||
| 售后服务 | (略) 点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后12小时; | ||
资产与实验室管理部
2024-10-16
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