月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工成交公告
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月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工成交公告
1.项目名称：MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工
2.成交供应商名称：安徽 (略)
3.成交供应商地址：中国（安徽）自由贸 (略) (略) (略) 长 (略) 南侧H-2路西侧智能显示产业园内6#厂房
4.成交金额(币种)：18.*元
5.付款方式：合同签订后15个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后付合同金额70%，
| 序号 | 服务内容 | 服务期限 |
| 1 | 技术指标: (1)光刻精度:1um (2)光刻胶厚度:>10um; (3)金属镀膜厚度误差:±50nm; 晶圆数量:12个 | 三个月 |
华中科技 (略)
2024年11月06日
1.项目名称：MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工
2.成交供应商名称：安徽 (略)
3.成交供应商地址：中国（安徽）自由贸 (略) (略) (略) 长 (略) 南侧H-2路西侧智能显示产业园内6#厂房
4.成交金额(币种)：18.*元
5.付款方式：合同签订后15个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后付合同金额70%，
| 序号 | 服务内容 | 服务期限 |
| 1 | 技术指标: (1)光刻精度:1um (2)光刻胶厚度:>10um; (3)金属镀膜厚度误差:±50nm; 晶圆数量:12个 | 三个月 |
华中科技 (略)
2024年11月06日
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