一、采购单位：电子与 (略)

二、项目名称：真空内二维材料转移系统

三、公开信息：

1.设备名称：真空内二维材料转移系统

2.数量：1

3.关键技术指标：xyz三维行程25mm，定位精度：±1μm； 平面度调节: ⊕X=±5°， ⊕Y=±5°；调节精度：±0.1°；真空连接采用柔性金属波纹管，其自由行程能够支持五轴真空外联动

4.预算金额：*

5.拟成交供应商： (略) (略)

6.拟成交价格：*

电子与 (略)

2024年11月28日

一、采购单位：电子与 (略)

二、项目名称：真空内二维材料转移系统

三、公开信息：

1.设备名称：真空内二维材料转移系统

2.数量：1

3.关键技术指标：xyz三维行程25mm，定位精度：±1μm； 平面度调节: ⊕X=±5°， ⊕Y=±5°；调节精度：±0.1°；真空连接采用柔性金属波纹管，其自由行程能够支持五轴真空外联动

4.预算金额：*

5.拟成交供应商： (略) (略)

6.拟成交价格：*

电子与 (略)

2024年11月28日