激光直写成交结果公告
激光直写成交结果公告
项目名称 | 激光直写 | 项目编号 | HITSZWJ* |
---|---|---|---|
公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
采购单位 | 哈尔滨工业大学(深圳) | 付款方式 | 合同签订后15日内预付70%,设备到货验收合格后支付30% |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后90个工作日内 |
预 算 | *.0 | ||
收货地址 | 哈尔滨工业大学(深圳) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
激光直写 | 1 | 台 | 无 |
品牌 | 合肥芯碁 |
---|---|
型号 | 点击查看>> |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | *.0 |
技术参数及配置要求 | 光源类型:LD375nm; 光源功率:≥2.6W; 光源寿命:≥*小时(激光上电时间); 能量均匀性:≥95%(功率计测试) (略) 支持:≥8英寸; 光刻幅面:≥200mm x200mm; 写入速度:≥250mm2/min; 最小结构尺寸:0.6μm; 基板厚度:0.2~4mm; 数据格式:支持多种数据格式输入(GDS/DXF/CTF/Gerber/BMP/TIFF); 自动对焦功能:具备; 网格精度:≥45nm; 套刻精度:±0.5um; 拼接误差:±100nm(显影后测量); 曝光功能:支持快速、精细两种曝光模式; |
售后服务 | 无 |
项目名称 | 激光直写 | 项目编号 | HITSZWJ* |
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公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
采购单位 | 哈尔滨工业大学(深圳) | 付款方式 | 合同签订后15日内预付70%,设备到货验收合格后支付30% |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后90个工作日内 |
预 算 | *.0 | ||
收货地址 | 哈尔滨工业大学(深圳) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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激光直写 | 1 | 台 | 无 |
品牌 | 合肥芯碁 |
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型号 | 点击查看>> |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | *.0 |
技术参数及配置要求 | 光源类型:LD375nm; 光源功率:≥2.6W; 光源寿命:≥*小时(激光上电时间); 能量均匀性:≥95%(功率计测试) (略) 支持:≥8英寸; 光刻幅面:≥200mm x200mm; 写入速度:≥250mm2/min; 最小结构尺寸:0.6μm; 基板厚度:0.2~4mm; 数据格式:支持多种数据格式输入(GDS/DXF/CTF/Gerber/BMP/TIFF); 自动对焦功能:具备; 网格精度:≥45nm; 套刻精度:±0.5um; 拼接误差:±100nm(显影后测量); 曝光功能:支持快速、精细两种曝光模式; |
售后服务 | 无 |
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