序号

服务内容

服务期限

1

透射电子显微镜测试（TEM）：观察检测材料中的位错、空隙等微观缺陷，分析器件横截面，观察界面质量，确定薄膜厚度和层间界面形貌。

1.*方合同签订后3个月内完成需求方所有开发任务和产品交付；

2.验收后，*方提供周期1年的免费售后服务和相应的技术支持。

2

X射线衍射分析（XRD）：鉴定材料晶体相，评估功能层中的应力状态以及晶粒取向，帮助优化沉积工艺。

3

X射线光电子能谱分析（XPS）：确定功能层材料的化学组成及键合状态，分析界面元素扩散情况及化学态对器件性能的影响。

4

扫描电子显微镜观测（SEM）：观察功能层表面微结构和粗糙度，评估薄膜质量和均匀性，确定微结构尺寸，辅助工艺优化。

5

原子力显微镜测试（AFM）：获得薄膜表面粗糙度信息，优化薄膜生长条件。

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服务内容

服务期限

1

透射电子显微镜测试（TEM）：观察检测材料中的位错、空隙等微观缺陷，分析器件横截面，观察界面质量，确定薄膜厚度和层间界面形貌。

1.*方合同签订后3个月内完成需求方所有开发任务和产品交付；

2.验收后，*方提供周期1年的免费售后服务和相应的技术支持。

2

X射线衍射分析（XRD）：鉴定材料晶体相，评估功能层中的应力状态以及晶粒取向，帮助优化沉积工艺。

3

X射线光电子能谱分析（XPS）：确定功能层材料的化学组成及键合状态，分析界面元素扩散情况及化学态对器件性能的影响。

4

扫描电子显微镜观测（SEM）：观察功能层表面微结构和粗糙度，评估薄膜质量和均匀性，确定微结构尺寸，辅助工艺优化。

5

原子力显微镜测试（AFM）：获得薄膜表面粗糙度信息，优化薄膜生长条件。