衬底表面残余应力测量系统成交结果公告
衬底表面残余应力测量系统成交结果公告
项目名称 | 衬底表面残余应力测量系统 | 项目编号 | 2024CGZXWSJJ0257 |
---|---|---|---|
公告开始日期 | # | 公告截止日期 | # |
采购单位 | 华侨大学 | 付款方式 | 其他 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后120个工作日内 |
预 算 | #.0 | ||
收货地址 | 华侨大学( (略) ) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
衬底表面残余应力测量系统 | 1 | 台 | 应变及振动测试仪器 |
品牌 | 北京中天海泓 |
---|---|
型号 | * |
品牌2 | 镇江巴沃 |
型号 | * |
品牌3 | 艾特蒙特 |
型号 | * |
预算 | #.0 |
技术参数及配置要求 | 设备功能:基于偏振显微方法,配置透反射测量模式,实现半导体衬底表面残余应力无损、全场测量,单点测量时间约100 ms,还可用于测试和分析薄膜、半导体器件内部或结构表面应力状态。 a)系统框架:系统主体采用多轴笼式结构标准件搭建,系统结构相对稳定,部分光学元件需具备旋转调节或快拆更换功能; b)2个系统光源# 系列:532 nm半导体激光光源,功率≥8 mW; c)2套光源驱动LTC56A/M 系列、LDMXY等:半导体激光管驱动套件,包含激光二极管安装座、准直光学元件及配件。套件里面还有电流控制器、温度控制器、激光二极管安装座以及相关配件; d)2个偏振器#系列:适用波段400 nm-700 nm,消光比≥#:1,通光孔径≥10mm; e)2个相位延迟片:消色差四分之一波片,带?1英寸外壳,波段400 - 800 nm; f)2套电动旋转器件DDR25/M、KCH301 系列等:兼容同轴笼式系统,最高转速≥1500°/S; g)2套K-Cube无刷直流伺服驱动器:前面板的速度轮和数字显示器,用于控制电动位移台或驱动器,两个SMC双向触发端口,用于读取或控制外部设备,使用附带的USB线连接计算机,完全兼容Kinesis?软件包。 h)系统图像采集单元:彩色偏振相机,#像素,像元尺寸3.45 μm,帧频; i)相机电源规格:12V/1.5A。 测量输出项目:样品图、应力分布图 |
售后服务 | 1.邮寄到指定地点;2.后续耗材采购渠道畅通;3.系统器件质保一年。; |
项目名称 | 衬底表面残余应力测量系统 | 项目编号 | 2024CGZXWSJJ0257 |
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公告开始日期 | # | 公告截止日期 | # |
采购单位 | 华侨大学 | 付款方式 | 其他 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后120个工作日内 |
预 算 | #.0 | ||
收货地址 | 华侨大学( (略) ) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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衬底表面残余应力测量系统 | 1 | 台 | 应变及振动测试仪器 |
品牌 | 北京中天海泓 |
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型号 | * |
品牌2 | 镇江巴沃 |
型号 | * |
品牌3 | 艾特蒙特 |
型号 | * |
预算 | #.0 |
技术参数及配置要求 | 设备功能:基于偏振显微方法,配置透反射测量模式,实现半导体衬底表面残余应力无损、全场测量,单点测量时间约100 ms,还可用于测试和分析薄膜、半导体器件内部或结构表面应力状态。 a)系统框架:系统主体采用多轴笼式结构标准件搭建,系统结构相对稳定,部分光学元件需具备旋转调节或快拆更换功能; b)2个系统光源# 系列:532 nm半导体激光光源,功率≥8 mW; c)2套光源驱动LTC56A/M 系列、LDMXY等:半导体激光管驱动套件,包含激光二极管安装座、准直光学元件及配件。套件里面还有电流控制器、温度控制器、激光二极管安装座以及相关配件; d)2个偏振器#系列:适用波段400 nm-700 nm,消光比≥#:1,通光孔径≥10mm; e)2个相位延迟片:消色差四分之一波片,带?1英寸外壳,波段400 - 800 nm; f)2套电动旋转器件DDR25/M、KCH301 系列等:兼容同轴笼式系统,最高转速≥1500°/S; g)2套K-Cube无刷直流伺服驱动器:前面板的速度轮和数字显示器,用于控制电动位移台或驱动器,两个SMC双向触发端口,用于读取或控制外部设备,使用附带的USB线连接计算机,完全兼容Kinesis?软件包。 h)系统图像采集单元:彩色偏振相机,#像素,像元尺寸3.45 μm,帧频; i)相机电源规格:12V/1.5A。 测量输出项目:样品图、应力分布图 |
售后服务 | 1.邮寄到指定地点;2.后续耗材采购渠道畅通;3.系统器件质保一年。; |
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