一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-24-G*

2、项目名称：科研用准分子激光腔体及氟气过滤器采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：科研用准分子激光腔体及氟气过滤器，详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由：为保证我校已购准分子激光器（原厂：GIGAPHOTON INC）及光刻机（原厂：佳能株式会社）的使用稳定性（其中准分子激光器是光刻机的光源部件），本项目拟采购准分子激光腔体2套、准分子激光氟气过滤器 4 套。

经调研及专家论证，准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器用于产生步进式光刻机的核心光源，如果没有及时更换，将直接影响光刻工艺的精度良率以及氟气排放的安全性。经调研及专家论证，GIGAPHOTON INC原厂生产的激光腔体及氟气过滤器广泛应用于步进式光刻机，考虑到准分子激光器及光刻机的安全性和稳定性，须从原厂采购配套的腔体、过滤器等耗材备件，才可完全满足采购人微纳加工光刻工艺的科研需求。

综上所述，本项目拟采用定向采购方式，向亘福（上海） (略) （GIGAPHOTON INC指定的中国大*唯一指定的服务及配件耗材供应商），采购准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器。

2、申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第1点“货物或服务只能由唯一供应商提供”情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：亘福（上海） (略) ；地址： (略) (略) (略) 515号森兰美奂南楼C座16楼

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：黄老师

联系电话：020-*

联系邮箱：*@*kust-http://**

香港科技大学（广州） (略)

2024年12月12日

一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-24-G*

2、项目名称：科研用准分子激光腔体及氟气过滤器采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：科研用准分子激光腔体及氟气过滤器，详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由：为保证我校已购准分子激光器（原厂：GIGAPHOTON INC）及光刻机（原厂：佳能株式会社）的使用稳定性（其中准分子激光器是光刻机的光源部件），本项目拟采购准分子激光腔体2套、准分子激光氟气过滤器 4 套。

经调研及专家论证，准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器用于产生步进式光刻机的核心光源，如果没有及时更换，将直接影响光刻工艺的精度良率以及氟气排放的安全性。经调研及专家论证，GIGAPHOTON INC原厂生产的激光腔体及氟气过滤器广泛应用于步进式光刻机，考虑到准分子激光器及光刻机的安全性和稳定性，须从原厂采购配套的腔体、过滤器等耗材备件，才可完全满足采购人微纳加工光刻工艺的科研需求。

综上所述，本项目拟采用定向采购方式，向亘福（上海） (略) （GIGAPHOTON INC指定的中国大*唯一指定的服务及配件耗材供应商），采购准分子激光腔体、准分子激光氟气过滤器。

2、申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第1点“货物或服务只能由唯一供应商提供”情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：亘福（上海） (略) ；地址： (略) (略) (略) 515号森兰美奂南楼C座16楼

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：黄老师

联系电话：020-*

联系邮箱：*@*kust-http://**

香港科技大学（广州） (略)

2024年12月12日