年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告1
年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告1
【中国 (略) 】
项目名称:北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目
招标项目编号:1495-244thhrlab12
招标范围:N型碳化硅外延炉是一种通过化学气相沉积(CVD)方法生长碳化硅外延层的设备,该设备气流进气方向与晶圆表面垂直,兼容6/8英寸衬底,单次生长最大厚度≥100微米,且满足片内厚度不均匀性小于2%,片内掺杂浓度不均匀性小于5%,表面致命缺陷密度小于0.5cm^-2的技术指标。
招标机构: (略)
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2024-12-11 09:30
公示开始时间:2024-12-16 13:36
评标公示截止时间:2024-12-19 23:59
中标候选人名单:
候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国 (略) |
---|---|---|---|
1 | NuFlare Technology, Inc. | NuFlare Technology, Inc. | 日本 |
【中国 (略) 】
项目名称:北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目
招标项目编号:1495-244thhrlab12
招标范围:N型碳化硅外延炉是一种通过化学气相沉积(CVD)方法生长碳化硅外延层的设备,该设备气流进气方向与晶圆表面垂直,兼容6/8英寸衬底,单次生长最大厚度≥100微米,且满足片内厚度不均匀性小于2%,片内掺杂浓度不均匀性小于5%,表面致命缺陷密度小于0.5cm^-2的技术指标。
招标机构: (略)
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2024-12-11 09:30
公示开始时间:2024-12-16 13:36
评标公示截止时间:2024-12-19 23:59
中标候选人名单:
候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国 (略) |
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1 | NuFlare Technology, Inc. | NuFlare Technology, Inc. | 日本 |
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