年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告1

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年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告1

【中国 (略) 】

项目名称:北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目

招标项目编号:1495-244thhrlab12

招标范围:N型碳化硅外延炉是一种通过化学气相沉积(CVD)方法生长碳化硅外延层的设备,该设备气流进气方向与晶圆表面垂直,兼容6/8英寸衬底,单次生长最大厚度≥100微米,且满足片内厚度不均匀性小于2%,片内掺杂浓度不均匀性小于5%,表面致命缺陷密度小于0.5cm^-2的技术指标。

招标机构: (略)

招标人:北京怀柔实验室

开标时间:2024-12-11 09:30

公示开始时间:2024-12-16 13:36

评标公示截止时间:2024-12-19 23:59


中标候选人名单:

候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国 (略)
1 NuFlare Technology, Inc. NuFlare Technology, Inc. 日本


, (略)

【中国 (略) 】

项目名称:北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目

招标项目编号:1495-244thhrlab12

招标范围:N型碳化硅外延炉是一种通过化学气相沉积(CVD)方法生长碳化硅外延层的设备,该设备气流进气方向与晶圆表面垂直,兼容6/8英寸衬底,单次生长最大厚度≥100微米,且满足片内厚度不均匀性小于2%,片内掺杂浓度不均匀性小于5%,表面致命缺陷密度小于0.5cm^-2的技术指标。

招标机构: (略)

招标人:北京怀柔实验室

开标时间:2024-12-11 09:30

公示开始时间:2024-12-16 13:36

评标公示截止时间:2024-12-19 23:59


中标候选人名单:

候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国 (略)
1 NuFlare Technology, Inc. NuFlare Technology, Inc. 日本


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