高真空电阻热蒸发镀膜机

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高真空电阻热蒸发镀膜机


待竞价详细（ 点击查看>> ）---- (略)
申购单主题：高真空电阻热蒸发镀膜机申购单位：电子 (略) （ (略) ）是否含税：是使用币种： 人民币
申购备注：
设备名称 (略) 商型号是否标配规格数量报价类型售后服务附件
高真空电阻热蒸发镀膜机 (略) (略) VZZ- * S 是 净空间尺寸不小于Φ * ×H * mm；主泵分子泵抽速不小于 * m3／h，双级旋片泵抽速不小 * m3／h，主泵需采用国产或进口知名品牌，全量程数显复合真空计量程：1× * ～1× * -5Pa；机械泵抽速需要注明分子泵、双级旋片泵品牌；真空极限 * -8Torr；抽至2× * -6Torr≤ * min； (略) 理基片不小于4英寸，均匀性不差于5%，基片台配有气动挡板，随设备提供 * 块掩膜板；基片台旋转且衬底水冷：旋转速度0- * 转／分连续可调；不少于3组蒸发源，源间配隔离挡板，源上有独立挡板；蒸发电源功率不小于2.4KW，采用日本TDK品牌；采用进口品牌石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；测量频率范围1.0～6.5MHz，速率显示为0.1A／s，厚度分辨率±0.1A；不少于1个探头， * 片6MHz原装晶振片；采用PLC手自动控制，触摸屏操作，采用西门子、 * 菱或者同等知名品牌；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～ * ℃，控温精度±0.1℃；整机免费保修期不少于2年， (略) 保修。交货后需提供技术培训。要求提供全新分子泵，机械泵，真空计，膜厚 (略) 日期 (略) 日期 * 个月；交货期：合同签订后6周内 1.0 国内含税价;
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