品牌

无指定品牌

型号

无指定型号

技术规格及参数

1. 曝光面积：4英寸
2. 分辨率：2um
3. 曝光波长： * nm / * nm / * nm可选
4. 全幅面照明能量密度： * mW / cm2 ± * %
5. 曝光温度变化：小于1度
6. 光源：LED (略) 命光源
7. 可编程曝光时间（连续或非连续）：1秒至 * 小时定时
8. 操作方式：台式设计，不需电脑可直接触屏控制，触摸屏尺寸5.7英寸
9. 整机能耗： * W
* . 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1. 质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

品牌

无指定品牌

型号

无指定型号

技术规格及参数

1. 集成匀胶及显影功能。
2. 转速范围：0~ * 0rpm可调
3. 匀胶加速度：0~ * 0rpm/s可调
4. 转速精度：±1rpm
5. 匀胶尺寸：1cm碎片至8英寸
6. 匀胶时间设置范围：0~ * s/步
7. 控制系统：7寸触摸屏，可存储 * 组旋涂程序
8. 显影系统：喷嘴 * 只（用于喷液），分两路；药液回吸阀单元2只；液体控制器两套；2L不锈钢压力桶两只；电磁阀控制吹气嘴1套
9. 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

品牌

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型号

无指定型号

技术规格及参数

1. 温度控制范围：RT~ * ℃
2. 温度调节分辨率：0.1℃
3. 温度控制精度：±0.5℃
4. 温度均 * 性：±1%
5. 升温速率：0.1~ * ℃/min
6. 加热面积： * mm× * mm
7. 电动顶针高度：0~ * mm，顶针高度分辨率：0.1mm
8. 控制界面：7寸触摸屏，可储存 * 组Recipe
9. 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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型号

无指定型号

技术规格及参数

1. 舱体材质：铝合金
2. 舱体尺寸： * mm x * mm x * mm (W x D x H)
3. 电源功率：最大 * W，功率可调节
4. 气体输入：带1路自动气体流量控制器
5. 气体流速控制范围：最大 * sccm，控制精度：满量程的1%
6. 真空泵抽气速率：最大 * l/min
7. 真空泵极限真空：1 x * -3 Torr
8. 真空计测量范围：大气压 ~ 5 x * -5 Torr
9. 控制方式：触屏控制，可设置2级操作员权限分级
* . 图形化控制界面，可 (略) 半自动控制；也可全自动编程控制，编程模式可存储 * 组Recipe，每组Recipe可容纳 * 个Step
* . 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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型号

无指定型号

技术规格及参数

1. 提供CCD及LCD显示屏，方便用 (略) 对位及定位。
2. 配备1套空心打孔针及 (略) 石基座
3. 空心针配有金属针芯，可自动退出打孔孔芯材料
4. 针头尺寸支持更换
5. 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

1. 曝光面积：4英寸
2. 分辨率：2um
3. 曝光波长： * nm / * nm / * nm可选
4. 全幅面照明能量密度： * mW / cm2 ± * %
5. 曝光温度变化：小于1度
6. 光源：LED (略) 命光源
7. 可编程曝光时间（连续或非连续）：1秒至 * 小时定时
8. 操作方式：台式设计，不需电脑可直接触屏控制，触摸屏尺寸5.7英寸
9. 整机能耗： * W
* . 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1. 质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

1. 集成匀胶及显影功能。
2. 转速范围：0~ * 0rpm可调
3. 匀胶加速度：0~ * 0rpm/s可调
4. 转速精度：±1rpm
5. 匀胶尺寸：1cm碎片至8英寸
6. 匀胶时间设置范围：0~ * s/步
7. 控制系统：7寸触摸屏，可存储 * 组旋涂程序
8. 显影系统：喷嘴 * 只（用于喷液），分两路；药液回吸阀单元2只；液体控制器两套；2L不锈钢压力桶两只；电磁阀控制吹气嘴1套
9. 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

1. 温度控制范围：RT~ * ℃
2. 温度调节分辨率：0.1℃
3. 温度控制精度：±0.5℃
4. 温度均 * 性：±1%
5. 升温速率：0.1~ * ℃/min
6. 加热面积： * mm× * mm
7. 电动顶针高度：0~ * mm，顶针高度分辨率：0.1mm
8. 控制界面：7寸触摸屏，可储存 * 组Recipe
9. 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

品牌

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无指定型号

技术规格及参数

1. 舱体材质：铝合金
2. 舱体尺寸： * mm x * mm x * mm (W x D x H)
3. 电源功率：最大 * W，功率可调节
4. 气体输入：带1路自动气体流量控制器
5. 气体流速控制范围：最大 * sccm，控制精度：满量程的1%
6. 真空泵抽气速率：最大 * l/min
7. 真空泵极限真空：1 x * -3 Torr
8. 真空计测量范围：大气压 ~ 5 x * -5 Torr
9. 控制方式：触屏控制，可设置2级操作员权限分级
* . 图形化控制界面，可 (略) 半自动控制；也可全自动编程控制，编程模式可存储 * 组Recipe，每组Recipe可容纳 * 个Step
* . 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

1. 提供CCD及LCD显示屏，方便用 (略) 对位及定位。
2. 配备1套空心打孔针及 (略) 石基座
3. 空心针配有金属针芯，可自动退出打孔孔芯材料
4. 针头尺寸支持更换
5. 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。