品牌

无指定品牌

型号

无指定型号

技术规格及参数

1.技术指标及要求
1.1 直写性能：
无需物理掩膜板；
直写分辨率：0.6μm，1.0μm，2.0μm，5.0μm，且4种分辨率模式可通过软件自动切换；
最快直写速度（mm2/min）： * .6μm， * μm， * μm， * μm；
对准对准显微镜镜头：x3, x5, x * , x * 自动切换，多层套刻精度：±0.5um；
最小栅格精度： * nm
样品台最小步长： * nm
最小栅格精度： * nm
光学轮廓Z分辨率: * nm
样品表面自动对焦: 是
自动晶片检查工具：有
温控样品腔室：有
虚拟模板校准工具：有
气动减震光学平台：（机内配置）
灰度直写等级： * 级;
1.2 直写光源
光源波长： * nm；
光源功率：1.5W；
1.3 样品加工区
最大基片尺寸： * mm× * mm；
最大基片厚度： * mm；
最大加工区域： * mm× * mm；
配备X、Y、Z * 维直流线性位移电机，步进精度 * nm；
有温控样品腔室；
1.4 显微镜系统
集成光学显微镜系统，放大倍数分别为：×3/×5/× * /× * 。
配有光学轮廓探测系统， (略) * 维成像，Z向分辨率不差于 * nm。
1.5 对准、对焦及校准系统
带有 (略) 域可视化对准双组件；
激光自动晶圆对中工具；
自动晶圆检查工具，可对晶圆上的 (略) 成像；
虚拟掩膜对准器模式，曝光的图案显示在实时显微 (略) ；
样品盘上放置多个基片，每片基片定义不同的：偏移量、起始位置、坐标、图形、大小；
配备Focus-lock自动对焦组件；
可对表面不平 (略) Z向聚焦加工面自动调节；
标记物自动识别；标记物被识别后，将自动将其移 (略) 位置。
2.主机、附件详细清单
2.1台式微纳结构高速直写系统主机
* nm波长直写光源
* nm步进精度的电动位移样品台
×3/5/ * / * * 种放大倍数的可自动切换的显微镜头模块
光学轮廓探测模块
温度稳定系统，精度±0. * °C
提供Windows * bit计算机，包含控制软件、Clewin 5模板设计软件
2.2 主动减震台

售后及质保要求

1. 提供设备1 年质保；
2 .能在规定的 (略) 设备安装、调试完毕，提供给采购人正常使用，并 (略) 使用说明书及有关设备使用和管理的培训
3. 提供硬件为期 * 年全质保和免费上门服务及7* * 小时技术响应服务。所供产品若出现质量问题，现场无法修复的提供备机（性能不低于原设备）。保修期自货到验收合格之日开始计算。对所供产品负责终身维护。超过保修期后，维修如 (略) 件或配件时，经采购人同意，给予价格优惠，部分产品只收取配件成本及运输费用。
4.提供为期 * 天的免费提供技术培训并准各培训资料和文档，根据用户需求灵 (略) 所。

品牌

无指定品牌

型号

无指定型号

技术规格及参数

1.技术指标及要求
1.1 直写性能：
无需物理掩膜板；
直写分辨率：0.6μm，1.0μm，2.0μm，5.0μm，且4种分辨率模式可通过软件自动切换；
最快直写速度（mm2/min）： * .6μm， * μm， * μm， * μm；
对准对准显微镜镜头：x3, x5, x * , x * 自动切换，多层套刻精度：±0.5um；
最小栅格精度： * nm
样品台最小步长： * nm
最小栅格精度： * nm
光学轮廓Z分辨率: * nm
样品表面自动对焦: 是
自动晶片检查工具：有
温控样品腔室：有
虚拟模板校准工具：有
气动减震光学平台：（机内配置）
灰度直写等级： * 级;
1.2 直写光源
光源波长： * nm；
光源功率：1.5W；
1.3 样品加工区
最大基片尺寸： * mm× * mm；
最大基片厚度： * mm；
最大加工区域： * mm× * mm；
配备X、Y、Z * 维直流线性位移电机，步进精度 * nm；
有温控样品腔室；
1.4 显微镜系统
集成光学显微镜系统，放大倍数分别为：×3/×5/× * /× * 。
配有光学轮廓探测系统， (略) * 维成像，Z向分辨率不差于 * nm。
1.5 对准、对焦及校准系统
带有 (略) 域可视化对准双组件；
激光自动晶圆对中工具；
自动晶圆检查工具，可对晶圆上的 (略) 成像；
虚拟掩膜对准器模式，曝光的图案显示在实时显微 (略) ；
样品盘上放置多个基片，每片基片定义不同的：偏移量、起始位置、坐标、图形、大小；
配备Focus-lock自动对焦组件；
可对表面不平 (略) Z向聚焦加工面自动调节；
标记物自动识别；标记物被识别后，将自动将其移 (略) 位置。
2.主机、附件详细清单
2.1台式微纳结构高速直写系统主机
* nm波长直写光源
* nm步进精度的电动位移样品台
×3/5/ * / * * 种放大倍数的可自动切换的显微镜头模块
光学轮廓探测模块
温度稳定系统，精度±0. * °C
提供Windows * bit计算机，包含控制软件、Clewin 5模板设计软件
2.2 主动减震台

售后及质保要求

1. 提供设备1 年质保；
2 .能在规定的 (略) 设备安装、调试完毕，提供给采购人正常使用，并 (略) 使用说明书及有关设备使用和管理的培训
3. 提供硬件为期 * 年全质保和免费上门服务及7* * 小时技术响应服务。所供产品若出现质量问题，现场无法修复的提供备机（性能不低于原设备）。保修期自货到验收合格之日开始计算。对所供产品负责终身维护。超过保修期后，维修如 (略) 件或配件时，经采购人同意，给予价格优惠，部分产品只收取配件成本及运输费用。
4.提供为期 * 天的免费提供技术培训并准各培训资料和文档，根据用户需求灵 (略) 所。