品牌

无指定品牌

型号

无指定型号

技术规格及参数

* 、单层曝光机
1. 曝光面积：不小于4英寸
2. 最小尺寸分辨率：2μm
3. 曝光波长： * nm / * nm / * nm 可选
4. 全幅面照明能量密度： * mW / cm2 ± * %
5. 曝光温度变化：小于1度
6. 光源：LED (略) 命曝光光源
7. 曝光时间（连续或非连续）：1秒至 * 小时定时
8. 操作方式：台式设计，不需要电脑可直接触屏控制
* 、匀胶显影机
1. 集成匀胶及显影功能
2. 转速范围：0 - * 0rpm可调
3. 匀胶加速度：0 - * 0rpm/s可调
4. 转速精度：±1rpm
5. 匀胶尺寸：最大8英寸
6. 匀胶时间设置范围：0 - * s/步
7. 可存储 * 组以上旋涂程序
8. 配备喷嘴3只，S药液回吸阀单元2只；液体控制器2套；不锈钢压力桶2只；电磁阀控制吹气嘴1套
* 、烤胶机
1. 控温范围：RT- * ℃
2. 温度分辨率：0.1℃
3. 控温精度：±0.5℃
4. 温度均匀性：工作区域为±1%
5. 升温速率：0.1- * ℃/min
6. 加热面板尺寸：不小于 * mm× * mm
7. 带电动顶针， (略) 非接触加热，电动顶针高度：0- * mm，电动顶针高度分辨率：0.1mm
8. 可存储 * 组以上程序
* 、小型台式等离子清洗机
1. 舱体材质：铝合金
2. 舱体大小：不小于 * mm x * mm x * mm (W x D x H)
3. 功率：大小可调，最大功率 * W
4. 气体控制：提供1路自动气体控制器
5. 气体控制范围：最大流速 * sccm，控制精度：1%满量程
6. 真空泵抽气速率： * l/min
7. 最小真空：1 x * -3 Torr
8. 真空测量范围：大气压 ~ 5 x * -5 Torr
9. 带触摸控制屏，提供操作员分级设置
* . 提供图形化控制界面，进行半自动控制；也可全自动编程控制，全自动模式可提供至少 * 组工艺参数储存，每组工艺可容纳至少 * 个工艺步骤
* 、PDMS打孔器
1. 带可视定位CCD及显示屏
2. 配备空心打孔针及 (略) 石基座
3. 可自动退出打孔孔芯材料
4. 针头尺寸可更换

售后及质保要求

1.需提供设备使用培训及工艺培训，确保我方可以使用这套系统做出PDMS芯片
2.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

* 、单层曝光机
1. 曝光面积：不小于4英寸
2. 最小尺寸分辨率：2μm
3. 曝光波长： * nm / * nm / * nm 可选
4. 全幅面照明能量密度： * mW / cm2 ± * %
5. 曝光温度变化：小于1度
6. 光源：LED (略) 命曝光光源
7. 曝光时间（连续或非连续）：1秒至 * 小时定时
8. 操作方式：台式设计，不需要电脑可直接触屏控制
* 、匀胶显影机
1. 集成匀胶及显影功能
2. 转速范围：0 - * 0rpm可调
3. 匀胶加速度：0 - * 0rpm/s可调
4. 转速精度：±1rpm
5. 匀胶尺寸：最大8英寸
6. 匀胶时间设置范围：0 - * s/步
7. 可存储 * 组以上旋涂程序
8. 配备喷嘴3只，S药液回吸阀单元2只；液体控制器2套；不锈钢压力桶2只；电磁阀控制吹气嘴1套
* 、烤胶机
1. 控温范围：RT- * ℃
2. 温度分辨率：0.1℃
3. 控温精度：±0.5℃
4. 温度均匀性：工作区域为±1%
5. 升温速率：0.1- * ℃/min
6. 加热面板尺寸：不小于 * mm× * mm
7. 带电动顶针， (略) 非接触加热，电动顶针高度：0- * mm，电动顶针高度分辨率：0.1mm
8. 可存储 * 组以上程序
* 、小型台式等离子清洗机
1. 舱体材质：铝合金
2. 舱体大小：不小于 * mm x * mm x * mm (W x D x H)
3. 功率：大小可调，最大功率 * W
4. 气体控制：提供1路自动气体控制器
5. 气体控制范围：最大流速 * sccm，控制精度：1%满量程
6. 真空泵抽气速率： * l/min
7. 最小真空：1 x * -3 Torr
8. 真空测量范围：大气压 ~ 5 x * -5 Torr
9. 带触摸控制屏，提供操作员分级设置
* . 提供图形化控制界面，进行半自动控制；也可全自动编程控制，全自动模式可提供至少 * 组工艺参数储存，每组工艺可容纳至少 * 个工艺步骤
* 、PDMS打孔器
1. 带可视定位CCD及显示屏
2. 配备空心打孔针及 (略) 石基座
3. 可自动退出打孔孔芯材料
4. 针头尺寸可更换

售后及质保要求

1.需提供设备使用培训及工艺培训，确保我方可以使用这套系统做出PDMS芯片
2.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。