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型号

无指定型号

技术规格及参数

* 、主要配件技术指标
（1）参数指标：
主溅射室：
极限真空度：≤1x * -7 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x * -7 Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气， * 分钟可达到6.6x * -4 Pa；
停泵关机 * 小时后真空度：≤5 Pa；
进样室：
极限真空度：≤6.6x * -5Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x * -7 Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气， * 分钟可达到6.6x * -4 Pa；
停泵关机 * 小时后真空度：≤ * Pa；
（2）配件组成
1、溅射真空室组件：1套
圆筒型真空室尺寸Ф * mm x * mm，电动上掀盖结构，可内烘烤 * ～ * ℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接， (略) 特 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1、 * 法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2、 * 法兰接口：1个（观察窗口）；
1.3、CF * 法兰接口：3个（进气管路、放气阀）；
1.4、CF * 法兰接口：2个（分子泵）（离子泵）；
1.5、CF * 法兰接口：3 个（磁控靶接口）
1.6、CF * 法兰接口：6个(电离规、旁抽口、陶封引线、3个备用)
1.7、CF * 法兰接口：1个（基片挡板）；
1.8、CF * 法兰接口：2个（电阻规、备用）；
2、.磁控溅射靶组件：3套
2.1、靶材尺寸：3英寸；
2.2、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷（ * 个可以溅射磁性材料）； 2.3、控制挡板组件：1套；
2.4、 * 个靶可共同折向 (略) ，靶与样品距离 * ～ * mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离 * ～ * mm可调，并有调位距离指示。
3、基片加热公自转台组件：1套
3.1 * 工位样品台， * 个常温， * 个加热，最高温度 * °C。自动控制样品位置，样品Ф * 。
3.2基片加热最高温度 * °C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
3.3基片转盘可连续回转；
3.4基片可连续回转，转速5～ * 转/分；
3.5可自动控制自转及镀膜过程；
3.6基片可以加负偏压:0~ * V；
3.7控制基片CF * 挡板组件：1套；
4、窗口 (略) 件：1套
4.1、 * 玻璃窗口：1块； * 玻璃窗口：1块；
4.2、CF * 陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；
4.3、盲法兰CF * ：1个；CF * ：3个
5、工作气路：1套
5.1、4路 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM质量流量控制器、充气阀CF * 、进气截止阀、混气室、管路、接头等：共3路。
5.2、充气阀，管路、接头等：1路；
6、抽气机组及阀门、管道：1套
6.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速 * 升/秒，）；压缩比：N2: * , H2: 6 x * . 额定转速 * 0 rpm。
6.2、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，）；
6.3、KF * 电磁压差阀：1台
6.4、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；
6.5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF * 电磁隔断阀及角阀CF * ：1套 ；
6.6、CF * 闸板阀：2台（用于分子泵与真空室隔离）（另 * 台为离子泵与真空室隔离）；
6.7、CF * 闸板阀：1台（用于溅射室与进样室隔离）
6.8、离子泵SP- *
7、安装机台架组件：1套
优质型材拼接成，快卸围 (略) 理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰； * 只脚轮，可固定，可移动；

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商/合格代理商免费质保【 * 】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

8、真空测量及电控系统：1套
8.1、电源机柜：（含供电电源，有断电保护功能）；
8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀、等提供电源）；
8.3、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警、延时切断相应电源功能）；
8.4、样品加热控温电源：1套（控温表，可实现程序控温、可切换）；
8.5、自转电机控制电源：1套；
8.6、靶挡板电源：3套；
8.7、加热烘烤及照明电源：1套；
8.8、宽量程数显真空计：1套；
测量范围：1.0x * Pa～1.0x * -7Pa。
8.9、 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM质量流量显示器（含流量盒）：1套；准确度 ±1.0% F.S，重复精度±0.2% F.S，漏率不大于1.0x * -8Pa.m3/s
8. * 、分子泵控制电源：1套；
8. * 、 * W射频电源：2套；功率稳定度≤±0.5%. 频率信号为标准正弦波；脉冲频率 * - * KHz
8. * 、 * W直流电源：2套；在大于 * %的功率下，输出重复性为±0.1%
8. * 、- * V直流偏压电源：1套；
9、石英晶体振荡膜厚监控仪 1套
9.1、监测膜厚显示范围：0~ * μ * A；
9.2、厚度分辨率：1A；
9.3、速率显示分辨率：0~ * .9 A；
9.4、控制精度：1 A；
9.5、监测时间显示范围：1分~ * 小时；
9.6、采用两路探头测量；
* 、进样室：1套
圆筒型真空室尺寸Ф * mm x * mm，前开门开盖结构，可内烘烤 * ～ * ℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接， (略) 特 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
* .1、 * 法兰接口：1个（活开门窗口）；
* .2、CF * 法兰接口：1个（观察窗口）；
* .3、CF * 法兰接口：1个（放气阀）；
* .4、CF * 法兰接口：2个（分子泵KYKY * L/S、与溅射室相连的闸板阀）；
* .5、CF * 法兰接口：3个(电离规、旁抽口、陶封引线)
* .6、 * 法兰接口：1个（退火炉可加热至 * ℃）；
* .7、CF * 法兰接口：2个（电阻规、备用）；
* .8、 * 法兰接口：1个（样品架可放置6件样品）
* .9、CF * 法兰接口：1个（磁力传递杆，实现磁控室与进样 (略) 交接）
* 、控制系统：1套
触摸显示屏控制系统，制的内容主要有靶挡板、样品公转、样品挡板、样品控温等；磁控溅射室的样品转盘，用计算机控制镀膜：1、样品转盘的复位功能；2、确认靶位功能；3、镀膜时间控制功能；4、样品转盘回转控制功能；5、靶极遮挡功能
* 、配件：1套
* .1、￠6mm不锈钢管：6m；
* .2、电动升降装置：1套；
* 、备件：1套
* .1、无氧铜密封垫圈及管路
CF * ：3个；CF * ：3个； CF * ：2个；CF * ：2个；
￠6mm卡套：4套；￠6气瓶接头：2个；￠6软气路管:6米；
* .2、O型氟橡胶密封圈：φ * （内）×8.6：1个；￠ * （内）×4：1个； J型密封胶圈：D * ：3个；D * ：3个；D6：3个；
* .3、照明灯：2个；烘烤灯：2个
* .4、样品加热丝：1套；
* .5、￠ * ×3玻璃：2块；￠ * ×3玻璃：2块；
* .6、小型不锈钢标件：M3、M4各3个；
* .7、电器相关的保险丝：各 * 个。

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商/合格代理商免费质保【 * 】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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* 、主要配件技术指标
（1）参数指标：
主溅射室：
极限真空度：≤1x * -7 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x * -7 Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气， * 分钟可达到6.6x * -4 Pa；
停泵关机 * 小时后真空度：≤5 Pa；
进样室：
极限真空度：≤6.6x * -5Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x * -7 Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气， * 分钟可达到6.6x * -4 Pa；
停泵关机 * 小时后真空度：≤ * Pa；
（2）配件组成
1、溅射真空室组件：1套
圆筒型真空室尺寸Ф * mm x * mm，电动上掀盖结构，可内烘烤 * ～ * ℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接， (略) 特 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1、 * 法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2、 * 法兰接口：1个（观察窗口）；
1.3、CF * 法兰接口：3个（进气管路、放气阀）；
1.4、CF * 法兰接口：2个（分子泵）（离子泵）；
1.5、CF * 法兰接口：3 个（磁控靶接口）
1.6、CF * 法兰接口：6个(电离规、旁抽口、陶封引线、3个备用)
1.7、CF * 法兰接口：1个（基片挡板）；
1.8、CF * 法兰接口：2个（电阻规、备用）；
2、.磁控溅射靶组件：3套
2.1、靶材尺寸：3英寸；
2.2、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷（ * 个可以溅射磁性材料）； 2.3、控制挡板组件：1套；
2.4、 * 个靶可共同折向 (略) ，靶与样品距离 * ～ * mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离 * ～ * mm可调，并有调位距离指示。
3、基片加热公自转台组件：1套
3.1 * 工位样品台， * 个常温， * 个加热，最高温度 * °C。自动控制样品位置，样品Ф * 。
3.2基片加热最高温度 * °C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
3.3基片转盘可连续回转；
3.4基片可连续回转，转速5～ * 转/分；
3.5可自动控制自转及镀膜过程；
3.6基片可以加负偏压:0~ * V；
3.7控制基片CF * 挡板组件：1套；
4、窗口 (略) 件：1套
4.1、 * 玻璃窗口：1块； * 玻璃窗口：1块；
4.2、CF * 陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；
4.3、盲法兰CF * ：1个；CF * ：3个
5、工作气路：1套
5.1、4路 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM质量流量控制器、充气阀CF * 、进气截止阀、混气室、管路、接头等：共3路。
5.2、充气阀，管路、接头等：1路；
6、抽气机组及阀门、管道：1套
6.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速 * 升/秒，）；压缩比：N2: * , H2: 6 x * . 额定转速 * 0 rpm。
6.2、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，）；
6.3、KF * 电磁压差阀：1台
6.4、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；
6.5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF * 电磁隔断阀及角阀CF * ：1套 ；
6.6、CF * 闸板阀：2台（用于分子泵与真空室隔离）（另 * 台为离子泵与真空室隔离）；
6.7、CF * 闸板阀：1台（用于溅射室与进样室隔离）
6.8、离子泵SP- *
7、安装机台架组件：1套
优质型材拼接成，快卸围 (略) 理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰； * 只脚轮，可固定，可移动；

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商/合格代理商免费质保【 * 】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

品牌

无指定品牌

型号

无指定型号

技术规格及参数

8、真空测量及电控系统：1套
8.1、电源机柜：（含供电电源，有断电保护功能）；
8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀、等提供电源）；
8.3、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警、延时切断相应电源功能）；
8.4、样品加热控温电源：1套（控温表，可实现程序控温、可切换）；
8.5、自转电机控制电源：1套；
8.6、靶挡板电源：3套；
8.7、加热烘烤及照明电源：1套；
8.8、宽量程数显真空计：1套；
测量范围：1.0x * Pa～1.0x * -7Pa。
8.9、 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM、 * SCCM质量流量显示器（含流量盒）：1套；准确度 ±1.0% F.S，重复精度±0.2% F.S，漏率不大于1.0x * -8Pa.m3/s
8. * 、分子泵控制电源：1套；
8. * 、 * W射频电源：2套；功率稳定度≤±0.5%. 频率信号为标准正弦波；脉冲频率 * - * KHz
8. * 、 * W直流电源：2套；在大于 * %的功率下，输出重复性为±0.1%
8. * 、- * V直流偏压电源：1套；
9、石英晶体振荡膜厚监控仪 1套
9.1、监测膜厚显示范围：0~ * μ * A；
9.2、厚度分辨率：1A；
9.3、速率显示分辨率：0~ * .9 A；
9.4、控制精度：1 A；
9.5、监测时间显示范围：1分~ * 小时；
9.6、采用两路探头测量；
* 、进样室：1套
圆筒型真空室尺寸Ф * mm x * mm，前开门开盖结构，可内烘烤 * ～ * ℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接， (略) 特 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
* .1、 * 法兰接口：1个（活开门窗口）；
* .2、CF * 法兰接口：1个（观察窗口）；
* .3、CF * 法兰接口：1个（放气阀）；
* .4、CF * 法兰接口：2个（分子泵KYKY * L/S、与溅射室相连的闸板阀）；
* .5、CF * 法兰接口：3个(电离规、旁抽口、陶封引线)
* .6、 * 法兰接口：1个（退火炉可加热至 * ℃）；
* .7、CF * 法兰接口：2个（电阻规、备用）；
* .8、 * 法兰接口：1个（样品架可放置6件样品）
* .9、CF * 法兰接口：1个（磁力传递杆，实现磁控室与进样 (略) 交接）
* 、控制系统：1套
触摸显示屏控制系统，制的内容主要有靶挡板、样品公转、样品挡板、样品控温等；磁控溅射室的样品转盘，用计算机控制镀膜：1、样品转盘的复位功能；2、确认靶位功能；3、镀膜时间控制功能；4、样品转盘回转控制功能；5、靶极遮挡功能
* 、配件：1套
* .1、￠6mm不锈钢管：6m；
* .2、电动升降装置：1套；
* 、备件：1套
* .1、无氧铜密封垫圈及管路
CF * ：3个；CF * ：3个； CF * ：2个；CF * ：2个；
￠6mm卡套：4套；￠6气瓶接头：2个；￠6软气路管:6米；
* .2、O型氟橡胶密封圈：φ * （内）×8.6：1个；￠ * （内）×4：1个； J型密封胶圈：D * ：3个；D * ：3个；D6：3个；
* .3、照明灯：2个；烘烤灯：2个
* .4、样品加热丝：1套；
* .5、￠ * ×3玻璃：2块；￠ * ×3玻璃：2块；
* .6、小型不锈钢标件：M3、M4各3个；
* .7、电器相关的保险丝：各 * 个。

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商/合格代理商免费质保【 * 】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。