中山大学材料学院热蒸发镀膜机采购项目

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中山大学材料学院热蒸发镀膜机采购项目



基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) (略) 热蒸发镀膜机采购项目
项目类型货物采购 申购主题热蒸发镀膜机采购单位 (略)
项目预算点击查看>>采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人李老师经办人电话 点击查看>>
送货地址广 (略) (略) 东校区格致堂
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、 (略) 不收取任何费用。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
热蒸发镀膜机1台 详情请进入系统查看
"热蒸发镀膜机"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 样品台：配水冷，可放置尺寸 * * * mm掩模版，配备气动磁耦合样品架挡板。 重要 否
2 样品台安装步进电机，可旋转特定角度，且转速0- * 转/分连续可调； 非常重要 是
3 样品台可升降（升降幅度 * - * cm）。 非常重要 是
4 分子泵转速≥ * 0转/分，抽速≥ * L/S，启动时间<7分钟。 非常重要 是
5 腔体极限真空4* * -5Pa，抽速 * min<5* * -4Pa；系统停泵关机 * 小时后，真空度<2Pa。 非常重要 否
6 膜厚及均 * 性： * nm≤±5%。 重要 否
7 金属蒸发位： * 个，配水冷，电极间距 * mm； 重要 否
8 两套金属蒸发电源，可同时使用蒸镀两个蒸发位。 重要 否
9 控制方式：PLC+触摸屏，接械泵预抽阀、前级阀、插板阀等在触摸屏操作控制。 重要 否
* 腔体：尺寸< * * * * * mm，配备侧滑式前门和折页式后门，方便安装于手套箱；内壁安装不锈钢屏蔽版，方便拆卸清洗，腔体预留两个接口便于通辅助气体。 重要 是



基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) (略) 热蒸发镀膜机采购项目
项目类型货物采购 申购主题热蒸发镀膜机采购单位 (略)
项目预算点击查看>>采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人李老师经办人电话 点击查看>>
送货地址广 (略) (略) 东校区格致堂
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、 (略) 不收取任何费用。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
热蒸发镀膜机1台 详情请进入系统查看
"热蒸发镀膜机"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 样品台：配水冷，可放置尺寸 * * * mm掩模版，配备气动磁耦合样品架挡板。 重要 否
2 样品台安装步进电机，可旋转特定角度，且转速0- * 转/分连续可调； 非常重要 是
3 样品台可升降（升降幅度 * - * cm）。 非常重要 是
4 分子泵转速≥ * 0转/分，抽速≥ * L/S，启动时间<7分钟。 非常重要 是
5 腔体极限真空4* * -5Pa，抽速 * min<5* * -4Pa；系统停泵关机 * 小时后，真空度<2Pa。 非常重要 否
6 膜厚及均 * 性： * nm≤±5%。 重要 否
7 金属蒸发位： * 个，配水冷，电极间距 * mm； 重要 否
8 两套金属蒸发电源，可同时使用蒸镀两个蒸发位。 重要 否
9 控制方式：PLC+触摸屏，接械泵预抽阀、前级阀、插板阀等在触摸屏操作控制。 重要 否
* 腔体：尺寸< * * * * * mm，配备侧滑式前门和折页式后门，方便安装于手套箱；内壁安装不锈钢屏蔽版，方便拆卸清洗，腔体预留两个接口便于通辅助气体。 重要 是

    
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