激光直写仪采购-采招网

激光直写仪采购

内容

发送至邮箱

激光直写仪采购

( 激光直写仪 )需求公示

项目名称

激光直写仪?

是否预选项目

否?

采购人名称

(略) (略) ?

采购方式

公开招标?

财政预算限额（元）

点击查看>> ?

项目背景

该项目为 (略) (略) (略) 超滑技术平台建设项目，批复文号 (略) 科技创新[ * 号，项目资金已到位，采购金额为 * 万人民币， (略) ，采购资金从超滑设备平台项目支付。?
?

投标人资质要求

1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；?
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；?
3）参与政府采购项目投标的供应商 (略) 贿犯罪记录（ (略) 定期向 (略) 申请对政府采购供应商库中注册有效 (略) 集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；?
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《 (略) 经济特区政府采购条例实施细则》第 * 十 * 条的规定。）?
?

货物清单

序号	采购计划编号	货物名称	数量	单位	备注	财政预算限额(元)
1	点击查看>> ?	激光直写仪?	1.0?	套?	公开招标，已经完成采购进口设备专家论证意见。?	点击查看>> .0?

具体技术要求

序号	名称	招标技术要求
1	激光直写仪	1.激光直写仪系统概述与配置要求
1.1 概述：激光直写仪主要用于半导体晶圆、方片等各种衬底上亚微米/微米线宽的图形化工艺及掩模版制备工艺。
1.2 设备至少包 (略) 件：温控罩、防震台、激光器、LED光源模块、光学系统、样品台系统、图形影像测量系统、控制系统（硬件及软件）、数据转换系统（硬件及软件）等。
1.3 ▲配置半导体激光器(激光波段 * nm)；搭配紫外线LED光源(波段 * nm)系统模块。
2.激光直写仪设备主要功能要求
2.1 适用光刻胶的激光直写曝光。
2.2 操作方式：手动放样和取样， (略) (略) 理。
2.3 配备 (略) 理计算机，并配有相应 (略) 理软件，可接受数据格式至少包括DXF、CIF、GDS、Gerber等。
2.4 配备图形影像摄像装置及测量软件，具备线宽、线距、坐标、距离、边缘粗糙度测量。
2.6 配备 (略) 石花岗岩机座及气浮防震装置。
2.7 ▲具备光学自动聚焦功能。
2.8 激光读写头可更换。
2.9 控制软件系统：基于Windows操作系统。
2. * 配备温控罩，保证曝光核心区域洁净度class * 、温度波动控制在±0.5oC范围内。
2. * 具备完备的安全预防与互锁功能。
2. * ▲具备光刻胶3维结构灰度曝光功能 2. * .1 激光控制灰度阶数： ≥ * 阶； 2. * .2 数据格式：至少支持BMP/ STL/ DXF/ X,Y,Z ASCll等数据格式。
3.技术指标要求
3.1▲最大能够支持9英寸，兼容9英寸及以下方片及不规则碎片。
3.2▲半导体激光器光刻激光器： 3.2.1 激光波段 * nm； 3.2.2 激光能量≥ * mW； 3.2.3 激光器 * 般使用寿命至少 * 0小时，激光器保证使用寿命至少 * 小时或 * 年。
3.4 ▲样品台系统： 3.4.1 采用HeNe激光干涉仪控制样品台线性马达的移动，其分辨率≤ * nm； 3.4.2 最大支持样品厚度≥6mm；
3.5 激光读写头： 3.5.1 设备可由用户更换不同分辨率的激光读写头，更换操作需简单方便； 3.5.2 至少配备可实现最小线宽分辨为 * nm和1μm * 种激光读写头； 3.5.3 具备自动聚焦控制，其自动焦距分辨率≤ * nm； 3.5.4 激光头Z轴粗调范围：≥6mm。
3.6 ▲曝光技术指标（ * nm线宽激光头）： 3.6.1 最小线宽≤ * nm； 3.6.2 线宽均匀性≤ * nm（3σ）； 3.6.3 对准精度≤ * nm（3σ）； 3.6.4 曝光速度≥6mm2/min。
3.7 ▲曝光技术指标（1μm线宽激光头）： 3.7.1 最小线宽≤1μm； 3.7.2 线宽均匀性≤ * nm（3σ）； 3.7.3 对准精度≤ * nm（3σ）； 3.7.4 曝光速度≥ * mm2/min。
3.8 ▲其他曝光技术指标： 3.8.1有效光刻面积：不小于 * mmx * mm。
3.9 其他 3.9.1 设备采用中国电压标准。配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。

?
?

商务需求

?说明：
1. “（ * ）免费保修期内售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。
2. “（ * ）免费保修期外售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。
3. “（ * ）其他商务要求”部分，如有补充，请详细列明。
4. 可在重点条款前标“▲”。（重点条款偏离扣分较重，但不废标）

序号	目录	商务需求
（ * ）免费保修期内售后服务要求
1	维修及维护服务	1.1▲各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限, 并承诺提供整机免费保修期 1 ?年，终身维修。保修期内,年度定期预防性维护保养次数应不少于 ?1?次。保修期内免费更换零配件、免工时费。设备在保修 (略) 进行维修， (略) 维修报告。
		1.2▲由设备制造商提供售后服务，? * 小时内响应， ? * ??小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案。 (略) 省内有相应的维修机构，并出具证明文件。
		1.3投标人负责货物的终身维修，保证 * ?年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修 (略) 理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。
		1.4免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。
		1.5提 (略) 签订的售后服务协议书。
		1.6 确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于 (略) 市 (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有 (略) (略) 了解测试，并提供自己的解决方案。
2	质量保证	2.1保修期内因质量问题停机不超过2次,因故障总停机时间不超过1个月。否则延长质保期或更换新机。
		2.2保修期到期前 * 个月内投标人需 (略) 状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供 (略) 技术支持服务和联系方式。
（ * ）免费保修期外售后服务要求
1	维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价	1.1▲由设备制造商提供售后服务， ? * ?小时内响应， * ?小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。
		1.2保修期满后，投标人应以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前5项零配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中。
		1.3采购人可与投标人 (略) 谈判，但优惠价不得高于投标人在投标文件的《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中承诺的维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价。
		1.4设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。
		1.5免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。
（ * ）其他商务要求
1	交货要求	1.1签订合同后，自收到采购人通知后 * 个日历日内交货
		1.2投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物 * 并交付至采购人指定地点。
		1.3提供的货物必须为全新、经检验合格的产品。产品如需要计量检定的应提供相 (略) 门出具的合法检定报告。
		1.4投标产品必 (略) 生产产品。
		1.5如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料； (略) 、贴牌及非正当进货渠道产品。
2	运输、安装和验收	2.1投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点( (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层),并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用__ * 周__后，无故障方签署验收报告，保修期自验收培训完成? 起开始计算。
		2.2采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合同规格的要求，并且不承担额外的费用。 (略) 交货物与 (略) 承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在 * 天内采取补足、更换或退货等措施,以满足规格的要求，由此发生的 * 切损失和费用由投标人承担。
		2.3投标人负 (略) 安装和调试,提供货物安装、 (略) 需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后 7 时间内开始安装调试,并在2 天内安装调试完毕。
		2.4由投标人代表和采购人组成验收小 (略) 验收。验收标准按照国家 (略) 。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。
3	培训	3.1▲中标人应派专业技术人员免费对采购单位 (略) 定期培训及指导，直至其完全掌握设备的使用 (略) 理技术。
		3. (略) 培训：中标 (略) 技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。
		3.3集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。
		3.4计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。
		3.5网络教育：专业 (略) 网站，提供与世界各地用 (略) 网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。
4	知识产权	4.1投标人应保证采购人在使用该货物 (略) 分时，免受第 * 方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。 (略) 提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。
		4.2采购人购买产品后，有权对该产品与 (略) 配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。
		4.3知识产权归属： (略) 的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。
5	付款方式	5.1合同签署后7个工作日内，采购人支付 * %预付款。出货后凭出货凭证，采购人支付 * %货款。货到验收合格后，中标人凭验收报告，采购人7个工作日内支付 * %货款。
6	违约责任	6.1货物抵达目的港 * 天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不 * 致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中 (略) 出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。
		6.2如果投标人没有按照约定日期交货，除不可抗力之外，如果投标人愿意支付罚金，则采购人应同意延期出运。罚金不超过迟延出运货物总价的5%。罚金比率为每 * 天1%，不足 * 天以 * 天计。如果投标人比规定的装运时间迟延 * 周，采购人有权解除合同。即使解除合同，投标人也应向采购人支付罚金。
7	其他	7.1投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
		7. (略) 技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。
		7.3消耗品/零配件供应及时（ (略) 耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。

?
?

技术规格偏离表

序号	货物名称	招标技术要求	投标技术响应	偏离情况	说明
?	?	?	?	?	?
?	?	?	?	?	?
?	?	?	?	?	?
?	?	?	?	?	?
?	?	?	?	?	?
?	?	?	?	?	?
?	?	?	?	?	?

?
?

商务规格偏离表

序号	目录	招标商务条款	投标商务条款	偏离情况	说明
（ * ）免费保修期内售后服务条款偏离表
1	?	?	?	?	?
2	?	?	?	?	?
……	?	?	?	?	?
（ * ）免费保修期外售后服务条款偏离表
1	?	?	?	?	?
2	?	?	?	?	?
……	?	?	?	?	?
（ * ）其他商务条款偏离表
1	?	?	?	?	?
2	?	?	?	?	?
……	?	?	?	?	?

?
?

评标信息

序号	评分项				权重
1	价格				*
2	(略) 分				*
?	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	技术保障措施	3	专家打分	在投标文件中详细说明保障措施（ (略) 、技术方案、技术人员、场地、车辆等）， (略) 根据 (略) 横向比较，按优 * 分，良 * 分，中 * 分，差0分打分。
	5	技术规格偏离情况	*	专家打分	1.?投标人应如实填写《技术规格偏离表》， (略) 根据技术需求参数 (略) 打分，各项技术参数指 (略) 满足的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣5分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。
3	商务需求				9
?	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	免费保修期内售后服务条款偏离情况	5	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。
	2	免费保修期外售后服务条款偏离情况（可选）	2	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。
	3	其他商务条款偏离情况	2	专家评分	投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣4分。（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。
4	(略) 分				6
?	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	投标人近 * 年同类业绩（ (略) 发布之日）	3	专家评分	提供3个同类业绩即得满分，提供2个得 * 分，提供1个得 * 分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每 * 个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。
	2	履约评价	3	专家评分	根据 (略) 市政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得 * 分，有差评的得0分。

?
?

其它

?
?

附件

激光直写仪等3套设备需求文档-第9包.doc?