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磨抛清洗机采购

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磨抛清洗机采购

( 磨抛清洗机 )需求公示

项目名称

磨抛清洗机?

是否预选项目

否?

采购人名称

(略) (略) ?

采购方式

公开招标?

财政预算限额（元）

点击查看>> ?

项目背景

该项目为 (略) (略) (略) 超滑技术平台建设项目，批复文号 (略) 科技创新[ * 号，项目资金已到位，采购金额为 * 万人民币， (略) ，采购资金从超滑设备平台项目支付。?
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投标人资质要求

1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；?
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；?
3）参与政府采购项目投标的供应商 (略) 贿犯罪记录（ (略) 定期向 (略) 申请对政府采购供应商库中注册有效 (略) 集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；?
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《 (略) 经济特区政府采购条例实施细则》第 * 十 * 条的规定。）?
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货物清单

序号	采购计划编号	货物名称	数量	单位	备注	财政预算限额(元)
1	点击查看>> ?	磨抛清洗机?	1.0?	套?	公开招标，已经完成采购进口设备专家论证意见。?	点击查看>> .0?

具体技术要求

说明：投标人须如实填写《技术规格偏离表》，并按招标文件的要求提供相关证明资料， (略) 说明书或产品彩页等。提供的证明资料与投标响应情况不相符的，视为《技术规格偏离表》填写不实。

序号	货物名称	招标技术要求
1	CMP化学机械抛光机	1、概述：该化学机械抛光机主要用于Si晶圆上氧化物介质层的平坦化加工。通过更换抛光头可兼容4英寸&6英寸晶圆。
2、主要功能
▲2.1系统功能：手动上下片， (略) 抛光，配有终点监测装置。
2.2样品尺寸：通过更换抛光头可兼容4英寸&6英寸晶圆,配置4和6英寸各两个抛光头；
▲2.3抛光数据监测：具有摩擦力监测功能
▲2.4配备红外温度计实时监测抛光过程中抛光垫表面温度。
2.5设备配置齐全的安全联锁功能
2.6系统软件：可 (略) 的实时过程监视，具备数据记录、防止误操作等功能， (略) 工艺配方编辑、修改、保存等.
3技术规格要求
3.1单工位设备，由单抛光盘和单抛光头构成
▲3.2抛光盘直径≥ * inch( * mm)
▲3.3抛光盘快速更换式设计，更换抛光盘便捷方便
3.4抛光盘底座带有冷却水通道系统
3.5抛光盘转速范围： * - * rpm
▲3.6抛光头wafer加压方式：气囊加压，带有背压功能
3.7wafer压力控制范围： * - * g/cm2
3.8保持环压力控制方式：气缸加压控制
3.9保持环压力控制范围： * - * g/cm2
3. * 抛光头转速范围： * - * rpm
3. * 抛光头摆动幅度：± * mm
3. * 抛光头更换安装方便快捷，通过更换不同规格的抛光头，可兼容4、6英寸晶圆的抛光。
▲3. * 配有抛光液供应系统：3个可调流量蠕动泵供液，3路独立的抛光液通道，滴液位置可调
3. * 配有抛光垫修整盘：金刚石修整丸片
▲3. * 修整盘控制方式：原地旋转式，随抛光头往复运动
3. * 修整盘转速： * - * rpm
3. * 修整盘压力：3- * kgf
▲3. * 配置摩擦力&温度终点监控系统：含专用监测软件，带有End point detection功能
▲3. * 控制系统：PC工控机控制，触摸屏操作，可存储 * 个加工程序
▲3. * 加工程序分段控制：加工程序最多可设6个不同加工阶段，各阶段的转速、压力等均可独立设置。
3. * 晶圆抛光晶圆内不均匀性（WIWNU）≤5%（1sigma，去边5mm）。
3. * 晶圆抛光晶圆间不均匀性（WTWNU）≤5%（1sigma，去边5mm）。
4.1 抛光后样品总厚度偏差（TTV）：≤± * 英寸
4.2抛光后粗糙度Ra≤0.8nm@ SiO2；
2	半自动双轴减薄机	1设备用途及组成
▲1.1提供4&6英寸Si晶圆减薄功能，双砂轮轴结构，可实现粗磨+精磨功能
▲1.2设备组成: ：设备主要由双砂轮轴系统﹑往复移动式吸盘轴系统﹑砂轮进给系统﹑自动测厚系统﹑主轴冷却水系统﹑真空系统组成。
2.主要技术指标
2.1加工晶圆尺寸：兼容直径4&6英寸晶圆
▲2.2 砂轮轴数量：2个，可分别安装粗磨砂轮、精磨砂轮，无需更换砂轮即可实现晶圆的粗磨+精磨
▲2.3砂轮主轴转速可调，最大转速≥ * rpm
2.4吸盘轴转速可调，最大转速≥ * rpm
▲2.5 吸盘移动方式：LM导轨和滚珠丝杆组合，左右移动式
2.6 (略) 程≥ * mm
▲2.7 砂轮进给系统数量：2个，控制方式：LM导轨和滚珠丝杠组合
▲2.8 最小进给速率≤0.1um/s
▲2.9 需配置自动测厚系统，在线测量晶圆厚度，校正补偿减薄尺寸精度。
▲2. * 厚度在线测量量程0- * um
▲2. * 厚度在线测量分辨率 0.1um
▲2. * 厚度在线测量重复精度 ±0. * mm
2. * 界面操作方式：触屏
▲2. * 操作系统：windows 7操作系统，工控机控制
2. * 权限设置：提供操作权限分级管理
2. * 支持历史加工数据记录、存储及导出功能，配有USB接口
2. * 冷却系统：带主轴冷却系统，配置冷水机
2. * 真空系统：自配真空系统
▲2. * 程序设计： * 段式加工程序，各阶段砂轮轴转速、吸盘轴转速、进给速度均可调
▲2. * 具备砂轮超负载等待自适应功能
2. * 单片晶圆内的厚度偏差TTV ≤ 3um（测量点为wafer边缘往内 * mm）
2. * 碎片率 ≤ 3‰
2. * Ra≤
3	CMP后清洗机	1、概述：设备为适用于CMP后单片晶圆清洗的干进（或湿进）干出设备，手动上下片；设备为独立成熟产品，并 (略) 或科 (略) 应用
2、主要功能及规格
▲2.1设备功能：具有双面PVA刷刷洗，兆声清洗，N2吹干，高速甩干功能。
▲2.2样品尺寸：通过更换洽具具备4、6英寸晶圆清洗能力，配备两套4,6寸治具；后续通过洽具的升级具备扩展到max * 英寸晶圆清洗的能力。
▲2.3设备材质要求：内腔体材质为优质聚 * 氟 * 烯（PTFE）
▲2.4设备结构：1个腔体，包含双面PVA刷刷洗、兆声清洗、N2吹气、高速甩干等机构，集成度高。
2.5清洗液&DIW供给：喷嘴；流量可调
▲2.6双面刷洗机构：PVA刷子，数量：2个
▲2.7刷洗方式：夹住晶圆实现晶圆双面同时刷洗。
2.7刷子尺寸：LIDOD = * * * * * mm，更换方便快捷
2.8刷子位置间隙调整：手动调整- * mm~2mm
2.9刷子转速：max * rpm
▲2. * 配有兆声清洗，DIW漂洗
▲2. * 干燥方式为N2吹干+高速甩干：甩干转速max * rpm
2. * 控制系统：PLC控制系统+触摸屏

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商务需求

序号	目录	商务需求
（ * ）免费保修期内售后服务要求
1	维修及维护服务	1.1▲各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限, 并承诺提供整机免费保修期 ?3年，终身维修。保修期内,年度定期预防性维护保养次数应不少于 ?5?次。保修期内免费更换零配件、免工时费。设备在保修 (略) 进行维修， (略) 维修报告。
		1.2▲由设备制造商提供售后服务， * ?小时内响应， ? * ??小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案。 (略) 省内有相应的维修机构，并出具证明文件。
		1.3投标人负责货物的终身维修，保证 * ?年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修 (略) 理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。
		1.4免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。
		1.5提 (略) 签订的售后服务协议书。
		1.6 确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于 (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有 (略) (略) 了解测试，并提供自己的解决方案。
2	质量保证	2.1保修期内因质量问题停机不超过2次,因故障总停机时间不超过1个月。否则延长质保期或更换新机。
		2.2保修期到期前 * 个月内投标人需 (略) 状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供 (略) 技术支持服务和联系方式。
（ * ）免费保修期外售后服务要求
1	维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价	1.1▲由设备制造商提供售后服务， ? * ?小时内响应，? * 小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。
		1.2保修期满后，投标人应以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前5项零配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中。
		1.3采购人可与投标人 (略) 谈判，但优惠价不得高于投标人在投标文件的《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中承诺的维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价。
		1.4设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。
		1.5免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。
（ * ）其他商务要求
1	交货要求	1. * .1签订合同后，自收到采购人通知后 * 个日历日内交货
		1.2投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物 * 并交付至采购人指定地点。
		1.3提供的货物必须为全新、经检验合格的产品。产品如需要计量检定的应提供相 (略) 门出具的合法检定报告。
		1.4投标产品必 (略) 生产产品。
		1.5如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料； (略) 、贴牌及非正当进货渠道产品。
2	运输、安装和验收	2.1投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点( (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层),并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用___ * 天__后，无故障方签署验收报告，保修期自验收培训完成? 起开始计算。
		2.2采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合同规格的要求，并且不承担额外的费用。 (略) 交货物与 (略) 承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在 * 天内采取补足、更换或退货等措施,以满足规格的要求，由此发生的 * 切损失和费用由投标人承担。
		2.3投标人负 (略) 安装和调试,提供货物安装、 (略) 需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后 5天时间内开始安装调试,并在7天天内安装调试完毕。
		2.4由投标人代表和采购人组成验收小 (略) 验收。验收标准按照国家 (略) 。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。
3	培训	3.1▲中标人应派专业技术人员免费对采购单位 (略) 定期培训及指导，直至其完全掌握设备的使用 (略) 理技术。
		3. (略) 培训：中标 (略) 技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。
		3.3集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。
		3.4计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。
		3.5网络教育：专业 (略) 网站，提供与世界各地用 (略) 网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。
4	知识产权	4.1投标人应保证采购人在使用该货物 (略) 分时，免受第 * 方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。 (略) 提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。
		4.2采购人购买产品后，有权对该产品与 (略) 配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。
		4.3知识产权归属： (略) 的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。
5	付款方式	5.1合同签署后7个工作日内，采购人支付 * %预付款。货到验收合格后，中标人凭验收报告，采购人7个工作日内支付 * %货款。
6	违约责任	6.1货物抵达目的港 * 天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不 * 致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中 (略) 出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。
		6.2如果投标人没有按照约定日期交货，除不可抗力之外，如果投标人愿意支付罚金，则采购人应同意延期出运。罚金不超过迟延出运货物总价的5%。罚金比率为每 * 天1%，不足 * 天以 * 天计。如果投标人比规定的装运时间迟延 * 周，采购人有权解除合同。即使解除合同，投标人也应向采购人支付罚金。
7	其他	7.1投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
		7. (略) 技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。
		7.3消耗品/零配件供应及时（ (略) 耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。

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技术规格偏离表

序号	货物名称	招标技术要求	投标技术响应	偏离情况	说明
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商务规格偏离表

序号	目录	招标商务条款	投标商务条款	偏离情况	说明
（ * ）免费保修期内售后服务条款偏离表
1	?	?	?	?	?
2	?	?	?	?	?
……	?	?	?	?	?
（ * ）免费保修期外售后服务条款偏离表
1	?	?	?	?	?
2	?	?	?	?	?
……	?	?	?	?	?
（ * ）其他商务条款偏离表
1	?	?	?	?	?
2	?	?	?	?	?
……	?	?	?	?	?

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评标信息

序号	评分项				权重
1	价格				*
2	(略) 分				*
?	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	技术保障措施	3	专家打分	在投标文件中详细说明保障措施（ (略) 、技术方案、技术人员、场地、车辆等）， (略) 根据 (略) 横向比较，按优 * 分，良 * 分，中 * 分，差0分打分。
	5	技术规格偏离情况	*	专家打分	1.?投标人应如实填写《技术规格偏离表》， (略) 根据技术需求参数 (略) 打分，各项技术参数指 (略) 满足的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣5分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。
3	商务需求				9
?	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	免费保修期内售后服务条款偏离情况	5	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。
	2	免费保修期外售后服务条款偏离情况（可选）	2	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。
	3	其他商务条款偏离情况	2	专家评分	投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣4分。（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。
4	(略) 分				6
?	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	投标人近 * 年同类业绩（ (略) 发布之日）	3	专家评分	提供3个同类业绩即得满分，提供2个得 * 分，提供1个得 * 分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每 * 个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。
	2	履约评价	3	专家评分	根据 (略) 市政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得 * 分，有差评的得0分。

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其它

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附件

激光直写仪等3套设备需求文档-第9包.doc?