高精度电子束曝光机采购

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高精度电子束曝光机采购


 

( 高精度电子束曝光机 )需求公示

项目名称

高精度电子束曝光机?

是否预选项目

否?

采购人名称

(略) (略) ?

采购方式

公开招标?

财政预算限额（元）

点击查看>> ?

项目背景


该项目为 (略) (略) (略) 超滑技术平台建设项目，批复文号 (略) 科技创新[ * 号，项目资金已到位，采购金额为 * 万人民币， (略) ，采购资金从超滑设备平台项目支付。?
?

投标人资质要求


1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；?
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，不接受投标人选用进口产品参与投标；?
3）参与政府采购项目投标的供应商 (略) 贿犯罪记录（ (略) 定期向 (略) 申请对政府采购供应商库中注册有效 (略) 集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；?
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《 (略) 经济特区政府采购条例实施细则》第 * 十 * 条的规定。）?
?

货物清单

序号 采购计划编号 货物名称 数量 单位 备注 财政预算限额(元)
1 点击查看>> ? 高精度电子束曝光机? 1.0? 套? 公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见表。? 1. * E7?

具体技术要求


?

序号

货物名称

招标技术要求

1

高精度电子束曝光机

1.


1.1 电源电压： * V(AC)， * Hz

1.2 环境温度： * - * ℃

对

2. 设备主要技术指标2.2样品台移动方式：步进、重复式


2.3电子束形状：圆形高斯束班

▲?2.4加速电压：

线宽


2.7: * m x * m(标准), * m x * m, * μm x * μm

2. * . * 拼接误差： (略) 下应达到 * nm

2. * 差： (略) 下应达到 * nm

2. * : 动态聚焦消像 2. * 样品台移动范围: X: * mm, Y: * mm, Z: * mm

3. 设备

3.1.1电子束发射枪：灯丝使用寿命应大于 * 观


3.2.1元：2组 * 次电子探测器，背散射探测器，和差信

3.2.3计算机：处理器：因特尔酷睿i7：不小于1TB4GB、鼠标样

3.3.1平台：气垫防振系统

3.3.2：包括干式机械泵、分子泵组，离子泵组。

3.3.3进样室：自动换样室，支持不小于8准样品，以及任意尺寸样品电

3.4.1算机：处理器：因特尔酷睿i7：不小于1TB4GB示器、键盘、鼠标等3.4.2描，位置控制： * ；扫描控制： * ；扫描速率：电子束驻留时间：0. * ~ * sec/dot子束移动速率：0.1nsec；电子束束闸开关时间：不大于 * nsec品台控制：步进电机驱动；套刻：自动及手动对准模式 3.4.3件：系统：Windows * 件：图形绘制程序、 (略) 发生器；基本图形单元：线斜），矩形、 * 角形、方形、圆形、圆环、圆弧、点



 

( 高精度电子束曝光机 )需求公示

项目名称

高精度电子束曝光机?

是否预选项目

否?

采购人名称

(略) (略) ?

采购方式

公开招标?

财政预算限额（元）

点击查看>> ?

项目背景


该项目为 (略) (略) (略) 超滑技术平台建设项目，批复文号 (略) 科技创新[ * 号，项目资金已到位，采购金额为 * 万人民币， (略) ，采购资金从超滑设备平台项目支付。?
?

投标人资质要求


1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；?
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，不接受投标人选用进口产品参与投标；?
3）参与政府采购项目投标的供应商 (略) 贿犯罪记录（ (略) 定期向 (略) 申请对政府采购供应商库中注册有效 (略) 集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；?
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《 (略) 经济特区政府采购条例实施细则》第 * 十 * 条的规定。）?
?

货物清单

序号 采购计划编号 货物名称 数量 单位 备注 财政预算限额(元)
1 点击查看>> ? 高精度电子束曝光机? 1.0? 套? 公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见表。? 1. * E7?

具体技术要求


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序号

货物名称

招标技术要求

1

高精度电子束曝光机

1.


1.1 电源电压： * V(AC)， * Hz

1.2 环境温度： * - * ℃

对

2. 设备主要技术指标2.2样品台移动方式：步进、重复式


2.3电子束形状：圆形高斯束班

▲?2.4加速电压：

线宽


2.7: * m x * m(标准), * m x * m, * μm x * μm

2. * . * 拼接误差： (略) 下应达到 * nm

2. * 差： (略) 下应达到 * nm

2. * : 动态聚焦消像 2. * 样品台移动范围: X: * mm, Y: * mm, Z: * mm

3. 设备

3.1.1电子束发射枪：灯丝使用寿命应大于 * 观


3.2.1元：2组 * 次电子探测器，背散射探测器，和差信

3.2.3计算机：处理器：因特尔酷睿i7：不小于1TB4GB、鼠标样

3.3.1平台：气垫防振系统

3.3.2：包括干式机械泵、分子泵组，离子泵组。

3.3.3进样室：自动换样室，支持不小于8准样品，以及任意尺寸样品电

3.4.1算机：处理器：因特尔酷睿i7：不小于1TB4GB示器、键盘、鼠标等3.4.2描，位置控制： * ；扫描控制： * ；扫描速率：电子束驻留时间：0. * ~ * sec/dot子束移动速率：0.1nsec；电子束束闸开关时间：不大于 * nsec品台控制：步进电机驱动；套刻：自动及手动对准模式 3.4.3件：系统：Windows * 件：图形绘制程序、 (略) 发生器；基本图形单元：线斜），矩形、 * 角形、方形、圆形、圆环、圆弧、点


    
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