品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、可测量最大 * mm晶圆。※
2、测量材料方块电阻（Ω/sq）和电阻率（ Ω-cm）。
3、可自动或手动在机台面板操作，实现脱机单点或5点自动快速测量。※
4、 (略) 测量范围选择，并显示读数。
5、数据分析功能。
6、Windows软件PC控制，包括操作管理，测量计划设置，数据存储，系统诊断功能。
7、ASTM/SEMI标准的2D * 维轮廓图和3D * 维地形图。
8、7个标准电阻（0. * Ω, 0.2Ω, 2.0Ω, * Ω, * Ω, * Ω, * 0Ω）电路自校准。※
9、P/N型测试。※
* 、方块电阻测量范围: 1mΩ/sq至 * kΩ/sq
* 、电路精度（带7个校准电阻）: 0.1% ※
* 、硅片重复性: 0.2% ※
* 、测量Wafer边缘至: 3mm
* 、Wafer测量样品直径（mm）： * , * , * , * , * ;
* 、程序测量点数:9, * , * , * , * , * , * , * , * , * , * , * , * , * 或用户设定
* 、探头针尖半径(μm)： * 、 * 、 * 、 * 任选
* 、探针间距：1 mm　
* 、探针压力： * g – * g

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【2】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

1、可测量最大 * mm晶圆。※
2、测量材料方块电阻（Ω/sq）和电阻率（ Ω-cm）。
3、可自动或手动在机台面板操作，实现脱机单点或5点自动快速测量。※
4、 (略) 测量范围选择，并显示读数。
5、数据分析功能。
6、Windows软件PC控制，包括操作管理，测量计划设置，数据存储，系统诊断功能。
7、ASTM/SEMI标准的2D * 维轮廓图和3D * 维地形图。
8、7个标准电阻（0. * Ω, 0.2Ω, 2.0Ω, * Ω, * Ω, * Ω, * 0Ω）电路自校准。※
9、P/N型测试。※
* 、方块电阻测量范围: 1mΩ/sq至 * kΩ/sq
* 、电路精度（带7个校准电阻）: 0.1% ※
* 、硅片重复性: 0.2% ※
* 、测量Wafer边缘至: 3mm
* 、Wafer测量样品直径（mm）： * , * , * , * , * ;
* 、程序测量点数:9, * , * , * , * , * , * , * , * , * , * , * , * , * 或用户设定
* 、探头针尖半径(μm)： * 、 * 、 * 、 * 任选
* 、探针间距：1 mm　
* 、探针压力： * g – * g

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【2】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。