( 等离子体增强原子层沉积机、集束型DLC薄膜制程机、感应耦合电浆增强溅镀沉积机 )需求公示
项目名称
等离子体增强原子层沉积机、集束型DLC薄膜制程机、感应耦合电浆增强溅镀沉积机?
是否预选项目
否?
采购人名称
(略) (略) ?
采购方式
公开招标?
财政预算限额（元）
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项目背景
该项目为 (略) (略) (略) 超滑技术平台建设项目，批复文号 (略) 科技创新[ * 号，项目资金已到位，采购金额为 * 万人民币， (略) ，采购资金从超滑设备平台项目支付。??
投标人资质要求
1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；?
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；?
3）参与政府采购项目投标的供应商 (略) 贿犯罪记录（ (略) 定期向 (略) 申请对政府采购供应商库中注册有效 (略) 集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；?
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《 (略) 经济特区政府采购条例实施细则》第 * 十 * 条的规定。）??
货物清单
| 序号 | 采购计划编号 | 货物名称 | 数量 | 单位 | 备注 | 财政预算限额(元) |
|---|
| 1 | 点击查看>> ? | 等离子体增强原子层沉积机? | 1.0? | 套? | 公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见表。? | 点击查看>> .0? |
| 2 | 点击查看>> ? | 集束型DLC薄膜制程机? | 1.0? | 套? | 公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见表。? | 点击查看>> .0? |
| 3 | 点击查看>> ? | 感应耦合电浆增强溅镀沉积机? | 1.0? | 套? | 公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见表。? | 点击查看>> .0? |
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具体技术要求
说明：投标人须如实填写《技术规格偏离表》，并按招标文件的要求提供相关证明资料， (略) 说明书或产品彩页等。提供的证明资料与投标响应情况不相符的，视为《技术规格偏离表》填写不实。
设备 * 、等离子体增强原子层沉积机
1. 镀膜适用范围
1.1镀膜尺寸：兼容8寸及其以下尺寸；
1.2镀膜种类：本设备适用于Al2O3，SIO2，HfO2等材料薄膜制备，并可选配扩充各种不同前驱物，进行对应的氧化物或氮化物膜层工艺开发（TiO2，TaN，ALN，SixNy等薄膜）。
2. 等离子源
2.1 等离子源: (略) 采用的等离子形成机制为感应耦合式等离子。ICP等离子的产生与维持主要为利 (略) (略) ，加热等离子电子，以满足游离态反应。 (略) 需的时变(交流)磁场，可利用通过金属线圈上的交流电流产生。而金属线圈置于真空介电窗外，并透过流经线圈的RF ( * . * MHz)电流，在介电窗内或另 * 侧产生等离子。
2.2 等离子源电源供应器： 频率: * . * MHz、功率1kW，搭配专属的匹配器系统，连接于ICP金属线圈上，提供 (略) (略) 。
3. 真空反应腔体：
3.1 (略) 理: 采 * 不锈钢腔体焊接结构，腔体制作完成后，全机腔体表面结构需要亮 (略) 理，内部组件物体需表面光亮，以满足真空度需求。
▲3.2 腔体加热功能: 腔壁具加热保温功能，确保腔体表面温度最高可达 * ℃，将使用PID可程控温控器，可设定多段温度升温，及可数字式温度显示，其控温精准度≦±5oC。
3.3 (略) 真空度:≦1× * -2 Torr。
3.4腔体抽气状况:腔内压力从1大气压到低于至 * -2 Torr，抽气操作时间≦ * min。
3.5静态泄漏率≦5 mTorr/min。
3.6氦气量测泄漏率≦ * -9 mbar.l/sec。
▲3.7成膜室模块死角的冲吹设计：避免前驱物或制程气体残留在几何死角（dead-flow）后产生污染微粒。
4. 基板加热模块
4.1基板加热尺寸: 适用于8”的基板载台。
4.2 基板加热功能: 依靠控制基板表面的温度，达到调整前驱物质于基板表面的反应性的目的。
▲4.3基板加热温度：热阻式基板加热器最高温度可达 * oC，升温速率≧ * oC /min，过温需小于 * oC。
4.4基板加热控制: 提供基板稳定均匀预热的需求，附热电偶监控温度，利用具有PID的可程控温控器，可设定多段温度升温，及可数字式温度显示，其控温精准度为±5oC。
5. 真空阀件及真空计。
5.1 快速切换阀： * 组，排气系统控制, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置。
5.2低真空计： * 组，确认真空值及压力状况，线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
6. 气盘配置系统：
6.1 配盘模块: 半密闭箱体，由管径1.5吋以上强 (略) 抽气，内含管路模块及加热组件等。气体设定点和流量在控制屏幕上显示。
6.2 气体管路尺寸及材质: * 般气体管路为1/4吋Swagelok进气
管路；特殊气体为1/4吋VCR进气管线管路含截止阀。全管路为1/4吋的SUS * L材质。
6.3气体MFC:共5组，使用气体源: Ar (carrier gas)、Ar、N2、O2、NH3， Mass Flow Controller, Ar( * sccm)、Ar( * sccm)、N2( * sccm)、O2( * sccm), NH3( * sccm)。配置根据实际使用量更换小量程MFC。
6.3 管路purge功能：purge气体使用Ar气体。
6.4 Precursor管路及快速阀：管路装设 * 组进气口，precursor快速阀两组。
▲6.5 前驱体管路加热: 管路自带加热与保温，2个 * ℃加热源，加热器将由可程控数字式温度显示温控器（PID）执行调变温度。
7. 排气系统
7.1 抽气pump:抽气速率需高于 * m3/h，腔体至pump端真空管路包覆加热带（ * ℃加热源），加热器将由可程控数字式温度显示温控器（PID）执行调变温度。
▲7.2 冷凝阱（Cold Trap）:1组，材质:SS * ，进出口法兰为CF * 以上，需有冷却水路，确保水冷温度( * - * ℃)。
8. 电控系统
8.1 PLC可程序逻辑控制模块，并搭配 * 寸以上彩色触控式人机屏幕，可设定参数、权限设定、密码保护等功能。
8.2气体流量与压力监控系统。
8.3手动及全自动操作模式设定，具全自动排气及制程等作业程序。
8.4系统控制权限设定，分别以不同身份来操作系统。
8.5所有阀门、帮浦互锁安全保护可设定参数、密码、保护功能。
8.6可直接在接口上设定流量及读取目前流量值。
8.7各项异常状态侦测与警报功能。
8.8紧急停机保护装置。
8.9具多种参数设定功能，参数记 (略) log功能。
▲8. * 搭配远端遥控监控系统，可即时监控设备状况。
8. * UPS不断电系统：具供应计算机的电源发生不正常中断或是电流不稳定时，便担负起暂时紧急供应电源的功能，使计算机不会因停电而被迫流失数据，或者造成系统的毁损。
9. 验收条件
9. (略) 零组件与系统必须正常链接与运作。
9.2各装置、外观、尺寸确认。
9.3冷却循环水路测漏。
9.4氦气测漏 (略) 测漏，泄漏率< * -9 mbar？l /sec。
9.5基板加热功能：U(%)9.6薄膜测试: U(%)优于±5.0% @Al2O3, 分别 * nm 和 * nm,
U(%)=(Max-min)/2*Avg.
设备 * 、集束型DLC薄膜制程设机
1.中心真空传输模块
1.1中心主传输 * 角腔体由铝材质制成，共具 * 个传输开口，传输口大小为标准 * × * mm矩形开口，可提供8寸样品传输使用，并 * 个径向路经上配备光学侦测开口。腔体上下开口为维修口，提供真空机械手臂安装维修使用。本模块具粗抽气开口，粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为大小DN * ISO-KF以上。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销。
1.2腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气压 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
1.3大气辅助压力计*1：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
1.4 无油真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
1.5粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF
1.6破空阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组。
1.7真空机械传输手臂具完整搭配本传输腔体几何设计与维修孔大小，电控逻辑上提供安全互锁保护。
2.进出样过渡腔室模块
2.1 过渡腔室腔体由 * 不锈钢制成，共具两个样品进出开口，其 * 为手动式上掀开门；其 * 为 * × * mm标准方形传输开口，透过标准矩 (略) 真空传输模块，前述开口均可提供8吋样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为DN * ISO大小以上，置于上掀式门板。上掀式门板为手动开启，带氮气缸支撑。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销。
▲2.2 基板冷却方式:冷却板接触降温，冷区与热区分离不互相干扰。
▲2.3 Pre-Heat加热性能 : IR灯管加热, max. * ？C，热均匀性 2.4 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
2.5 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
2.6无油真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
2.7 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2秒, 密封组件, 内部开口尺寸 * × * mm
2.8 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
2.9 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组。
3.预清洁腔体
3.1 预清洁腔体由不锈钢 * 材质制成，共具两个样品进出开口，其 * 为手动式上掀开门；其 * 为 * × * mm标准方形传输开口，透过标准矩 (略) 真空传输模块，前述开口均可提供8吋样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。上掀式门板为手动开启，带氮气缸支撑。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销。
3.2腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.3 腔体用高真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围7.5E?3 to 7.5E?9 Torr（1.0 to 1.0E?6 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.4 制程用真空压力计, 线性信号输出, 准确性0.2%, 分辨率0. * % FS, 反应时间< * ms, * to 5.0E-3 Torr（ * to 6.6E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.5 高真空泵浦前级用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围atmosphere to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.6 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
3.7 无油涡轮分子泵浦：法兰(in) DN * ISO-K, 法兰(out) DN * ISO-KF,N2抽气速度: * L/sec
3.8 无油真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
3.9 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2 secs, 密封组件为氟橡胶O形圈, 内部开口尺寸 * × * mm
3. * 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
3. * 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件Viton O-ring, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组。
3. * 高真空计保护阀门：单气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
3. * 制程真空计保护阀门：单气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
3. * 破大气阀门组：单气动直角阀主体, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组
3. * 控压蝶阀含控制器: DN ISO *
▲3. * 等离子产生器：输入额定电压：AC * 至 * V，输入电压波动范围：AC * ？ * V，相，频率：单相 * / * Hz,输入电容：1.8 kVA或更低,输入电流: * A 或更低,漏电流:5mA或更低，频率: * . * MHz,额定功率: * W（ * Ω load）,最大反射功率: * W,输出阻抗: * Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率 * to * ％,冷却系统：使用气体冷却。
▲3. * RF电源匹配器:输入频率: * . * MHz,额定功率: * ～ * W,输入接头: N type,容许输出电压: 2.5kVpp 或更低/ 2.5kVdc 或更低, 容许输出电流: * A或更低, (略) ： 0.5Ω ≦ R ≦ * .0Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却。
3. * 分气盘为半密闭箱体，由管径1.5吋以上强 (略) 抽气，内含制程气体用的质流控制器
3. * 质流控制器:Ar: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
4. DLC沉积腔体模块
4.1 等离子体增强化学气象沉积系统腔体 (略) 理铝合金材质制成，尺寸约 * mmL× * mmW× * mmH，外方内圆设计，共具 * 个样品进出开口，其 * 为手动式上掀开门；其 * 为 * × * mm标准方形传输开口，透过标准矩 (略) 真空传输模块，前述开口均可提供8寸样品传输使用。
4.2 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式
4.3 腔体用高真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围7.5E?3 to 7.5E?9 Torr（1.0 to 1.0E?6 Pa）, 法兰型式
4.4制程用真空压力计, 线性信号输出, 准确性0.2%, 分辨率0. * % FS, 反应时间< * ms, * to 5.0E-3 Torr（ * to 6.6E?1 Pa）, 法兰型式
4.5 高真空泵浦前级用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式
4.6 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
4.7 无油涡轮分子泵浦：法兰(in) ISO * B, 法兰(out) DN * ISO-KF, N2抽气速度: * L/sec，附加热功能
4.8真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
4.9细抽阀门：气动闸阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 阀门本体最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-F
4. * 涡轮分子泵浦前级阀门：气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF
4. * 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2 secs, 密封组件, 内部开口尺寸 * × * mm
4. * 粗抽阀门：气动阀门, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO
4. * 高真空计保护阀门：气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF
4. * 制程真空计保护阀门：气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
4. * 破大气阀门组：气动直角阀主体, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组
4. * 控压蝶阀：DN ISO *
4. * 上电极模块包含下列功能：
(1)电极加热：透 (略) 温度控制，供0- * ？C温度使用
(2)制程气体的分散与喷出：经模拟设计的分散板，可取得最佳的气体分散均匀性
(3)等离子产生或接地：透过 * . * MHz RF电源及其匹配器回路控制
4. * 下电极模块包含下列功能：
(1) 等离子产生或接地：透过 * . * MHz RF电源及其匹配器回路控制
(2) 加装特殊回路来调整同样频率，避免制程同时放电 (略) 产生的波动会相互影响。
4. * 等离子体产生电源为标准射频电源产生器（ * . * MHz），搭配匹配回路以及特殊回路,进行上下电极导入及调整频率，匹配回路与特殊回路置于 (略) ，电源供应器本体置于总电控箱体内。射频电源频率为 * . * MHz，功率为 * W，强制气体冷却
▲4. * 等离子产生器*2：：输入额定电压：AC * 至 * V，输入电压波动范围：AC * ？ * V，相，频率：单相 * / * Hz,输入电容：1.8 kVA或更低,输入电流: * A 或更低,漏电流:5mA或更低，频率: * . * MHz,额定功率: * W（ * Ω load）,最大反射功率: * W,输出阻抗: * Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率 * to * ％,冷却系统：使用气体冷却
▲4. * RF电源匹配器*2:输入频率: * . * MHz,额定功率: * ～ * W,输入接头: N type,容许输出电压: 2.5kVpp 或更低/ 2.5kVdc 或更低, 容许输出电流: * A或更低, (略) ： 0.5Ω ≦ R ≦ * .0Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却。
▲4. * 上、下电极RF可同步开启，需特殊设计无相互干扰问题，提出具体解决方案。
4. * 分气盘为半密闭箱体，由管径1.5寸以上强 (略) 抽气，内含制程气体用的质流控制器，共具 * 组配置，默认气体为：(1) O2, (2) Ar, (3) CF4, (4) C2H2, (5) H2, (6) SiH4, (7) N2，(8)HMDSO或TMS，质流控制器前后连结常闭式气 (略) 保护，进入制程腔体前，连结进气总阀（常闭式气动薄膜阀）进行保护。全管路为VCR接头形式，管材规范为1/4” O.D. SUS * L (EP)。分气盘整合于主系统下方。分气盘预留 * 组备用管路，以塞头密封备用。
4. * 质流流量MFC控制器，具体量程也可根据客户每种气体具体使用量，小于等于现在约定量程（既优于现在量产设计）：
(1) O2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(2) Ar: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(3) CF4: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(4) C2H2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(5) H2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度暖机，需 * 分钟。
(6) SiH4: * SCCM,精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度暖机，需 * 分钟。
(7) N2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度暖机，需 * 分钟。
(8) HMDSO: * SCCM,精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He, 达最佳精度暖机，需 * 分钟。
4. * 管路气动阀： 氦检泄漏率＜3.0E? * Pa？m3/sec, 最高操作温度为 * ？C (PCTFE), 1/4 inch VCR
▲4. * MO Soure: (安装时，客户端根据需求选配)
(1) 制备填充HMDSO原料专用的独立筒槽*1
(2) 填充HMDSO原料
(3) 恒温 (略) 需的加热使用，其默认控制温度范围为 * - * ？C，透过微电脑PID控制系统与制冷组件，达到温度调节精度为±5%
▲4. * 工艺指标：
（1） DLC膜厚均匀性≦± * % for HMDSO source (
点击查看>> ?) [(Max-Min)/(2×avg.)]；
（2） * nm和 * nm分别 DLC Ra≦0.8 nm @ 抛光衬底硅片
▲4. * 提供公司现况HMDSO应用于DLC 薄膜相关制程与成果报告。
5.计算机控制模块
5.1 主控制器规格总览：
(1) 工业控制级计算机搭配PLC系统
(2) 处理器：≥2.5GHz（Intel Core 2 Duo）
(3) 监视器：液晶显示器（≥ * inch）
(4) 输入设备：键盘、鼠标、远程监控平板计算机
(5) 电气控制系统：控制系统须保证在电力供应中断时，不会造成严重系统事故或操作人员受伤
(6) 静电消除装置：设备必须包含静电消除装置，静电消散时间：≤3sec（从± * V 到± * V），平衡电压≤± * V
(7) 备品管控：提供设备免费保修期内必需的备品备件和易损件；
(8) 显示界面：各压力、状态、基板&参数显示；
(9) 中心传输模块的机械手传送基板有自动和半自动功能，可以把基板传送到任何 * 个链接的模块或系统内；
( * ) 可逆物流传送；
( * ) 可捞取l (略) 分析；
( * ) 各系统及模块需有手动/自动定期保压测试功能；
( * ) 工具管控：提供 * 套完整的维修和操作的专用工具；
( * ) 系统设有各阶层的授权许可，可密码锁定，以防参数被任意修改；
( * ) 经由定时器使用，耗材使用时间可同步被记录；系统会依据设定值警示提醒须更换耗材，其他定期维护的项目也可 (略) 。
5.2 安全功总览：
(1) 互锁功能：设备开腔时要有互锁功能；
(2) 紧急停止开关：按钮及排 (略) 商标准
(3) 暂停开关：当按下暂停开关后， 机械动作停止，并且报警
(4) 安全对策：
(5) (略) 时，为防止操作员的错误操作而装有inter-lock
(6) 空气压力、真空等发生异常时发出警告
(7) 设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构，异常检出时，蜂鸣器响起，同时在显示器上表示出异常内容
(8) 警告标签：在所有危险位置标记；使用中文或英语；（包括腐蚀性警告标签，有毒警告标签，烫伤警告标签，机械性损伤警告标签等）
(9) 特气及前驱物之管路须能 (略) 饱压/负压安全测试
( * ) EMO(EMS)：每个单元须有 * 个或以上的 EMO（EMS）按钮， 当任何 * 个按钮被按下，相关设备电源须关闭且由断路器关闭
▲5.3配备UPS，使计算机不会因停电而被迫流失数据，或者造成系统的毁损。
▲5.4搭配高阶远端遥控监控系统，可即时监控设备状况。
设备 * 、感应耦合电浆增强溅镀沉积机
1.样品大气取放过渡腔室模块
▲1.1 过渡腔室腔体由 * 不锈钢制成，腔体前开式门板，并搭配 * 片式卡夹储存盒与真空传送设计。此模组具两个样品进出开口，其 * 为前开式门板；其 * 为矩形传输开口，透过标准矩形方阀链接反应腔模块，前述开口均可提供6寸及以下样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为DN * ISO大小以上，置于前开式门板。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销；
▲1.2过渡腔室模块包含下列功能：
(1)晶片取放片方式:以5片卡夹式储存盒，单片传送功能；
(2)Pre-Heat加热性能:最高可达 * ？C；
(3)需具Pre-clean性能设计；
(4)传输系统:传输杆搭配马达控制；
▲1.3等离子产生器：电压单相AC * V, 电流<7A, 频率 * ~ * Hz, 输出功率: * W, 频率: * kHz，通讯介面:PLC port/ * pin(类比控制)，冷却方式:风冷或水冷；
1.4真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气到 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
1.5大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * 至 +1. * MPa (? * 至 + * Torr)；
▲1.6无油真空泵浦: * 相广领域电压, 吸气口尺寸:VG * , 排气口尺寸:VG * , 抽气速率≧ * m3/h ( * Hz)；
1.7 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2秒, 密封组件, 内部开口尺寸≧ * × * mm；
1.8 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C,含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次以上, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF；
1.9破空阀组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件；
1. * 激光光电传感器:小光点回归反射型数字激光光电传感器, 可见红色半导体激光（波长: * nm）, 最远侦测距离 * m
1. * 质流控制器:Ar: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度。
2.感应耦合电浆增强溅镀腔室模块
▲2.1 反应腔体由 * 不锈钢制成，腔体前开式门板，并整合真空传送设计。此模组具两个样品进出开口，其 * 为前开式门板；其 * 为矩形传输开口，透过标准矩形方阀链接过渡腔室模块，前述开口均可提供6寸样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为DN * ISO大小以上，于前开式门板，须加装视窗遮罩。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销等；
▲2.2基板载台包含下列功能：
(1)基板载台为单片位置，具有顶针升降模组；
(2)自转功能；
(3)加热功能，最高温度可达 * ？C；
(4)偏压电源：透过RF或MF电源供应器回路控制；
(5)由于ICP电源与基板偏压需同步使用，对于相互干扰问题，厂商提出具体解决方案；
▲2.3溅镀靶:6寸圆靶溅镀枪1组(等离子体密度需达≧8- * W/cm2)，附遮罩；可以兼容4寸靶材；
▲2.4溅镀靶电源:直流脉冲电源供应器,输入端:电压AC * V(单相+接地线), 电流: * A, 频率: * - * Hz, 过电流保护:Breaker；输出端:额定功率:5Kw；通讯介面:PLC( * PIN)/类比控制、监控；
▲2.5反应腔室需设计感应耦合等离子体模块；
2.6等离子产生器(ICP适用)：输入额定电压：AC * 至 * V，输入电压波动范围：AC * ？ * V，相，频率：单相 * / * Hz,输入电容：1.8 kVA或更低,输入电流: * A 或更低,漏电流:5mA或更低，频率: * . * MHz,额定功率: * W（ * Ω load）,最大反射功率: * W,输出阻抗: * Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率 * to * ％,冷却系统：使用气体冷却；
2.7 RF电源匹配器(ICP适用):输入频率: * . * MHz,额定功率: * ～ * W,输入接头: N type,容许输出电压: 2.5kVpp 或更低/ 2.5kVdc 或更低, 容许输出电流: * A或更低, (略) ： 0.5Ω ≦ R ≦ * .0Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却；
2.8 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气至 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF； 1.4 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF。
2.9 高真空泵浦前级用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气至7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
2. * 腔体用高真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围7.5E?3至7.5E?9 Torr（1.0至1.0E?6 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
2. * 制程用真空压力计, 线性信号输出, 准确性0.2%, 分辨率0. * % FS, 反应时间< * ms, * 至5.0E-3 Torr（ * E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
2. * 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * 至+1. * MPa (? * 至 * Torr)； 1.5 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)。
▲2. * 无油低真空泵浦: * 相广领域电压, 吸气口尺寸:VG * , 排气口尺寸:VG * , 抽气速率≧ * m3/h ( * Hz)； ▲1.6真空泵浦: * 相广领域电压, 吸气口尺寸:VG * , 排气口尺寸:VG * , 抽气速率≧ * m3/h (( * Hz))
2. * 无油涡轮分子泵浦:抽气速度: * L/sec (N2)；
2. * 自动控制压力阀:材质： * S.S.；密封材料：Viton；安装位置：任意；位置控制：多位置设定（0？ * ？）；压力范围： * -8 mbar至1.2 bar；泄漏率（阀体，阀座）：1× * -9mbar.l / sec；开/关时间：0. * s； 最高温度:BODY * ？C/环境 * ？C；传感器输入：分辨率：2.3mV /采样率：1ms；控制精度：最大传感器量程的0.2％；位置分辨率： * （旋转角度0- * ？）； 1.7 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2秒, 密封组件, 内部开口尺寸≧ * × * mm
1.8 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF
2. * 粗抽阀门材质 * 不锈钢,泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C,含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF；
2. * 细抽阀门材质 * 不锈钢,泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 阀门本体最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-F； 1.9 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF。
2. * 前级抽气阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF；
2. * 真空计保护阀门：单气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF；
2. * 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF；
▲2. * 溅镀靶要求配置独立冷却系统；
2. * 质流控制器:工艺气体用之质流控制器，共具 * 组配置，默认气体为Ar、O2及N2，最大流量为 * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度。
3.计算机控制模块
3.1 主控制器规格总览：
(1) PLC控制系统；
(2)监视器：液晶显示器（≥ * inch）；
(3)输入设备：键盘、鼠标、远程监控平板计算机
(4)电气控制系统：控制系统须保证在电力供应中断时，不会造成严重系统事故或操作人员受伤；
(5)备品管控：提供设备免费保修期内必需的备品备件和易损件；
(6)显示界面：各压力、状态、基板&参数显示；
(7)过渡腔式模组的机械杆传送基板有自动和半自动功能，可以把基板传送到任何 * 个链接之反应腔室内；
(8)可逆物流传送；
(9)可捞取l (略) 分析；
( * )各系统及模块需有手动/自动定期保压测试功能；
( * )工具管控：提供 * 套完整的维修和操作的专用工具；
( * )系统设有各阶层之授权许可，可密码锁定，以防参数被任意修改；
( * )经由定时器之使用，耗材使用时间可同步被记錄；系统会依据设定值警示提醒须更换耗材，其他定期维护之项目亦可 (略) ；
3.2 安全功总览：
(1)互锁功能：设备开腔时要有互锁功能；
(2)紧急停止开关：按钮及排 (略) 商标准；
(3)暂停开关：当按下暂停开关后， 机械动作停止，并且报警；
(4) (略) 时，为防止操作员的错误操作而装有inter-lock；
(5)空气压力、真空等发生异常时发出警告；
(6)设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构，异常检出时，蜂鸣器响起，同时在显示器上表示出异常内容；
(7)警告标签：在所有危险位置标记；使用中文或英语；（包括腐蚀性警告标签，有毒警告标签，烫伤警告标签，机械性损伤警告标签等）；
(8)EMO(EMS)：每个单元须有 * 个或以上的 EMO（EMS）按钮， 当任何 * 个按钮被按下，相关设备电源须关闭且由断路器关闭；
▲3.3配备UPS，使计算机不会因停电而被迫流失数据，或者造成系统的毁损；
▲3.4端遥控监控系统，可即时监控设备状况；??
商务需求
?
?说明：
1. “（ * ）免费保修期内售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。
2. “（ * ）免费保修期外售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。
3. “（ * ）其他商务要求”部分，如有补充，请详细列明。
4. 可在重点条款前标“▲”。（重点条款偏离扣分较重，但不废标） |
序号 |
目录 |
商务需求 |
（ * ）免费保修期内售后服务要求 |
1 |
维修及维护服务 |
1.1▲各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限, 并承诺提供整机免费保修期?1年，终身维修。保修期内,年度定期预防性维护保养次数应不少于?1?次。保修期内免费更换零配件、免工时费。设备在保修 (略) 进行维修， (略) 维修报告。使用性耗材不在保修范围。 |
1.2▲由设备制造商提供售后服务，?8小时内响应， * ??小时维修人员到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案。 (略) 省内有相应的维修机构，并出具证明文件。 |
1.3投标人负责货物的终身维修，保证 * ?年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修 (略) 理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。 |
1.4免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。 |
1.5提 (略) 签订的售后服务协议书。 |
1.6 确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于 (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有 (略) (略) 了解测试，并提供自己的解决方案。若 (略) 房厂务等因素无法让设备正常接入，超过半年以上没有开始验收，保修期会以设备到货时间开始计算。 |
2 |
质量保证 |
2.1保修期内因质量问题停机不超过2次,因故障总停机时间不超过1个月。否则延长质保期或更换新机。 |
2.2保修期到期前 * 个月内投标人需 (略) 状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供 (略) 技术支持服务和联系方式。 |
（ * ）免费保修期外售后服务要求 |
1 |
维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价 |
1.1▲由设备制造商提供售后服务，?8?小时内响应， * 小时维修人员到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。 |
1.2保修期满后，投标人应以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前5项零配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中。 |
1.3采购人可与投标人 (略) 谈判，但优惠价不得高于投标人在投标文件的《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中承诺的维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价。 |
1.4设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。 |
1.5免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。 |
（ * ）其他商务要求 |
1 |
交货要求 |
1.1签订合同后，自收到采购人通知后? * 工作日?个日历日内交货 |
1.2投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物 * 并交付至采购人指定地点。 |
1.3提供的货物必须为、经检验合格的产品。产品如需要计量检定的应提供相 (略) 门出具的合法检定报告。 |
1.4投标产品必 (略) 生产产品。 |
1.5如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料； (略) 、贴牌及非正当进货渠道产品。 |
2 |
运输、安装和验收 |
2.1投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点( (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层),并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用?2周?后，无故障方签署验收报告，保修期自 验收培训完成?起开始计算。 |
2.2采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合同规格的要求，并且不承担额外的费用。 (略) 交货物与 (略) 承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在
? * ?天内采取补足、更换或退货等措施,以满足规格的要求，由此发生的 * 切损失和费用由投标人承担。 |
2.3投标人负 (略) 安装和调试,提供货物安装、 (略) 需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后?1周?时间内开始安装调试,并在?2周?天内安装调试完毕。 |
2.4由投标人代表和采购人组成验收小 (略) 验收。验收标准按照国家 (略) 。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。出机前设备必须的环境比如水、气、电、排气系统都要符合法规，若无符合设备使用的环境及法规，拖到验收时程，设备 (略) (略) 验收。 |
3 |
培训 |
3.1▲中标人应派专业技术人员免费对采购单位 (略) 定期培训及指导，直至其完全掌握设备的使用 (略) 理技术。 |
3. (略) 培训：中标 (略) 技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。 |
3.3集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。 |
3.4计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。 |
3.5网络教育：专业 (略) 网站，提供与世界各地用 (略) 网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。 |
4 |
知识产权 |
4.1投标人应保证采购人在使用该货物 (略) 分时，免受第 * 方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。 (略) 提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。 |
4.2采购人购买产品后，有权对该产品与 (略) 配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。 |
4.3知识产权归属： (略) 的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。 |
5 |
付款方式 |
5.1合同签署后7个工作日内，采购人支付 * %预付款。 (略) 验收后支付 * %出货款，收到货款后出机，货到验收合格后，中标人凭验收报告，采购人7个工作日内支付 * %货款。 |
6 |
违约责任 |
6.1货物抵达目的港 * 天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不 * 致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中 (略) 出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。 |
6.2如果投标人没有按照约定日期交货，除不可抗力之外，如果投标人愿意支付罚金，则采购人应同意延期出运。罚金不超过迟延出运货物总价的5%。罚金比率为每 * 天1%，不足 * 天以 * 天计。如果投标人比规定的装运时间迟延 * 周，采购人有权解除合同。即使解除合同，投标人也应向采购人支付罚金。若采购人无法满足设备使用环境，投标人可延后出机，待采购人完成使用环境与投标人确认环境后才出机。 |
7 |
其他 |
7.1投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。 |
7. (略) 技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。 |
7.3消耗品/零配件供应及时（ (略) 耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。 |
|
??
技术规格偏离表
?
序号 | 货物名称 | 招标技术要求 | 投标技术响应 | 偏离情况 | 说明 |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
??
商务规格偏离表
?
序号 | 目录 | 招标商务条款 | 投标商务条款 | 偏离情况 | 说明 |
（ * ）免费保修期内售后服务条款偏离表 |
1 | ? | ? | ? | ? | ? |
2 | ? | ? | ? | ? | ? |
…… | ? | ? | ? | ? | ? |
（ * ）免费保修期外售后服务条款偏离表 |
1 | ? | ? | ? | ? | ? |
2 | ? | ? | ? | ? | ? |
…… | ? | ? | ? | ? | ? |
（ * ）其他商务条款偏离表 |
1 | ? | ? | ? | ? | ? |
2 | ? | ? | ? | ? | ? |
…… | ? | ? | ? | ? | ? |
??
评标信息
?
?
评标方法： 综合评分法
评标方法说明：
价格分=[1-（投标报价-最低价）/最低价]×价格权重× *
? 当价格分<0时，取0。
?
序号 |
评分项 |
权重 |
1 |
价格 |
* |
2 |
(略) 分 |
* |
? |
序号 |
评分因素 |
权重 |
评分方式 |
评分准则 |
1 |
技术保障措施 |
3 |
专家打分 |
在投标文件中详细说明保障措施（ (略) 、技术方案、技术人员、场地、车辆等）， (略) 根据 (略) 横向比较，按优 * 分，良 * 分，中 * 分，差0分打分。 |
5 |
技术规格偏离情况 |
* |
专家打分 |
1.?投标人应如实填写《技术规格偏离表》， (略) 根据技术需求参数 (略) 打分，各项技术参数指 (略) 满足的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣5分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。 |
3 |
商务需求 |
9 |
? |
序号 |
评分因素 |
权重 |
评分方式 |
评分准则 |
1 |
免费保修期内售后服务条款偏离情况 |
5 |
专家评分 |
投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。 |
2 |
免费保修期外售后服务条款偏离情况
（可选） |
2 |
专家评分 |
投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。 |
3 |
其他商务条款偏离情况 |
2 |
专家评分 |
投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣4分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。 |
4 |
(略) 分 |
6 |
? |
序号 |
评分因素 |
权重 |
评分方式 |
评分准则 |
1 |
投标人近 * 年同类业绩（ (略) 发布之日） |
3 |
专家评分 |
提供3个同类业绩即得满分，提供2个得 * 分，提供1个得 * 分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每 * 个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。 |
2 |
履约评价 |
3 |
专家评分 |
根据 (略) 市政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得 * 分，有差评的得0分。 |
|
??
其它
??
附件
白光干涉仪等4套设备需求文档.doc?
( 等离子体增强原子层沉积机、集束型DLC薄膜制程机、感应耦合电浆增强溅镀沉积机 )需求公示
项目名称
等离子体增强原子层沉积机、集束型DLC薄膜制程机、感应耦合电浆增强溅镀沉积机?
是否预选项目
否?
采购人名称
(略) (略) ?
采购方式
公开招标?
财政预算限额（元）
点击查看>> ?
项目背景
该项目为 (略) (略) (略) 超滑技术平台建设项目，批复文号 (略) 科技创新[ * 号，项目资金已到位，采购金额为 * 万人民币， (略) ，采购资金从超滑设备平台项目支付。??
投标人资质要求
1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；?
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；?
3）参与政府采购项目投标的供应商 (略) 贿犯罪记录（ (略) 定期向 (略) 申请对政府采购供应商库中注册有效 (略) 集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；?
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《 (略) 经济特区政府采购条例实施细则》第 * 十 * 条的规定。）??
货物清单
| 序号 | 采购计划编号 | 货物名称 | 数量 | 单位 | 备注 | 财政预算限额(元) |
|---|
| 1 | 点击查看>> ? | 等离子体增强原子层沉积机? | 1.0? | 套? | 公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见表。? | 点击查看>> .0? |
| 2 | 点击查看>> ? | 集束型DLC薄膜制程机? | 1.0? | 套? | 公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见表。? | 点击查看>> .0? |
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具体技术要求
说明：投标人须如实填写《技术规格偏离表》，并按招标文件的要求提供相关证明资料， (略) 说明书或产品彩页等。提供的证明资料与投标响应情况不相符的，视为《技术规格偏离表》填写不实。
设备 * 、等离子体增强原子层沉积机
1. 镀膜适用范围
1.1镀膜尺寸：兼容8寸及其以下尺寸；
1.2镀膜种类：本设备适用于Al2O3，SIO2，HfO2等材料薄膜制备，并可选配扩充各种不同前驱物，进行对应的氧化物或氮化物膜层工艺开发（TiO2，TaN，ALN，SixNy等薄膜）。
2. 等离子源
2.1 等离子源: (略) 采用的等离子形成机制为感应耦合式等离子。ICP等离子的产生与维持主要为利 (略) (略) ，加热等离子电子，以满足游离态反应。 (略) 需的时变(交流)磁场，可利用通过金属线圈上的交流电流产生。而金属线圈置于真空介电窗外，并透过流经线圈的RF ( * . * MHz)电流，在介电窗内或另 * 侧产生等离子。
2.2 等离子源电源供应器： 频率: * . * MHz、功率1kW，搭配专属的匹配器系统，连接于ICP金属线圈上，提供 (略) (略) 。
3. 真空反应腔体：
3.1 (略) 理: 采 * 不锈钢腔体焊接结构，腔体制作完成后，全机腔体表面结构需要亮 (略) 理，内部组件物体需表面光亮，以满足真空度需求。
▲3.2 腔体加热功能: 腔壁具加热保温功能，确保腔体表面温度最高可达 * ℃，将使用PID可程控温控器，可设定多段温度升温，及可数字式温度显示，其控温精准度≦±5oC。
3.3 (略) 真空度:≦1× * -2 Torr。
3.4腔体抽气状况:腔内压力从1大气压到低于至 * -2 Torr，抽气操作时间≦ * min。
3.5静态泄漏率≦5 mTorr/min。
3.6氦气量测泄漏率≦ * -9 mbar.l/sec。
▲3.7成膜室模块死角的冲吹设计：避免前驱物或制程气体残留在几何死角（dead-flow）后产生污染微粒。
4. 基板加热模块
4.1基板加热尺寸: 适用于8”的基板载台。
4.2 基板加热功能: 依靠控制基板表面的温度，达到调整前驱物质于基板表面的反应性的目的。
▲4.3基板加热温度：热阻式基板加热器最高温度可达 * oC，升温速率≧ * oC /min，过温需小于 * oC。
4.4基板加热控制: 提供基板稳定均匀预热的需求，附热电偶监控温度，利用具有PID的可程控温控器，可设定多段温度升温，及可数字式温度显示，其控温精准度为±5oC。
5. 真空阀件及真空计。
5.1 快速切换阀： * 组，排气系统控制, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置。
5.2低真空计： * 组，确认真空值及压力状况，线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
6. 气盘配置系统：
6.1 配盘模块: 半密闭箱体，由管径1.5吋以上强 (略) 抽气，内含管路模块及加热组件等。气体设定点和流量在控制屏幕上显示。
6.2 气体管路尺寸及材质: * 般气体管路为1/4吋Swagelok进气
管路；特殊气体为1/4吋VCR进气管线管路含截止阀。全管路为1/4吋的SUS * L材质。
6.3气体MFC:共5组，使用气体源: Ar (carrier gas)、Ar、N2、O2、NH3， Mass Flow Controller, Ar( * sccm)、Ar( * sccm)、N2( * sccm)、O2( * sccm), NH3( * sccm)。配置根据实际使用量更换小量程MFC。
6.3 管路purge功能：purge气体使用Ar气体。
6.4 Precursor管路及快速阀：管路装设 * 组进气口，precursor快速阀两组。
▲6.5 前驱体管路加热: 管路自带加热与保温，2个 * ℃加热源，加热器将由可程控数字式温度显示温控器（PID）执行调变温度。
7. 排气系统
7.1 抽气pump:抽气速率需高于 * m3/h，腔体至pump端真空管路包覆加热带（ * ℃加热源），加热器将由可程控数字式温度显示温控器（PID）执行调变温度。
▲7.2 冷凝阱（Cold Trap）:1组，材质:SS * ，进出口法兰为CF * 以上，需有冷却水路，确保水冷温度( * - * ℃)。
8. 电控系统
8.1 PLC可程序逻辑控制模块，并搭配 * 寸以上彩色触控式人机屏幕，可设定参数、权限设定、密码保护等功能。
8.2气体流量与压力监控系统。
8.3手动及全自动操作模式设定，具全自动排气及制程等作业程序。
8.4系统控制权限设定，分别以不同身份来操作系统。
8.5所有阀门、帮浦互锁安全保护可设定参数、密码、保护功能。
8.6可直接在接口上设定流量及读取目前流量值。
8.7各项异常状态侦测与警报功能。
8.8紧急停机保护装置。
8.9具多种参数设定功能，参数记 (略) log功能。
▲8. * 搭配远端遥控监控系统，可即时监控设备状况。
8. * UPS不断电系统：具供应计算机的电源发生不正常中断或是电流不稳定时，便担负起暂时紧急供应电源的功能，使计算机不会因停电而被迫流失数据，或者造成系统的毁损。
9. 验收条件
9. (略) 零组件与系统必须正常链接与运作。
9.2各装置、外观、尺寸确认。
9.3冷却循环水路测漏。
9.4氦气测漏 (略) 测漏，泄漏率< * -9 mbar？l /sec。
9.5基板加热功能：U(%)9.6薄膜测试: U(%)优于±5.0% @Al2O3, 分别 * nm 和 * nm,
U(%)=(Max-min)/2*Avg.
设备 * 、集束型DLC薄膜制程设机
1.中心真空传输模块
1.1中心主传输 * 角腔体由铝材质制成，共具 * 个传输开口，传输口大小为标准 * × * mm矩形开口，可提供8寸样品传输使用，并 * 个径向路经上配备光学侦测开口。腔体上下开口为维修口，提供真空机械手臂安装维修使用。本模块具粗抽气开口，粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为大小DN * ISO-KF以上。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销。
1.2腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气压 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
1.3大气辅助压力计*1：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
1.4 无油真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
1.5粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF
1.6破空阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组。
1.7真空机械传输手臂具完整搭配本传输腔体几何设计与维修孔大小，电控逻辑上提供安全互锁保护。
2.进出样过渡腔室模块
2.1 过渡腔室腔体由 * 不锈钢制成，共具两个样品进出开口，其 * 为手动式上掀开门；其 * 为 * × * mm标准方形传输开口，透过标准矩 (略) 真空传输模块，前述开口均可提供8吋样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为DN * ISO大小以上，置于上掀式门板。上掀式门板为手动开启，带氮气缸支撑。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销。
▲2.2 基板冷却方式:冷却板接触降温，冷区与热区分离不互相干扰。
▲2.3 Pre-Heat加热性能 : IR灯管加热, max. * ？C，热均匀性 2.4 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
2.5 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
2.6无油真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
2.7 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2秒, 密封组件, 内部开口尺寸 * × * mm
2.8 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
2.9 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组。
3.预清洁腔体
3.1 预清洁腔体由不锈钢 * 材质制成，共具两个样品进出开口，其 * 为手动式上掀开门；其 * 为 * × * mm标准方形传输开口，透过标准矩 (略) 真空传输模块，前述开口均可提供8吋样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。上掀式门板为手动开启，带氮气缸支撑。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销。
3.2腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.3 腔体用高真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围7.5E?3 to 7.5E?9 Torr（1.0 to 1.0E?6 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.4 制程用真空压力计, 线性信号输出, 准确性0.2%, 分辨率0. * % FS, 反应时间< * ms, * to 5.0E-3 Torr（ * to 6.6E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.5 高真空泵浦前级用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围atmosphere to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF
3.6 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
3.7 无油涡轮分子泵浦：法兰(in) DN * ISO-K, 法兰(out) DN * ISO-KF,N2抽气速度: * L/sec
3.8 无油真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
3.9 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2 secs, 密封组件为氟橡胶O形圈, 内部开口尺寸 * × * mm
3. * 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
3. * 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件Viton O-ring, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组。
3. * 高真空计保护阀门：单气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
3. * 制程真空计保护阀门：单气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
3. * 破大气阀门组：单气动直角阀主体, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组
3. * 控压蝶阀含控制器: DN ISO *
▲3. * 等离子产生器：输入额定电压：AC * 至 * V，输入电压波动范围：AC * ？ * V，相，频率：单相 * / * Hz,输入电容：1.8 kVA或更低,输入电流: * A 或更低,漏电流:5mA或更低，频率: * . * MHz,额定功率: * W（ * Ω load）,最大反射功率: * W,输出阻抗: * Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率 * to * ％,冷却系统：使用气体冷却。
▲3. * RF电源匹配器:输入频率: * . * MHz,额定功率: * ～ * W,输入接头: N type,容许输出电压: 2.5kVpp 或更低/ 2.5kVdc 或更低, 容许输出电流: * A或更低, (略) ： 0.5Ω ≦ R ≦ * .0Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却。
3. * 分气盘为半密闭箱体，由管径1.5吋以上强 (略) 抽气，内含制程气体用的质流控制器
3. * 质流控制器:Ar: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
4. DLC沉积腔体模块
4.1 等离子体增强化学气象沉积系统腔体 (略) 理铝合金材质制成，尺寸约 * mmL× * mmW× * mmH，外方内圆设计，共具 * 个样品进出开口，其 * 为手动式上掀开门；其 * 为 * × * mm标准方形传输开口，透过标准矩 (略) 真空传输模块，前述开口均可提供8寸样品传输使用。
4.2 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式
4.3 腔体用高真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围7.5E?3 to 7.5E?9 Torr（1.0 to 1.0E?6 Pa）, 法兰型式
4.4制程用真空压力计, 线性信号输出, 准确性0.2%, 分辨率0. * % FS, 反应时间< * ms, * to 5.0E-3 Torr（ * to 6.6E?1 Pa）, 法兰型式
4.5 高真空泵浦前级用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气 to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式
4.6 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)
4.7 无油涡轮分子泵浦：法兰(in) ISO * B, 法兰(out) DN * ISO-KF, N2抽气速度: * L/sec，附加热功能
4.8真空干式泵浦：极限真空≦7.5E-3 Torr (0. * mbar)，抽气速率≧ * m3/h，噪音等级 ≦ * dB(A)
4.9细抽阀门：气动闸阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 阀门本体最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-F
4. * 涡轮分子泵浦前级阀门：气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF
4. * 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2 secs, 密封组件, 内部开口尺寸 * × * mm
4. * 粗抽阀门：气动阀门, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO
4. * 高真空计保护阀门：气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF
4. * 制程真空计保护阀门：气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF
4. * 破大气阀门组：气动直角阀主体, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF，搭配手动球阀以及气动NC阀、节流调整阀组成破气阀门组
4. * 控压蝶阀：DN ISO *
4. * 上电极模块包含下列功能：
(1)电极加热：透 (略) 温度控制，供0- * ？C温度使用
(2)制程气体的分散与喷出：经模拟设计的分散板，可取得最佳的气体分散均匀性
(3)等离子产生或接地：透过 * . * MHz RF电源及其匹配器回路控制
4. * 下电极模块包含下列功能：
(1) 等离子产生或接地：透过 * . * MHz RF电源及其匹配器回路控制
(2) 加装特殊回路来调整同样频率，避免制程同时放电 (略) 产生的波动会相互影响。
4. * 等离子体产生电源为标准射频电源产生器（ * . * MHz），搭配匹配回路以及特殊回路,进行上下电极导入及调整频率，匹配回路与特殊回路置于 (略) ，电源供应器本体置于总电控箱体内。射频电源频率为 * . * MHz，功率为 * W，强制气体冷却
▲4. * 等离子产生器*2：：输入额定电压：AC * 至 * V，输入电压波动范围：AC * ？ * V，相，频率：单相 * / * Hz,输入电容：1.8 kVA或更低,输入电流: * A 或更低,漏电流:5mA或更低，频率: * . * MHz,额定功率: * W（ * Ω load）,最大反射功率: * W,输出阻抗: * Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率 * to * ％,冷却系统：使用气体冷却
▲4. * RF电源匹配器*2:输入频率: * . * MHz,额定功率: * ～ * W,输入接头: N type,容许输出电压: 2.5kVpp 或更低/ 2.5kVdc 或更低, 容许输出电流: * A或更低, (略) ： 0.5Ω ≦ R ≦ * .0Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却。
▲4. * 上、下电极RF可同步开启，需特殊设计无相互干扰问题，提出具体解决方案。
4. * 分气盘为半密闭箱体，由管径1.5寸以上强 (略) 抽气，内含制程气体用的质流控制器，共具 * 组配置，默认气体为：(1) O2, (2) Ar, (3) CF4, (4) C2H2, (5) H2, (6) SiH4, (7) N2，(8)HMDSO或TMS，质流控制器前后连结常闭式气 (略) 保护，进入制程腔体前，连结进气总阀（常闭式气动薄膜阀）进行保护。全管路为VCR接头形式，管材规范为1/4” O.D. SUS * L (EP)。分气盘整合于主系统下方。分气盘预留 * 组备用管路，以塞头密封备用。
4. * 质流流量MFC控制器，具体量程也可根据客户每种气体具体使用量，小于等于现在约定量程（既优于现在量产设计）：
(1) O2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(2) Ar: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(3) CF4: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(4) C2H2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度，暖机需 * 分钟。
(5) H2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度暖机，需 * 分钟。
(6) SiH4: * SCCM,精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度暖机，需 * 分钟。
(7) N2: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度暖机，需 * 分钟。
(8) HMDSO: * SCCM,精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He, 达最佳精度暖机，需 * 分钟。
4. * 管路气动阀： 氦检泄漏率＜3.0E? * Pa？m3/sec, 最高操作温度为 * ？C (PCTFE), 1/4 inch VCR
▲4. * MO Soure: (安装时，客户端根据需求选配)
(1) 制备填充HMDSO原料专用的独立筒槽*1
(2) 填充HMDSO原料
(3) 恒温 (略) 需的加热使用，其默认控制温度范围为 * - * ？C，透过微电脑PID控制系统与制冷组件，达到温度调节精度为±5%
▲4. * 工艺指标：
（1） DLC膜厚均匀性≦± * % for HMDSO source (
点击查看>> ?) [(Max-Min)/(2×avg.)]；
（2） * nm和 * nm分别 DLC Ra≦0.8 nm @ 抛光衬底硅片
▲4. * 提供公司现况HMDSO应用于DLC 薄膜相关制程与成果报告。
5.计算机控制模块
5.1 主控制器规格总览：
(1) 工业控制级计算机搭配PLC系统
(2) 处理器：≥2.5GHz（Intel Core 2 Duo）
(3) 监视器：液晶显示器（≥ * inch）
(4) 输入设备：键盘、鼠标、远程监控平板计算机
(5) 电气控制系统：控制系统须保证在电力供应中断时，不会造成严重系统事故或操作人员受伤
(6) 静电消除装置：设备必须包含静电消除装置，静电消散时间：≤3sec（从± * V 到± * V），平衡电压≤± * V
(7) 备品管控：提供设备免费保修期内必需的备品备件和易损件；
(8) 显示界面：各压力、状态、基板&参数显示；
(9) 中心传输模块的机械手传送基板有自动和半自动功能，可以把基板传送到任何 * 个链接的模块或系统内；
( * ) 可逆物流传送；
( * ) 可捞取l (略) 分析；
( * ) 各系统及模块需有手动/自动定期保压测试功能；
( * ) 工具管控：提供 * 套完整的维修和操作的专用工具；
( * ) 系统设有各阶层的授权许可，可密码锁定，以防参数被任意修改；
( * ) 经由定时器使用，耗材使用时间可同步被记录；系统会依据设定值警示提醒须更换耗材，其他定期维护的项目也可 (略) 。
5.2 安全功总览：
(1) 互锁功能：设备开腔时要有互锁功能；
(2) 紧急停止开关：按钮及排 (略) 商标准
(3) 暂停开关：当按下暂停开关后， 机械动作停止，并且报警
(4) 安全对策：
(5) (略) 时，为防止操作员的错误操作而装有inter-lock
(6) 空气压力、真空等发生异常时发出警告
(7) 设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构，异常检出时，蜂鸣器响起，同时在显示器上表示出异常内容
(8) 警告标签：在所有危险位置标记；使用中文或英语；（包括腐蚀性警告标签，有毒警告标签，烫伤警告标签，机械性损伤警告标签等）
(9) 特气及前驱物之管路须能 (略) 饱压/负压安全测试
( * ) EMO(EMS)：每个单元须有 * 个或以上的 EMO（EMS）按钮， 当任何 * 个按钮被按下，相关设备电源须关闭且由断路器关闭
▲5.3配备UPS，使计算机不会因停电而被迫流失数据，或者造成系统的毁损。
▲5.4搭配高阶远端遥控监控系统，可即时监控设备状况。
设备 * 、感应耦合电浆增强溅镀沉积机
1.样品大气取放过渡腔室模块
▲1.1 过渡腔室腔体由 * 不锈钢制成，腔体前开式门板，并搭配 * 片式卡夹储存盒与真空传送设计。此模组具两个样品进出开口，其 * 为前开式门板；其 * 为矩形传输开口，透过标准矩形方阀链接反应腔模块，前述开口均可提供6寸及以下样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为DN * ISO大小以上，置于前开式门板。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销；
▲1.2过渡腔室模块包含下列功能：
(1)晶片取放片方式:以5片卡夹式储存盒，单片传送功能；
(2)Pre-Heat加热性能:最高可达 * ？C；
(3)需具Pre-clean性能设计；
(4)传输系统:传输杆搭配马达控制；
▲1.3等离子产生器：电压单相AC * V, 电流<7A, 频率 * ~ * Hz, 输出功率: * W, 频率: * kHz，通讯介面:PLC port/ * pin(类比控制)，冷却方式:风冷或水冷；
1.4真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气到 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
1.5大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * 至 +1. * MPa (? * 至 + * Torr)；
▲1.6无油真空泵浦: * 相广领域电压, 吸气口尺寸:VG * , 排气口尺寸:VG * , 抽气速率≧ * m3/h ( * Hz)；
1.7 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2秒, 密封组件, 内部开口尺寸≧ * × * mm；
1.8 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C,含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次以上, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF；
1.9破空阀组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件；
1. * 激光光电传感器:小光点回归反射型数字激光光电传感器, 可见红色半导体激光（波长: * nm）, 最远侦测距离 * m
1. * 质流控制器:Ar: * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度。
2.感应耦合电浆增强溅镀腔室模块
▲2.1 反应腔体由 * 不锈钢制成，腔体前开式门板，并整合真空传送设计。此模组具两个样品进出开口，其 * 为前开式门板；其 * 为矩形传输开口，透过标准矩形方阀链接过渡腔室模块，前述开口均可提供6寸样品传输使用。本模块具粗抽气开口，分别粗抽为DN * ISO-KF。观测窗口为DN * ISO大小以上，于前开式门板，须加装视窗遮罩。机体骨架为钢构烤漆，配备有耐重轮、定位顶销等；
▲2.2基板载台包含下列功能：
(1)基板载台为单片位置，具有顶针升降模组；
(2)自转功能；
(3)加热功能，最高温度可达 * ？C；
(4)偏压电源：透过RF或MF电源供应器回路控制；
(5)由于ICP电源与基板偏压需同步使用，对于相互干扰问题，厂商提出具体解决方案；
▲2.3溅镀靶:6寸圆靶溅镀枪1组(等离子体密度需达≧8- * W/cm2)，附遮罩；可以兼容4寸靶材；
▲2.4溅镀靶电源:直流脉冲电源供应器,输入端:电压AC * V(单相+接地线), 电流: * A, 频率: * - * Hz, 过电流保护:Breaker；输出端:额定功率:5Kw；通讯介面:PLC( * PIN)/类比控制、监控；
▲2.5反应腔室需设计感应耦合等离子体模块；
2.6等离子产生器(ICP适用)：输入额定电压：AC * 至 * V，输入电压波动范围：AC * ？ * V，相，频率：单相 * / * Hz,输入电容：1.8 kVA或更低,输入电流: * A 或更低,漏电流:5mA或更低，频率: * . * MHz,额定功率: * W（ * Ω load）,最大反射功率: * W,输出阻抗: * Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率 * to * ％,冷却系统：使用气体冷却；
2.7 RF电源匹配器(ICP适用):输入频率: * . * MHz,额定功率: * ～ * W,输入接头: N type,容许输出电压: 2.5kVpp 或更低/ 2.5kVdc 或更低, 容许输出电流: * A或更低, (略) ： 0.5Ω ≦ R ≦ * .0Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却；
2.8 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气至 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF； 1.4 腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气to 7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF。
2.9 高真空泵浦前级用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气至7.5E?4 Torr（1.0E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
2. * 腔体用高真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围7.5E?3至7.5E?9 Torr（1.0至1.0E?6 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
2. * 制程用真空压力计, 线性信号输出, 准确性0.2%, 分辨率0. * % FS, 反应时间< * ms, * 至5.0E-3 Torr（ * E?1 Pa）, 法兰型式DN * ISO-KF；
2. * 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * 至+1. * MPa (? * 至 * Torr)； 1.5 大气辅助压力计：相对压力值量测范围?0. * to +1. * MPa (? * to + * Torr)。
▲2. * 无油低真空泵浦: * 相广领域电压, 吸气口尺寸:VG * , 排气口尺寸:VG * , 抽气速率≧ * m3/h ( * Hz)； ▲1.6真空泵浦: * 相广领域电压, 吸气口尺寸:VG * , 排气口尺寸:VG * , 抽气速率≧ * m3/h (( * Hz))
2. * 无油涡轮分子泵浦:抽气速度: * L/sec (N2)；
2. * 自动控制压力阀:材质： * S.S.；密封材料：Viton；安装位置：任意；位置控制：多位置设定（0？ * ？）；压力范围： * -8 mbar至1.2 bar；泄漏率（阀体，阀座）：1× * -9mbar.l / sec；开/关时间：0. * s； 最高温度:BODY * ？C/环境 * ？C；传感器输入：分辨率：2.3mV /采样率：1ms；控制精度：最大传感器量程的0.2％；位置分辨率： * （旋转角度0- * ？）； 1.7 传输阀材质A * -T6, 泄漏率＜1.0E?9 mbar？l/sec, 含位开/关感知指示装置, 最低操作压力1.0E?8 mbar, 开启/关闭时间 2/2秒, 密封组件, 内部开口尺寸≧ * × * mm
1.8 粗抽阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF
2. * 粗抽阀门材质 * 不锈钢,泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C,含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF；
2. * 细抽阀门材质 * 不锈钢,泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 阀门本体最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-F； 1.9 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF。
2. * 前级抽气阀门材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰≧DN * ISO-KF；
2. * 真空计保护阀门：单气动直角阀, 材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件为氟橡胶O形圈, 开口法兰DN * ISO-KF；
2. * 破大气阀门组材质 * 不锈钢, 泄漏率＜2.0E?9 mbar？l/sec, 最高操作温度为 * ？C, 含位开/关感知指示装置, 最大使用压差1.2 bar, 保修寿命 * , * 次, 密封组件, 开口法兰DN * ISO-KF；
▲2. * 溅镀靶要求配置独立冷却系统；
2. * 质流控制器:工艺气体用之质流控制器，共具 * 组配置，默认气体为Ar、O2及N2，最大流量为 * SCCM, 精度(包括线性) ±1.0% FS, 重复性< ±0.2% Rd, 控制稳定性≤±0.1% FS,泄漏率 < 2.0E?9 mbar？l/sec He,达最佳精度。
3.计算机控制模块
3.1 主控制器规格总览：
(1) PLC控制系统；
(2)监视器：液晶显示器（≥ * inch）；
(3)输入设备：键盘、鼠标、远程监控平板计算机
(4)电气控制系统：控制系统须保证在电力供应中断时，不会造成严重系统事故或操作人员受伤；
(5)备品管控：提供设备免费保修期内必需的备品备件和易损件；
(6)显示界面：各压力、状态、基板&参数显示；
(7)过渡腔式模组的机械杆传送基板有自动和半自动功能，可以把基板传送到任何 * 个链接之反应腔室内；
(8)可逆物流传送；
(9)可捞取l (略) 分析；
( * )各系统及模块需有手动/自动定期保压测试功能；
( * )工具管控：提供 * 套完整的维修和操作的专用工具；
( * )系统设有各阶层之授权许可，可密码锁定，以防参数被任意修改；
( * )经由定时器之使用，耗材使用时间可同步被记錄；系统会依据设定值警示提醒须更换耗材，其他定期维护之项目亦可 (略) ；
3.2 安全功总览：
(1)互锁功能：设备开腔时要有互锁功能；
(2)紧急停止开关：按钮及排 (略) 商标准；
(3)暂停开关：当按下暂停开关后， 机械动作停止，并且报警；
(4) (略) 时，为防止操作员的错误操作而装有inter-lock；
(5)空气压力、真空等发生异常时发出警告；
(6)设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构，异常检出时，蜂鸣器响起，同时在显示器上表示出异常内容；
(7)警告标签：在所有危险位置标记；使用中文或英语；（包括腐蚀性警告标签，有毒警告标签，烫伤警告标签，机械性损伤警告标签等）；
(8)EMO(EMS)：每个单元须有 * 个或以上的 EMO（EMS）按钮， 当任何 * 个按钮被按下，相关设备电源须关闭且由断路器关闭；
▲3.3配备UPS，使计算机不会因停电而被迫流失数据，或者造成系统的毁损；
▲3.4端遥控监控系统，可即时监控设备状况；??
商务需求
?
?说明：
1. “（ * ）免费保修期内售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。
2. “（ * ）免费保修期外售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。
3. “（ * ）其他商务要求”部分，如有补充，请详细列明。
4. 可在重点条款前标“▲”。（重点条款偏离扣分较重，但不废标） |
序号 |
目录 |
商务需求 |
（ * ）免费保修期内售后服务要求 |
1 |
维修及维护服务 |
1.1▲各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限, 并承诺提供整机免费保修期?1年，终身维修。保修期内,年度定期预防性维护保养次数应不少于?1?次。保修期内免费更换零配件、免工时费。设备在保修 (略) 进行维修， (略) 维修报告。使用性耗材不在保修范围。 |
1.2▲由设备制造商提供售后服务，?8小时内响应， * ??小时维修人员到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案。 (略) 省内有相应的维修机构，并出具证明文件。 |
1.3投标人负责货物的终身维修，保证 * ?年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修 (略) 理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。 |
1.4免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。 |
1.5提 (略) 签订的售后服务协议书。 |
1.6 确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于 (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有 (略) (略) 了解测试，并提供自己的解决方案。若 (略) 房厂务等因素无法让设备正常接入，超过半年以上没有开始验收，保修期会以设备到货时间开始计算。 |
2 |
质量保证 |
2.1保修期内因质量问题停机不超过2次,因故障总停机时间不超过1个月。否则延长质保期或更换新机。 |
2.2保修期到期前 * 个月内投标人需 (略) 状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供 (略) 技术支持服务和联系方式。 |
（ * ）免费保修期外售后服务要求 |
1 |
维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价 |
1.1▲由设备制造商提供售后服务，?8?小时内响应， * 小时维修人员到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。 |
1.2保修期满后，投标人应以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前5项零配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中。 |
1.3采购人可与投标人 (略) 谈判，但优惠价不得高于投标人在投标文件的《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中承诺的维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价。 |
1.4设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。 |
1.5免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。 |
（ * ）其他商务要求 |
1 |
交货要求 |
1.1签订合同后，自收到采购人通知后? * 工作日?个日历日内交货 |
1.2投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物 * 并交付至采购人指定地点。 |
1.3提供的货物必须为、经检验合格的产品。产品如需要计量检定的应提供相 (略) 门出具的合法检定报告。 |
1.4投标产品必 (略) 生产产品。 |
1.5如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料； (略) 、贴牌及非正当进货渠道产品。 |
2 |
运输、安装和验收 |
2.1投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点( (略) 市坪山区国富文 (略) 区厂房 * 层),并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用?2周?后，无故障方签署验收报告，保修期自 验收培训完成?起开始计算。 |
2.2采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合同规格的要求，并且不承担额外的费用。 (略) 交货物与 (略) 承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在
? * ?天内采取补足、更换或退货等措施,以满足规格的要求，由此发生的 * 切损失和费用由投标人承担。 |
2.3投标人负 (略) 安装和调试,提供货物安装、 (略) 需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后?1周?时间内开始安装调试,并在?2周?天内安装调试完毕。 |
2.4由投标人代表和采购人组成验收小 (略) 验收。验收标准按照国家 (略) 。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。出机前设备必须的环境比如水、气、电、排气系统都要符合法规，若无符合设备使用的环境及法规，拖到验收时程，设备 (略) (略) 验收。 |
3 |
培训 |
3.1▲中标人应派专业技术人员免费对采购单位 (略) 定期培训及指导，直至其完全掌握设备的使用 (略) 理技术。 |
3. (略) 培训：中标 (略) 技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。 |
3.3集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。 |
3.4计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。 |
3.5网络教育：专业 (略) 网站，提供与世界各地用 (略) 网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。 |
4 |
知识产权 |
4.1投标人应保证采购人在使用该货物 (略) 分时，免受第 * 方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。 (略) 提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。 |
4.2采购人购买产品后，有权对该产品与 (略) 配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。 |
4.3知识产权归属： (略) 的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。 |
5 |
付款方式 |
5.1合同签署后7个工作日内，采购人支付 * %预付款。 (略) 验收后支付 * %出货款，收到货款后出机，货到验收合格后，中标人凭验收报告，采购人7个工作日内支付 * %货款。 |
6 |
违约责任 |
6.1货物抵达目的港 * 天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不 * 致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中 (略) 出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。 |
6.2如果投标人没有按照约定日期交货，除不可抗力之外，如果投标人愿意支付罚金，则采购人应同意延期出运。罚金不超过迟延出运货物总价的5%。罚金比率为每 * 天1%，不足 * 天以 * 天计。如果投标人比规定的装运时间迟延 * 周，采购人有权解除合同。即使解除合同，投标人也应向采购人支付罚金。若采购人无法满足设备使用环境，投标人可延后出机，待采购人完成使用环境与投标人确认环境后才出机。 |
7 |
其他 |
7.1投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。 |
7. (略) 技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。 |
7.3消耗品/零配件供应及时（ (略) 耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。 |
|
??
技术规格偏离表
?
序号 | 货物名称 | 招标技术要求 | 投标技术响应 | 偏离情况 | 说明 |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
? | ? | ? | ? | ? | ? |
??
商务规格偏离表
?
序号 | 目录 | 招标商务条款 | 投标商务条款 | 偏离情况 | 说明 |
（ * ）免费保修期内售后服务条款偏离表 |
1 | ? | ? | ? | ? | ? |
2 | ? | ? | ? | ? | ? |
…… | ? | ? | ? | ? | ? |
（ * ）免费保修期外售后服务条款偏离表 |
1 | ? | ? | ? | ? | ? |
2 | ? | ? | ? | ? | ? |
…… | ? | ? | ? | ? | ? |
（ * ）其他商务条款偏离表 |
1 | ? | ? | ? | ? | ? |
2 | ? | ? | ? | ? | ? |
…… | ? | ? | ? | ? | ? |
??
评标信息
?
?
评标方法： 综合评分法
评标方法说明：
价格分=[1-（投标报价-最低价）/最低价]×价格权重× *
? 当价格分<0时，取0。
?
序号 |
评分项 |
权重 |
1 |
价格 |
* |
2 |
(略) 分 |
* |
? |
序号 |
评分因素 |
权重 |
评分方式 |
评分准则 |
1 |
技术保障措施 |
3 |
专家打分 |
在投标文件中详细说明保障措施（ (略) 、技术方案、技术人员、场地、车辆等）， (略) 根据 (略) 横向比较，按优 * 分，良 * 分，中 * 分，差0分打分。 |
5 |
技术规格偏离情况 |
* |
专家打分 |
1.?投标人应如实填写《技术规格偏离表》， (略) 根据技术需求参数 (略) 打分，各项技术参数指 (略) 满足的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣5分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。 |
3 |
商务需求 |
9 |
? |
序号 |
评分因素 |
权重 |
评分方式 |
评分准则 |
1 |
免费保修期内售后服务条款偏离情况 |
5 |
专家评分 |
投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。 |
2 |
免费保修期外售后服务条款偏离情况
（可选） |
2 |
专家评分 |
投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣 * 分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。 |
3 |
其他商务条款偏离情况 |
2 |
专家评分 |
投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣 * 分，其余每负偏离 * 项扣4分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与 * 般参数设定不同的扣分档次）。 |
4 |
(略) 分 |
6 |
? |
序号 |
评分因素 |
权重 |
评分方式 |
评分准则 |
1 |
投标人近 * 年同类业绩（ (略) 发布之日） |
3 |
专家评分 |
提供3个同类业绩即得满分，提供2个得 * 分，提供1个得 * 分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每 * 个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。 |
2 |
履约评价 |
3 |
专家评分 |
根据 (略) 市政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得 * 分，有差评的得0分。 |
|
??
其它
??
附件
白光干涉仪等4套设备需求文档.doc?
发送至邮箱
