品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

该设备是工艺气体高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）的分配设备，是镀膜设备正常使用的必备条件。
设备主要技术参数要求如下：
手动阀件分配盘（VMP）：
盘面材质为镜面SUS * ，厚度2.0mm；
* 进 * 出型式，带扩展口、预留口，3/8"进1/4"出盘面；
设备需 (略) 业SEMI-S2认证且投标企业具有ISO * 认证；
设备系统图（PID）按照附件图纸配置，管路管道、阀件材质为SUS * L EP级，阀件、管道连接必须采用全自动焊机焊接方式与VCR连接方式；
设备要求带正压交货，提供5项测试报告；
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备保修期：设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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技术规格及参数

该设备能实时监测工艺气体泄漏状态，保证气体安全供应。
检测原理：电化学式，量程：根据被测气体而定，警报选点：根据被测气体而定；
功能：白色背景光/警报显示/零抑制/零跟随/灵敏度校正/ 流量控制/校准记录/警报趋势记录/事件记录；
结构：壁挂式，外观颜色：气体检测器: 灰色/前门: 白色；
电源供应： * VDC ± * %，电源消耗：最大4W，输出：4～ * MA DC模拟量信号(非隔离/负载电阻 * Ω之下),传输系统：3-线型模拟传输(共用电源)或2-线型模拟传输；
警报类型：两级警报（H-HH），警报精确度：± * %之内，警报显示时间： * 秒或更少，初始清零：最多 * 秒；
浓度显示：采用数字型LCD（数字和条状显示）；
显示：气体名称显示、流量显示、模式显示、通讯状态显示、热分解器连接显示；
气体报警显示： * 级警报: ALM1 灯点亮(红色)/ * 级警报: ALM2灯点亮(红色)；
故障报警显示：故障灯点亮(黄色)/故障内容显示；
气体警报、故障警报激活：非锁定（自动复归）；
气体警报、故障警报接点：无源接点；
故障报警/自诊断：系统异常/传感器异常/流量异常/通讯异常/热分解器异常；
接点容量： * VAC-0. * A/ * VDC-0.5A(电阻性负载)；
检测系统：泵吸式气体采样；
具体侦测气体数量：H2*1台、NH3*1台；
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压+氦检2项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
DN * UPVC管及管件
工艺 (略) 分:
1/2"管道，材质为SUS * ，G-1/2"外螺纹接口；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5*6电缆；
冷水机采用ZB-YJV-3*2.5电缆；
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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无推荐型号

技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压+氦检2项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
DN * UPVC管及管件
工艺 (略) 分:
1/2"管道，材质为SUS * ，G-1/2"外螺纹接口；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5*4电缆
水机采用ZB-YJV-3*2.5电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。

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技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压+氦检2项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
DN * UPVC管及管件
工艺 (略) 分:
1"管道，材质为SUS * ，G-1"外螺纹接口；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5* * 电缆
冷水机采用ZB-YJV-5*2.5电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）氨气（NH3）、氢气（H2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压、氦检、颗粒度、水份、氧份5项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
1"，材质为SUS * L BA管道及管件
工艺 (略) 分:
DN * 、3/8"，材质为SUS * 管道及管件
，G-1/2"外螺纹接口；
配备流量计、压力表；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5* * 电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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型号

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技术规格及参数

系统图见附件图纸 带指示灯、电压表、电流表
采用ZB-YJV-5* * 电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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技术规格及参数

该设备是工艺气体高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）的分配设备，是镀膜设备正常使用的必备条件。
设备主要技术参数要求如下：
手动阀件分配盘（VMP）：
盘面材质为镜面SUS * ，厚度2.0mm；
* 进 * 出型式，带扩展口、预留口，3/8"进1/4"出盘面；
设备需 (略) 业SEMI-S2认证且投标企业具有ISO * 认证；
设备系统图（PID）按照附件图纸配置，管路管道、阀件材质为SUS * L EP级，阀件、管道连接必须采用全自动焊机焊接方式与VCR连接方式；
设备要求带正压交货，提供5项测试报告；
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备保修期：设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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技术规格及参数

该设备能实时监测工艺气体泄漏状态，保证气体安全供应。
检测原理：电化学式，量程：根据被测气体而定，警报选点：根据被测气体而定；
功能：白色背景光/警报显示/零抑制/零跟随/灵敏度校正/ 流量控制/校准记录/警报趋势记录/事件记录；
结构：壁挂式，外观颜色：气体检测器: 灰色/前门: 白色；
电源供应： * VDC ± * %，电源消耗：最大4W，输出：4～ * MA DC模拟量信号(非隔离/负载电阻 * Ω之下),传输系统：3-线型模拟传输(共用电源)或2-线型模拟传输；
警报类型：两级警报（H-HH），警报精确度：± * %之内，警报显示时间： * 秒或更少，初始清零：最多 * 秒；
浓度显示：采用数字型LCD（数字和条状显示）；
显示：气体名称显示、流量显示、模式显示、通讯状态显示、热分解器连接显示；
气体报警显示： * 级警报: ALM1 灯点亮(红色)/ * 级警报: ALM2灯点亮(红色)；
故障报警显示：故障灯点亮(黄色)/故障内容显示；
气体警报、故障警报激活：非锁定（自动复归）；
气体警报、故障警报接点：无源接点；
故障报警/自诊断：系统异常/传感器异常/流量异常/通讯异常/热分解器异常；
接点容量： * VAC-0. * A/ * VDC-0.5A(电阻性负载)；
检测系统：泵吸式气体采样；
具体侦测气体数量：H2*1台、NH3*1台；
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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无推荐型号

技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压+氦检2项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
DN * UPVC管及管件
工艺 (略) 分:
1/2"管道，材质为SUS * ，G-1/2"外螺纹接口；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5*6电缆；
冷水机采用ZB-YJV-3*2.5电缆；
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压+氦检2项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
DN * UPVC管及管件
工艺 (略) 分:
1/2"管道，材质为SUS * ，G-1/2"外螺纹接口；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5*4电缆
水机采用ZB-YJV-3*2.5电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压+氦检2项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
DN * UPVC管及管件
工艺 (略) 分:
1"管道，材质为SUS * ，G-1"外螺纹接口；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5* * 电缆
冷水机采用ZB-YJV-5*2.5电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

该部分 * 次配包括特气管道、压缩空气管道、排风管道、工艺冷却水管道及配电。
(略) 分:
气体管道包括高纯氮气（PN2）、氩气（Ar）、氧气（O2）氨气（NH3）、氢气（H2）管道；
1/4"管道，材质为SUS * L EP级，管道连接采用全自动焊机焊接方式，不接受其它焊接方式；
管道须做保压、氦检、颗粒度、水份、氧份5项测试。
压 (略) 分:
3/8"管道，材质为SUS * L BA，管道连接采用卡套方式；
3/8"SUS * L BA 手动卡套球阀+，3/8"SUS * L调压阀（带出口压力表）；
管道须做保压测试。
(略) 分:
1"，材质为SUS * L BA管道及管件
工艺 (略) 分:
DN * 、3/8"，材质为SUS * 管道及管件
，G-1/2"外螺纹接口；
配备流量计、压力表；
(略) 配备不锈钢编织软管。
(略) 分:
主设备采用ZB-YJV-5* * 电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。

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技术规格及参数

系统图见附件图纸 带指示灯、电压表、电流表
采用ZB-YJV-5* * 电缆
投标人除需满足以上技术要求外，必须同时满足附件中的文件要求。

售后及质保要求

设备免费保修【1】年；安装调试完毕，提供检测报告后方可验收，保修期自签署验收报告之日起开始计算。保修期内， (略) (略) 件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修；同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 (略) 件，并承诺终身维护。保修期内， (略) 件维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。
在 (略) 地区拥有合法有效维修点，提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，3小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。保修期外， (略) 人提供消耗品/零配件。