品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

* 、MBE超高真空生长腔：
1.腔体极限真空5X * -9mbar；
2.热蒸发分子束外延生长蒸发炉源2路；
3.电子束轰击分子束外延生长蒸发源2路；
4.石英晶振薄膜生长监控仪1套；
* 、磁控溅射薄膜生长腔：
1.极限真空5X * -8mbar；
2.1寸高真空磁控溅射靶2路；
3.Ar气体充气系统 1套；
4.薄膜真空计1套；
5.石英晶振薄膜生长监控仪1套；
* 、UFO真空传递腔体：
1.极限真空5X * -9mbar
2.4路传递接口，最大可以连接4个真空腔体传样。
3. * L/S离子泵 1台
* 、手套箱对接腔体：
1.极限真空5X * -8mbar
2.兼容手套箱接口。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

* 、MBE超高真空生长腔：
1.腔体极限真空5X * -9mbar；
2.热蒸发分子束外延生长蒸发炉源2路；
3.电子束轰击分子束外延生长蒸发源2路；
4.石英晶振薄膜生长监控仪1套；
* 、磁控溅射薄膜生长腔：
1.极限真空5X * -8mbar；
2.1寸高真空磁控溅射靶2路；
3.Ar气体充气系统 1套；
4.薄膜真空计1套；
5.石英晶振薄膜生长监控仪1套；
* 、UFO真空传递腔体：
1.极限真空5X * -9mbar
2.4路传递接口，最大可以连接4个真空腔体传样。
3. * L/S离子泵 1台
* 、手套箱对接腔体：
1.极限真空5X * -8mbar
2.兼容手套箱接口。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。