原子层沉积系统采购
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原子层沉积系统采购
| 采购项目名称 | 原子层沉积系统 | 采购项目编号 | 清设比选 点击查看>> 号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 点击查看>> * : * : * | 公告截止时间 | 点击查看>> * : * : * |
| 采购单位 | (略) | 付款方式 | 货到付款 * % |
| 对外联系人 | 本 (略) | 联系电话 | 本 (略) |
| 签约时间要求 | 成交后 * 个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后 * 个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | (略) (略) * | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | (略) 瑶欧 |
|---|---|
| 型号 | D 点击查看>> |
| 技术参数及配置要求 | ( * ) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件； ( * ) 样品基片尺寸：4英寸； ( * ) 反应器加热温度：室温～ * oC； ( * ) 4路前体源：每路包含高温高速ALD专用阀门（美国世伟洛克）、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门；4个加热套，可对管路 (略) 加热（室温～ * oC）； ( * ) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口； ( * ) 采用8通道阀岛（德国费斯托）集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）； ( * ) 采用8通道高精度PID温控系统（ (略) 宇电）； ( * ) 载气采用数字流量计（ * 星华创）程序控制； ( * ) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路； (十) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵； (十 * ) 臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路；臭氧流量为数字流量计控制，控制精度可达到+/-0.3sccm； (十 * ) 预装Windows笔记本电脑；集成整合界面自动控制软件；程序控制两种工作模式 |
| 质保期 | * 个月 |
(略)
点击查看>> * : * : *
| 采购项目名称 | 原子层沉积系统 | 采购项目编号 | 清设比选 点击查看>> 号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 点击查看>> * : * : * | 公告截止时间 | 点击查看>> * : * : * |
| 采购单位 | (略) | 付款方式 | 货到付款 * % |
| 对外联系人 | 本 (略) | 联系电话 | 本 (略) |
| 签约时间要求 | 成交后 * 个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后 * 个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | (略) (略) * | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | (略) 瑶欧 |
|---|---|
| 型号 | D 点击查看>> |
| 技术参数及配置要求 | ( * ) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件； ( * ) 样品基片尺寸：4英寸； ( * ) 反应器加热温度：室温～ * oC； ( * ) 4路前体源：每路包含高温高速ALD专用阀门（美国世伟洛克）、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门；4个加热套，可对管路 (略) 加热（室温～ * oC）； ( * ) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口； ( * ) 采用8通道阀岛（德国费斯托）集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）； ( * ) 采用8通道高精度PID温控系统（ (略) 宇电）； ( * ) 载气采用数字流量计（ * 星华创）程序控制； ( * ) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路； (十) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵； (十 * ) 臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路；臭氧流量为数字流量计控制，控制精度可达到+/-0.3sccm； (十 * ) 预装Windows笔记本电脑；集成整合界面自动控制软件；程序控制两种工作模式 |
| 质保期 | * 个月 |
(略)
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