单室高真空电阻式镀膜设备

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单室高真空电阻式镀膜设备



基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) 微电子 (略) 单室高真空电阻式镀膜设备采购项目
项目类型货物采购 申购主题单室高真空电阻式镀膜设备采购单位 (略)
项目预算点击查看>>采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人刘老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 省 (略) 市 (略) (略) 校区红楼 * 栋微电子 (略)
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效；4、 (略) 不收取任何费用。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
单室高真空电阻式镀膜设备1套 【 (略) 科诚】 【 (略) 泰科诺】 【 (略) 普迪】详情请进入系统查看
"单室高真空电阻式镀膜设备"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 （ * ）真空室腔体：1套1. 优质 * 不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸D * * * mm，后门采用铰链式方门，前门采用横拉方门，前后门各配有DN * 视窗1套；2. 底部：金属源接口4套，有机源接口2套，分子泵接口1套，CF * 照明接口2套以及膜厚探头接口3套；3. 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，高真空气动挡板阀接口1套；左侧：超高真空气动挡板阀接口1套；4. ★ 真空室腔体气压≤5× * -5 Pa，大气至5× * -4 Pa时间小于 * 分钟，关机 * 小时真空度≤ * Pa，现场检测真空度。 非常重要 是
2 （ * ）金属/有机源系统：1套1. 金属蒸发源4套：水冷铜电极4组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，采用气缸挡板，翻盖开关，1KW直流电源2台（数字显示），电流调整精度1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；配钨舟 * 个、钽舟8个；2. 有机蒸发源2套：采用铠装加热丝，最高加热温度： * ℃，配4CC石英玻璃舟4个，采用气缸挡板，采用直流电源1台，通过导 (略) PID精确温度控制，温控精度±1℃，温控表显示精度0.1℃；3. 隔板：蒸发源采用隔板分隔。 非常重要 否
3 （ * ）样品台系统：1套1. 基片旋转：转速0～ * 转／分连续可调；2. 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距 点击查看>> mm通过触摸屏连续可调；3. 基片挂架： * * * mm样品托盘（定制）1套，如可放置 * * * mm基片 * 片；4. 掩膜板：需要根据需求定做2套掩膜版，每套掩膜版各2份，适用于 * * * mm衬底；其中 * 份要求 * *电极图形（2*8mm）、另 * 份要求 * *电极图形（0.5*8mm）。 非常重要 否
4 （ * ）真空泵机组：1套1. 分子泵1台，抽速≥ * L/S，电极转速≥ * 0rpm，极限压强<5× * -7 Pa；2. 双级泵/机械泵1台，抽速≥ * m3/h，极限真空3× * -3毫巴；3. 气动超高真空插板阀1台；超高真空气动挡板阀1台；高真空气动挡板阀1台；高真空气动挡板阀1台；真空电磁充气阀1台；KF * 泵阀连接软管2套，KF * * 通1套；4. 数显真空计1台（测量范围：1× * ～1× * -5Pa）。 非常重要 否
5 （ * ）膜厚检测系统：1套1. 膜厚仪： * 通道石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜，探头：4通道；频率：4至6 MHz；速率：0. * nm/秒； 2. 膜厚探头：水冷膜厚探头3套。提供配套晶振片1盒( * 个)。 非常重要 否
6 1. ★ 真空泵 * 台：流量≥ * m3/h，极限真空3× * -3毫巴；2. 氧分析仪 * 台：测量范围0- * ppm、精度：0.2ppm；3. 水分析仪 * 台：测量范围0- * ppm、精度：0.2ppm。 非常重要 是
7 1. 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及 * 键真空启停等功能；2. 供电：～ * V两相供电系统（峰值4KW）；3. 供水：小型循环制冷水机，冷却水温度5℃～ * ℃，工作环境温度： * ℃～ * ℃；4. 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门。 重要 否
8 （ * ）箱体1. 两个不锈钢箱体（定制），尺寸分别为 * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高）， * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高），中间法兰连接，材质为SUS * 不锈钢，厚度3mm；2. 两副 * 基橡胶手套。预留有4个KF * 标准接口。配置有双层不锈钢搁物架。钢结构支架，高 * mm，安装有万向脚轮。（ * ）过渡舱1. * 个大过渡仓：SUS * 不锈钢，厚度3mm；尺寸：Φ * X * mm；2. * 个小过渡仓：SUS * 不锈钢，厚度3mm；尺寸：Φ * X * mm。（ * ）气体纯化化系统1. * 个气体纯化柱：（1）选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛；（2）氧气和水的吸附量分别为 * 升和2公斤。2. 气体纯化柱吸附饱和后，用含氢的氮气或氩气再生，恢复其吸附能力；用氢气/氮气混合气作为再生气。H2：5%； N2: * %。3. * 个循环风机：≥ 流量 * m3/h。4. 有机溶剂吸附柱（1）含活性炭颗粒吸附材料，添加有专门吸附氟化氢的吸附剂；（2）吸附饱和后更换新材料；（3）电气动控制的循环主阀，KF * 标准接口。5. 所有气路都由电磁阀控制，净化柱再生完全实现自动控制。6. 循环系统的进出口装有气体过滤器。 非常重要 否
9 1．控制系统由 PLC和大于等于7”的彩色触摸屏组成；2．实现以下控制功能：自动控制箱体压力、手动监测泄漏率、显示操作错误和提示、箱体气氛自动报警等。 重要 否
* 手套箱技术指标：泄露率﹤0. * vol%/h，H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm，现场检测。 重要 否
* 1. 单室高真空电阻式镀膜设备与手套箱系统 * 套；2. 单室高真空电阻式镀膜设备：真 (略) 尺寸D * * * mm（定制）、金属蒸发源4套、有机蒸发源2套、1套样品台系统、1套真空泵机组、1套膜厚检测系统、1套设备机架、烘烤照明电源、总控制电源、小型循环制冷水机和小型无油静音气泵等；3. 手套箱系统含：单面双工手套箱（两个不锈钢箱体，尺寸分别为 * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高）， * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高），中间法兰连接，材质为SUS * 不锈钢，厚度3mm）、过渡舱、气体纯化化系统、控制系统等。 重要 否
* 1. 保修期内产品如有质量问题， * 方工程师为 * 方设备提供免费维修及更换配件；由于 * (略) 导致的设备的损坏，且 * 方免费提供技术服务（不含耗材类）；2. 质保期内的维修 (略) ；3. 质保后维修只核收工本费；4. 售后电话响应时间为 * 小时之内，现场响应时间为3 天。 重要 否




基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) 微电子 (略) 单室高真空电阻式镀膜设备采购项目
项目类型货物采购 申购主题单室高真空电阻式镀膜设备采购单位 (略)
项目预算点击查看>>采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人刘老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 省 (略) 市 (略) (略) 校区红楼 * 栋微电子 (略)
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效；4、 (略) 不收取任何费用。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
单室高真空电阻式镀膜设备1套 【 (略) 科诚】 【 (略) 泰科诺】 【 (略) 普迪】详情请进入系统查看
"单室高真空电阻式镀膜设备"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 （ * ）真空室腔体：1套1. 优质 * 不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸D * * * mm，后门采用铰链式方门，前门采用横拉方门，前后门各配有DN * 视窗1套；2. 底部：金属源接口4套，有机源接口2套，分子泵接口1套，CF * 照明接口2套以及膜厚探头接口3套；3. 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，高真空气动挡板阀接口1套；左侧：超高真空气动挡板阀接口1套；4. ★ 真空室腔体气压≤5× * -5 Pa，大气至5× * -4 Pa时间小于 * 分钟，关机 * 小时真空度≤ * Pa，现场检测真空度。 非常重要 是
2 （ * ）金属/有机源系统：1套1. 金属蒸发源4套：水冷铜电极4组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，采用气缸挡板，翻盖开关，1KW直流电源2台（数字显示），电流调整精度1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；配钨舟 * 个、钽舟8个；2. 有机蒸发源2套：采用铠装加热丝，最高加热温度： * ℃，配4CC石英玻璃舟4个，采用气缸挡板，采用直流电源1台，通过导 (略) PID精确温度控制，温控精度±1℃，温控表显示精度0.1℃；3. 隔板：蒸发源采用隔板分隔。 非常重要 否
3 （ * ）样品台系统：1套1. 基片旋转：转速0～ * 转／分连续可调；2. 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距 点击查看>> mm通过触摸屏连续可调；3. 基片挂架： * * * mm样品托盘（定制）1套，如可放置 * * * mm基片 * 片；4. 掩膜板：需要根据需求定做2套掩膜版，每套掩膜版各2份，适用于 * * * mm衬底；其中 * 份要求 * *电极图形（2*8mm）、另 * 份要求 * *电极图形（0.5*8mm）。 非常重要 否
4 （ * ）真空泵机组：1套1. 分子泵1台，抽速≥ * L/S，电极转速≥ * 0rpm，极限压强<5× * -7 Pa；2. 双级泵/机械泵1台，抽速≥ * m3/h，极限真空3× * -3毫巴；3. 气动超高真空插板阀1台；超高真空气动挡板阀1台；高真空气动挡板阀1台；高真空气动挡板阀1台；真空电磁充气阀1台；KF * 泵阀连接软管2套，KF * * 通1套；4. 数显真空计1台（测量范围：1× * ～1× * -5Pa）。 非常重要 否
5 （ * ）膜厚检测系统：1套1. 膜厚仪： * 通道石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜，探头：4通道；频率：4至6 MHz；速率：0. * nm/秒； 2. 膜厚探头：水冷膜厚探头3套。提供配套晶振片1盒( * 个)。 非常重要 否
6 1. ★ 真空泵 * 台：流量≥ * m3/h，极限真空3× * -3毫巴；2. 氧分析仪 * 台：测量范围0- * ppm、精度：0.2ppm；3. 水分析仪 * 台：测量范围0- * ppm、精度：0.2ppm。 非常重要 是
7 1. 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及 * 键真空启停等功能；2. 供电：～ * V两相供电系统（峰值4KW）；3. 供水：小型循环制冷水机，冷却水温度5℃～ * ℃，工作环境温度： * ℃～ * ℃；4. 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门。 重要 否
8 （ * ）箱体1. 两个不锈钢箱体（定制），尺寸分别为 * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高）， * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高），中间法兰连接，材质为SUS * 不锈钢，厚度3mm；2. 两副 * 基橡胶手套。预留有4个KF * 标准接口。配置有双层不锈钢搁物架。钢结构支架，高 * mm，安装有万向脚轮。（ * ）过渡舱1. * 个大过渡仓：SUS * 不锈钢，厚度3mm；尺寸：Φ * X * mm；2. * 个小过渡仓：SUS * 不锈钢，厚度3mm；尺寸：Φ * X * mm。（ * ）气体纯化化系统1. * 个气体纯化柱：（1）选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛；（2）氧气和水的吸附量分别为 * 升和2公斤。2. 气体纯化柱吸附饱和后，用含氢的氮气或氩气再生，恢复其吸附能力；用氢气/氮气混合气作为再生气。H2：5%； N2: * %。3. * 个循环风机：≥ 流量 * m3/h。4. 有机溶剂吸附柱（1）含活性炭颗粒吸附材料，添加有专门吸附氟化氢的吸附剂；（2）吸附饱和后更换新材料；（3）电气动控制的循环主阀，KF * 标准接口。5. 所有气路都由电磁阀控制，净化柱再生完全实现自动控制。6. 循环系统的进出口装有气体过滤器。 非常重要 否
9 1．控制系统由 PLC和大于等于7”的彩色触摸屏组成；2．实现以下控制功能：自动控制箱体压力、手动监测泄漏率、显示操作错误和提示、箱体气氛自动报警等。 重要 否
* 手套箱技术指标：泄露率﹤0. * vol%/h，H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm，现场检测。 重要 否
* 1. 单室高真空电阻式镀膜设备与手套箱系统 * 套；2. 单室高真空电阻式镀膜设备：真 (略) 尺寸D * * * mm（定制）、金属蒸发源4套、有机蒸发源2套、1套样品台系统、1套真空泵机组、1套膜厚检测系统、1套设备机架、烘烤照明电源、总控制电源、小型循环制冷水机和小型无油静音气泵等；3. 手套箱系统含：单面双工手套箱（两个不锈钢箱体，尺寸分别为 * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高）， * mm（长）X * mm（宽）X * mm（高），中间法兰连接，材质为SUS * 不锈钢，厚度3mm）、过渡舱、气体纯化化系统、控制系统等。 重要 否
* 1. 保修期内产品如有质量问题， * 方工程师为 * 方设备提供免费维修及更换配件；由于 * (略) 导致的设备的损坏，且 * 方免费提供技术服务（不含耗材类）；2. 质保期内的维修 (略) ；3. 质保后维修只核收工本费；4. 售后电话响应时间为 * 小时之内，现场响应时间为3 天。 重要 否


    
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