* 、采购物资

序号 物资编码 物资名称 材质/品牌 型号规格 单位 数量 其他属性 需求单位 使用方向 备注 附件

1 点击查看>> 小型直流磁控等离子镀膜仪 台 1

预算总金额 * 0. * 元

物资采购详细要求 具体参数如下：1.溅射腔体：采用石英腔体，尺寸： * mm OD x * mm ID x * mmH。2. 腔体密封：采用O形密封圈密封。3. 溅射头&样品台：（1）2英寸带水冷的磁控溅射头，另有1英寸靶头可选；（2） * 个直径 * mm不锈钢样品台，样品台可旋转，旋转速率0-5 RPM；（3）安装有 * 可手动操作的溅射挡板；（4）样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围： * - * mm；（5）靶头支架，可以在非溅射状态放置溅射靶头；（6）最大溅射面积：4英寸。4. 控制面板：6" PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度。5. 真空系统：（1）安装有KF * 真空接口；（2）数字真空压力表（Pa）；（3）采用机械泵

* 、采购要求

交货地址 (略) 采购人指定地点

报价是否含税 是，说明： 报价默认含税

物资报价备注 必须填写： (略) 投项目物资 (略) 响应

* 、采购物资

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物资采购详细要求 具体参数如下：1.溅射腔体：采用石英腔体，尺寸： * mm OD x * mm ID x * mmH。2. 腔体密封：采用O形密封圈密封。3. 溅射头&样品台：（1）2英寸带水冷的磁控溅射头，另有1英寸靶头可选；（2） * 个直径 * mm不锈钢样品台，样品台可旋转，旋转速率0-5 RPM；（3）安装有 * 可手动操作的溅射挡板；（4）样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围： * - * mm；（5）靶头支架，可以在非溅射状态放置溅射靶头；（6）最大溅射面积：4英寸。4. 控制面板：6" PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度。5. 真空系统：（1）安装有KF * 真空接口；（2）数字真空压力表（Pa）；（3）采用机械泵

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