溅射镀膜机采购

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溅射镀膜机采购



溅射镀膜机（XF-WSBX- 点击查看>> ）采购公告
发布时间： 点击查看>> * : * : * 阅读量：5次
项目名称溅射镀膜机项目编号XF-WSBX- 点击查看>>
公告开始日期 点击查看>> * : * : * 公告截止日期 点击查看>> * : * : *
采购单位 (略) 付款方式货到付款。境内供货的， * 方在到货验收后 * 日内向 * 方 * 次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由 * 方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定 (略) 有费用。 * (略) 在 * 方到货验收后 * 日内 (略) * 次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后 * 天
预算总价￥ 点击查看>> . *
收货地址 (略) 国际校区工程大楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
溅射镀膜机1台电工器材

预算单价￥ 点击查看>> . *
技术参数及配置要求 * 、真空腔室
1）真空腔室、 (略) 有法兰均采用优选的SUS * 不锈钢，材料致密放气量小；
2）真空腔室为D型圆筒形，尺寸：Φ * ×H * mm；
3）前开门结构，门孔大小： * mm× * mm
4）前门材料： * 铝型材
5）前门带观察窗，可视直径为 * mm，带有观察窗。
6）锁门方式：手动，上下2个杠杆把手
7）右后侧连接抽气接口，管道直径DN * mm，抽气口带粗过滤防止大物掉落。
8）底部为4个功能模块接口，采用赛威科标准法兰SWS * 。
9）顶部为基片台模块接口。大小ISO *
* ） (略) 安装加热板，对 (略) 烘烤，最高加热温度 * 度。
* ）腔体带 * 个DN * 的观察窗，并在外安装LED灯，用于腔体照明
* ）真空 (略) 件的软硬件至少有英文语言
加工工艺与技术指标：
1) 采用本公司高真空腔室焊接，清洗工艺，采用进口真空系统氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于1.0× * - * Pa/m3/s；
2) 内外表 (略) 理。
* 、真空系统
2.1 抽气系统
1）真空机组采用复合分子泵配合直联旋片泵作为真空抽气系统；
2）分子泵：对氮气抽速大于 * L/s；
3) 机械泵：抽速：6L/s；
4）极限真空：小于6.7E-5Pa
5）恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于 * 分钟
2.2 真空阀门
1） 采用带预抽管路的真空抽气系统。
2） 前级阀和预抽阀采用KF * 气动角阀
3） 主阀采用DN * 口径的气动插板阀。
4)安装 * 个节流挡板，从而可以降低工艺气体流量，有利于稳定工艺气压。
2.3 真空测量
真空测量系统为进口全量程冷阴极真空计
* 个进口薄膜电容真空计，满量程1Torr。
* 、溅射单元
1） 磁控阴极模块化安装，采用赛威科标准法兰SWS * ，可与其他法兰简单替换，便于后期更换维护。
2） 安装3组3英寸磁控阴极， (略) 强度靶，1组强磁靶（可以溅射Ni，Fe等磁性材料）
3） 靶角度可调，并带电动挡板。
4）靶材大小为直径 * .2mm，建议厚度≤5mm。
5）磁控阴极必须通水冷却。
6）靶材利用率不超过 * %
7）阴极兼容直流电源和射频电源输入。
溅射电源：
1） 进口 * W直流溅射电源，可以切换使用
2） 进口 * W射频电源，带自动匹配器。不可以切换使用。
气路系统：
1）配置两路工艺气体，1路Ar，1路O2，采用气体流量计控制。带混气室。
2）Ar流量 * sccm，O2流量 * sccm，
* 、样品台
1）可装载最大6英寸样品（样品盘直径 * mm，方片尺寸 * * * mm）
2）可以根据客户样品形状和大小定制样品托（不超过上述尺寸）；
3）样品台旋转：转速0- * rpm连续可调；
4）样品台可升降，通过步进电机精确控制升降距离。 (略) 程 * cm
5）样品台可加热，最高温度 * 度，温度控制精度±0.5度，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。
6）带电动挡板。
* 、控制单元 控制系统采用触摸屏连接PLC控制:。
触摸屏大小： * 寸电阻屏
触摸屏控制内容：
1）机械泵，分子泵，前级阀，放气阀，预抽阀，充气阀的开关，并在控制界面有状态显示。
2）完备的互锁系统，包括预抽阀与前级阀的互锁；放气阀与插板阀的互锁；气压到大气以后自动关闭放气阀。
3）所有的温度显示，包括基片加热温度，腔体加热温度，并可以设置加热斜率，并在触摸屏上显示加热曲线。
4）可以显示抽气曲线，并显示抽气时间。
5）可以控制各个挡板，并在控制界面有状态显示
6）可以在报价界面显示各类报警。
目前设置的报警内容包括：
(略) 件的水压报警；气压报警；腔体门位置报警；分子泵过流过热报警警等。报警作用是会有声光显示。
1） 急停为物理按钮，按下可关闭插板阀，分子泵， (略) 有电源。
2） 可以实现自动抽真空，自动停机功能。 (略) 分手动操作。
* 、水冷报警保护系统
◆总进水与总出水接制冷循环水机，水温需控温范围 * - * ℃。给电极、分子泵、提供稳定的制冷循环水，保证 (略) 。
◆水路： * 进 * 出，保障循环供水 (略) 件；
◆水压传感器：1套，总出水采用水压继电器检测供水及水压状态，执行异常报警。
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x * 小时;服务年限:2;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

(略)

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采购单位 (略) 付款方式货到付款。境内供货的， * 方在到货验收后 * 日内向 * 方 * 次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由 * 方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定 (略) 有费用。 * (略) 在 * 方到货验收后 * 日内 (略) * 次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后 * 天
预算总价￥ 点击查看>> . *
收货地址 (略) 国际校区工程大楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
溅射镀膜机1台电工器材

预算单价￥ 点击查看>> . *
技术参数及配置要求 * 、真空腔室
1）真空腔室、 (略) 有法兰均采用优选的SUS * 不锈钢，材料致密放气量小；
2）真空腔室为D型圆筒形，尺寸：Φ * ×H * mm；
3）前开门结构，门孔大小： * mm× * mm
4）前门材料： * 铝型材
5）前门带观察窗，可视直径为 * mm，带有观察窗。
6）锁门方式：手动，上下2个杠杆把手
7）右后侧连接抽气接口，管道直径DN * mm，抽气口带粗过滤防止大物掉落。
8）底部为4个功能模块接口，采用赛威科标准法兰SWS * 。
9）顶部为基片台模块接口。大小ISO *
* ） (略) 安装加热板，对 (略) 烘烤，最高加热温度 * 度。
* ）腔体带 * 个DN * 的观察窗，并在外安装LED灯，用于腔体照明
* ）真空 (略) 件的软硬件至少有英文语言
加工工艺与技术指标：
1) 采用本公司高真空腔室焊接，清洗工艺，采用进口真空系统氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于1.0× * - * Pa/m3/s；
2) 内外表 (略) 理。
* 、真空系统
2.1 抽气系统
1）真空机组采用复合分子泵配合直联旋片泵作为真空抽气系统；
2）分子泵：对氮气抽速大于 * L/s；
3) 机械泵：抽速：6L/s；
4）极限真空：小于6.7E-5Pa
5）恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于 * 分钟
2.2 真空阀门
1） 采用带预抽管路的真空抽气系统。
2） 前级阀和预抽阀采用KF * 气动角阀
3） 主阀采用DN * 口径的气动插板阀。
4)安装 * 个节流挡板，从而可以降低工艺气体流量，有利于稳定工艺气压。
2.3 真空测量
真空测量系统为进口全量程冷阴极真空计
* 个进口薄膜电容真空计，满量程1Torr。
* 、溅射单元
1） 磁控阴极模块化安装，采用赛威科标准法兰SWS * ，可与其他法兰简单替换，便于后期更换维护。
2） 安装3组3英寸磁控阴极， (略) 强度靶，1组强磁靶（可以溅射Ni，Fe等磁性材料）
3） 靶角度可调，并带电动挡板。
4）靶材大小为直径 * .2mm，建议厚度≤5mm。
5）磁控阴极必须通水冷却。
6）靶材利用率不超过 * %
7）阴极兼容直流电源和射频电源输入。
溅射电源：
1） 进口 * W直流溅射电源，可以切换使用
2） 进口 * W射频电源，带自动匹配器。不可以切换使用。
气路系统：
1）配置两路工艺气体，1路Ar，1路O2，采用气体流量计控制。带混气室。
2）Ar流量 * sccm，O2流量 * sccm，
* 、样品台
1）可装载最大6英寸样品（样品盘直径 * mm，方片尺寸 * * * mm）
2）可以根据客户样品形状和大小定制样品托（不超过上述尺寸）；
3）样品台旋转：转速0- * rpm连续可调；
4）样品台可升降，通过步进电机精确控制升降距离。 (略) 程 * cm
5）样品台可加热，最高温度 * 度，温度控制精度±0.5度，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。
6）带电动挡板。
* 、控制单元 控制系统采用触摸屏连接PLC控制:。
触摸屏大小： * 寸电阻屏
触摸屏控制内容：
1）机械泵，分子泵，前级阀，放气阀，预抽阀，充气阀的开关，并在控制界面有状态显示。
2）完备的互锁系统，包括预抽阀与前级阀的互锁；放气阀与插板阀的互锁；气压到大气以后自动关闭放气阀。
3）所有的温度显示，包括基片加热温度，腔体加热温度，并可以设置加热斜率，并在触摸屏上显示加热曲线。
4）可以显示抽气曲线，并显示抽气时间。
5）可以控制各个挡板，并在控制界面有状态显示
6）可以在报价界面显示各类报警。
目前设置的报警内容包括：
(略) 件的水压报警；气压报警；腔体门位置报警；分子泵过流过热报警警等。报警作用是会有声光显示。
1） 急停为物理按钮，按下可关闭插板阀，分子泵， (略) 有电源。
2） 可以实现自动抽真空，自动停机功能。 (略) 分手动操作。
* 、水冷报警保护系统
◆总进水与总出水接制冷循环水机，水温需控温范围 * - * ℃。给电极、分子泵、提供稳定的制冷循环水，保证 (略) 。
◆水路： * 进 * 出，保障循环供水 (略) 件；
◆水压传感器：1套，总出水采用水压继电器检测供水及水压状态，执行异常报警。
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x * 小时;服务年限:2;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

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