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备注1.最大工作物尺寸≥8英寸;2.崩边尺寸要求(碲镉汞材料)≤5um;3.主轴最高回转数≥ * 0RPM;4.X轴进刀速度范围:覆盖0.1mm/s~ * mm/s;5.Y轴单步步进量≤0. * mm;6.Z轴重复精度≤0. * mm;7.显微镜:配备稿/低倍显微镜。

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