化学气相沉积系统
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化学气相沉积系统
采购单位： (略) | 联系人：李老师 |
E-mail：无 | 联系电话： 点击查看>> |
传真：无 | 联系手机：无 |
邮编：无 | |
项目名称： 化学气相沉积系统 | 竞价编号：JJ 点击查看>> |
采购类型：货物类 | 开始时间： 点击查看>> * : * : * |
项目预算(元)： * , * . * | 结束时间： 点击查看>> * : * : * |
| 序号 | 产品名称 | 品牌 | 产品类别 | 型号 | 数量 | 单位 | 是否标配 | 详情 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 化学气相沉积系统 | (略) 科晶 | 试样制备及实验辅助设 | CVD | 1. * | 套 | 是 | |
| 规格配置：配置-供气系统：GSL-3Z-LCD；管式炉：GSL- * X；真空系统：GZK- * G（要求将供气系统、真空系统、管式炉 * 者整合，组成化学气相沉积系统， (略) 正常。） * 、供气系统（GSL-3Z-LCD）1.标准流程： * sccm、 * sccm、 * sccm2.质量流量控制器：a)工作电压： 点击查看>> V/ * HZ；b)工作温度：5- * ℃；c)工作压强：3× * Pad)最大输出功率： * W；e)准确度：±1.5%FS（精度为满量程刻度的1.5%）；f)线性：±0.5～1.5%g)重复精度：±0.2%FS；h)响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性： * Sec； i)工作压差范围：0.1～0.5 MPa3.机械压力表量程范围:-0.1~0. * MPa (0. * MPa/grid) 4.针阀： * 不锈钢5.管件：不锈钢1/4〞，尼龙管L * 〞 ID 1/4〞6.气体混料罐：Φ * × * mm7.截止阀： * 不锈钢针阀Φ1/4〞8.容积： * × * × * mm * 、管式炉（GSL- * X）1.主要参数：a)最高温度: * ℃ (< * min)b)长期工作温度: 点击查看>> ℃c)推荐升温速率： * ℃以下：≤ * ℃/min ； * ℃到 * ℃：≤5℃/mind)加热区长度： * mme)最大功率：5.2 KWf)电压：单相 AC * V * Hz2.炉体结构：a)采用双层壳体结构，并带有风冷系统b)炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失c)内炉膛表面涂有美国进口 * 度高温氧化铝涂层可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命3.炉管：（标配）OD: * mm x * mmL； (略) 均匀性和法兰的密封性，仪器使用升温前需要在炉管两端塞入氧化铝管堵，防止热量的散失4.真空密封：标配有两个不锈钢真空法兰（上面已安装了机械压力表和不锈钢截止阀）5.真空度：采用双旋片式机械泵真空度可以达到 * -3 torr6.温控系统：PID * 段程序化自动控制；控温精度: ±1 ℃7.加热元件： * oC级硅钼棒8.外形尺寸： * L× * W× * H m9.净重： * kg * 、真空系统（GZK- * G）1.技术指标：a)环境温度5~ * ℃，b)空气相对湿度≤ * %，c)工作电电压： * V± * % * ~ * HZ d)功率：1KWe)系统极限真空度：1.0X * -4Paf)外形尺寸： * X * X * mm2.主要配置：a)RVP-4 机械泵：抽气速率：4L/S；电机功率： * W 极限压强6X * -2Pab)F- 点击查看>> 分子泵：抽气速率： * L/S；极限压强：6X * -6Pa；启动时间：＜2min；额定转速： * 0转/分；冷却方式：风冷c)分子泵控制电源：电压： * ~ * V；输出功率： * W；加速时间：3分钟；输出频率：高速 * Hz± * %，低速 * Hz± * %d)ZDF-Ⅲ复合真空计：工作电电压： * V * ~ * HZ；电阻规阻值：约 * 欧；自动保护（电离）> * Pa；电离规管测量范围： * ~ * -5Pa；电阻规管测量范围： * ～ * -1 pae)F * 高真空手动隔断阀：采用氟胶圈密封，快卸法兰接口；漏率达5X * -9 Pam3/sf)连接管路：采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1× * -9Pa.m3/s | ||||||||
| 售后服务： * 年质保，终身维护 | ||||||||
| 序号 | 附件名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
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采购单位： (略) | 联系人：李老师 |
E-mail：无 | 联系电话： 点击查看>> |
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邮编：无 | |
项目名称： 化学气相沉积系统 | 竞价编号：JJ 点击查看>> |
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| 序号 | 产品名称 | 品牌 | 产品类别 | 型号 | 数量 | 单位 | 是否标配 | 详情 |
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| 1 | 化学气相沉积系统 | (略) 科晶 | 试样制备及实验辅助设 | CVD | 1. * | 套 | 是 | |
| 规格配置：配置-供气系统：GSL-3Z-LCD；管式炉：GSL- * X；真空系统：GZK- * G（要求将供气系统、真空系统、管式炉 * 者整合，组成化学气相沉积系统， (略) 正常。） * 、供气系统（GSL-3Z-LCD）1.标准流程： * sccm、 * sccm、 * sccm2.质量流量控制器：a)工作电压： 点击查看>> V/ * HZ；b)工作温度：5- * ℃；c)工作压强：3× * Pad)最大输出功率： * W；e)准确度：±1.5%FS（精度为满量程刻度的1.5%）；f)线性：±0.5～1.5%g)重复精度：±0.2%FS；h)响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性： * Sec； i)工作压差范围：0.1～0.5 MPa3.机械压力表量程范围:-0.1~0. * MPa (0. * MPa/grid) 4.针阀： * 不锈钢5.管件：不锈钢1/4〞，尼龙管L * 〞 ID 1/4〞6.气体混料罐：Φ * × * mm7.截止阀： * 不锈钢针阀Φ1/4〞8.容积： * × * × * mm * 、管式炉（GSL- * X）1.主要参数：a)最高温度: * ℃ (< * min)b)长期工作温度: 点击查看>> ℃c)推荐升温速率： * ℃以下：≤ * ℃/min ； * ℃到 * ℃：≤5℃/mind)加热区长度： * mme)最大功率：5.2 KWf)电压：单相 AC * V * Hz2.炉体结构：a)采用双层壳体结构，并带有风冷系统b)炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失c)内炉膛表面涂有美国进口 * 度高温氧化铝涂层可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命3.炉管：（标配）OD: * mm x * mmL； (略) 均匀性和法兰的密封性，仪器使用升温前需要在炉管两端塞入氧化铝管堵，防止热量的散失4.真空密封：标配有两个不锈钢真空法兰（上面已安装了机械压力表和不锈钢截止阀）5.真空度：采用双旋片式机械泵真空度可以达到 * -3 torr6.温控系统：PID * 段程序化自动控制；控温精度: ±1 ℃7.加热元件： * oC级硅钼棒8.外形尺寸： * L× * W× * H m9.净重： * kg * 、真空系统（GZK- * G）1.技术指标：a)环境温度5~ * ℃，b)空气相对湿度≤ * %，c)工作电电压： * V± * % * ~ * HZ d)功率：1KWe)系统极限真空度：1.0X * -4Paf)外形尺寸： * X * X * mm2.主要配置：a)RVP-4 机械泵：抽气速率：4L/S；电机功率： * W 极限压强6X * -2Pab)F- 点击查看>> 分子泵：抽气速率： * L/S；极限压强：6X * -6Pa；启动时间：＜2min；额定转速： * 0转/分；冷却方式：风冷c)分子泵控制电源：电压： * ~ * V；输出功率： * W；加速时间：3分钟；输出频率：高速 * Hz± * %，低速 * Hz± * %d)ZDF-Ⅲ复合真空计：工作电电压： * V * ~ * HZ；电阻规阻值：约 * 欧；自动保护（电离）> * Pa；电离规管测量范围： * ~ * -5Pa；电阻规管测量范围： * ～ * -1 pae)F * 高真空手动隔断阀：采用氟胶圈密封，快卸法兰接口；漏率达5X * -9 Pam3/sf)连接管路：采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1× * -9Pa.m3/s | ||||||||
| 售后服务： * 年质保，终身维护 | ||||||||
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