真空镀膜机采购

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真空镀膜机采购



真空镀膜机（XF-WSBX- 点击查看>> ）采购公告
发布时间： 点击查看>> * : * : * 阅读量：6次
项目名称真空镀膜机项目编号XF-WSBX- 点击查看>>
公告开始日期 点击查看>> * : * : * 公告截止日期 点击查看>> * : * : *
采购单位 (略) 付款方式货到付款。境内供货的， * 方在到货验收后 * 日内向 * 方 * 次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由 * 方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定 (略) 有费用。 * (略) 在 * 方到货验收后 * 日内 (略) * 次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求成交后3天
预算总价￥ 点击查看>> . *
收货地址 (略) * 门OLE (略) - (略) 省 (略) 市金色西溪 * 楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
真空镀膜机1台机电设备

预算单价￥ 点击查看>> . *
技术参数及配置要求真空室
真空室尺寸大致为 * mm× * mm× * mm。
真空室应装有两个可以完全打开的门，前门为快开门，打开后可 (略) 进行维护；后面是推拉门，可以与手套箱连接。
腔体的极限真空要达到8x * -5Pa，在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空需在 * 分钟内达到5x * -4Pa的真空度。
基片装置
* 个磁力传动的旋转基片，最大尺寸为 * * * mm，可自动识别的基片位置。基片架转速为0- * 转/分（转速可调）。
蒸镀均匀度应优于±3%。
基片总挡板，气动控制，可通过触摸屏操作。
蒸发源
要求有 * 个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源 * 套，电极式金属蒸发源2套。
蒸发源都应配有独立的电动挡板，可单独打开或关闭，操作在触摸屏上完成。每个源应有独立防污罩，防止源与源之间的污染。
有机源加热温度均匀，寿命要超过 * 小时，温度最 (略) 能达到 * ℃。多源间不应有温度干扰。
金属源要采用水冷电极，蒸发舟尺寸为 * mm。
有机蒸发电源控温精度应达到±1℃，温度调节需在触摸屏上完成。
金属蒸发电源应采用百分比功率控制，操作及切换需在触摸屏上完成。
膜厚测量
* 通道膜厚仪，应达到以下要求：
QCM 输入 4
测量频率范围 Adjustable: 1.0 MHz minimum，6.5 MHz maximum
频率分辨率 ± 0. * Hz
频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to * C
厚度和速率分辨率/测量 ±0. * ？
测量周期 0. * to 1.0 s (adjustable)
存储 * processes, * layers, * films
数字输入 5 VDC non-isolated
输出信号 ± 0 to * VDC, * bits
控制输出 4
* 个水冷膜厚探头应安装在蒸发源上方。
真空系统
真空分子泵应达到以下参数：
抽气速（L/S） *
压缩比 N2 ＞ * E9， H2 ＞1× * E4
极限压强（Pa） ＜5× * E-7
电机转数（rpm） * 0
振动值 ≤0.1μm
启动时间（min） ＜5
冷却方式 水冷
水冷冷却水温度（℃） ≤ *
机械泵 BRV * 应达到以下参数：
抽气速率 m3/h * .4
极限压力（Pa） ＜5× * E-1
电机功率（kw） 1.5
电压（ * 项） *
所需油量（L） 1.5
进气接口 KF *
出去接口 KF *
重量（KG） *
复合真空计，应达到大气---1x * E-5Pa的测量范围。
控制系统
应采用触摸屏控制， (略) 有操作均可在触摸屏上完成。
控制内容包括：
机械泵、分子泵、阀的启、停；
在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统；
基片台的旋转，基片的选择，基片总挡板的开关；
蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。
独立可更换衬板
真空室应配有衬板系统，便于清洗及更换，减小真空室的污染。
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x * 小时;服务年限:1;服务时限:报修后 * 小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

(略)

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发布时间： 点击查看>> * : * : * 阅读量：6次
项目名称真空镀膜机项目编号XF-WSBX- 点击查看>>
公告开始日期 点击查看>> * : * : * 公告截止日期 点击查看>> * : * : *
采购单位 (略) 付款方式货到付款。境内供货的， * 方在到货验收后 * 日内向 * 方 * 次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由 * 方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定 (略) 有费用。 * (略) 在 * 方到货验收后 * 日内 (略) * 次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求成交后3天
预算总价￥ 点击查看>> . *
收货地址 (略) * 门OLE (略) - (略) 省 (略) 市金色西溪 * 楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
真空镀膜机1台机电设备

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技术参数及配置要求真空室
真空室尺寸大致为 * mm× * mm× * mm。
真空室应装有两个可以完全打开的门，前门为快开门，打开后可 (略) 进行维护；后面是推拉门，可以与手套箱连接。
腔体的极限真空要达到8x * -5Pa，在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空需在 * 分钟内达到5x * -4Pa的真空度。
基片装置
* 个磁力传动的旋转基片，最大尺寸为 * * * mm，可自动识别的基片位置。基片架转速为0- * 转/分（转速可调）。
蒸镀均匀度应优于±3%。
基片总挡板，气动控制，可通过触摸屏操作。
蒸发源
要求有 * 个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源 * 套，电极式金属蒸发源2套。
蒸发源都应配有独立的电动挡板，可单独打开或关闭，操作在触摸屏上完成。每个源应有独立防污罩，防止源与源之间的污染。
有机源加热温度均匀，寿命要超过 * 小时，温度最 (略) 能达到 * ℃。多源间不应有温度干扰。
金属源要采用水冷电极，蒸发舟尺寸为 * mm。
有机蒸发电源控温精度应达到±1℃，温度调节需在触摸屏上完成。
金属蒸发电源应采用百分比功率控制，操作及切换需在触摸屏上完成。
膜厚测量
* 通道膜厚仪，应达到以下要求：
QCM 输入 4
测量频率范围 Adjustable: 1.0 MHz minimum，6.5 MHz maximum
频率分辨率 ± 0. * Hz
频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to * C
厚度和速率分辨率/测量 ±0. * ？
测量周期 0. * to 1.0 s (adjustable)
存储 * processes, * layers, * films
数字输入 5 VDC non-isolated
输出信号 ± 0 to * VDC, * bits
控制输出 4
* 个水冷膜厚探头应安装在蒸发源上方。
真空系统
真空分子泵应达到以下参数：
抽气速（L/S） *
压缩比 N2 ＞ * E9， H2 ＞1× * E4
极限压强（Pa） ＜5× * E-7
电机转数（rpm） * 0
振动值 ≤0.1μm
启动时间（min） ＜5
冷却方式 水冷
水冷冷却水温度（℃） ≤ *
机械泵 BRV * 应达到以下参数：
抽气速率 m3/h * .4
极限压力（Pa） ＜5× * E-1
电机功率（kw） 1.5
电压（ * 项） *
所需油量（L） 1.5
进气接口 KF *
出去接口 KF *
重量（KG） *
复合真空计，应达到大气---1x * E-5Pa的测量范围。
控制系统
应采用触摸屏控制， (略) 有操作均可在触摸屏上完成。
控制内容包括：
机械泵、分子泵、阀的启、停；
在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统；
基片台的旋转，基片的选择，基片总挡板的开关；
蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。
独立可更换衬板
真空室应配有衬板系统，便于清洗及更换，减小真空室的污染。
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x * 小时;服务年限:1;服务时限:报修后 * 小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

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