1

自动控压系统

1套

诺泰、科佳电炉、子午锐德

不推荐

本套系统应由进气系统以及气体定量系统以及报警系统组成，具体参数要求如下：1. 进气系统1.1 阀门材质以及管路材质均采用 * L1.2 4路质量流量计的测量精度在±1% F.S，量程规格要满足以下要求：流量范围: 0~ * sccm（含 * % * 烷的氩气）流量范围: 0~ * sccm（含 * % * 烷的氩气）流量范围: 0~ * sccm（氩气）流量范围: 0~ * sccm（含 * % * 烷的氩气）1.3触摸屏定制PLC 自动控制流量1.4采用电磁调节阀并常闭1.5 重复精度可以实现±0.2％F.S.1.6 响应时间 ≤2 sec1.7 工作温度范围在5～ * ℃1.8 耐压至少3MPa1.9 通道湿材料采用 * L 不锈钢、密封材料1. * 静密封材料、动密封材料均采用氟橡胶2. 气体定量系统2.1 功能:通过多通道、分段调压实现PECVD 管内压力在 * Pa 到 * kPa 之间自动控制。2.2 数显真空计的可测量范围为5* * -5mbar 到 * mbar3.报警功能安全起见需要有报警功能，报警原因包括：1、气体用完报警； 2、 压力设定值达不到报警；3、出现烟雾报警；4、超压自动断开加热和进气功能；5、含有 * 烷测漏仪，当非 * 烷工作区间出现 * 烷可以检测到并提示。

按行业标准提供售后服务

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自动控压系统

1套

诺泰、科佳电炉、子午锐德

不推荐

本套系统应由进气系统以及气体定量系统以及报警系统组成，具体参数要求如下：1. 进气系统1.1 阀门材质以及管路材质均采用 * L1.2 4路质量流量计的测量精度在±1% F.S，量程规格要满足以下要求：流量范围: 0~ * sccm（含 * % * 烷的氩气）流量范围: 0~ * sccm（含 * % * 烷的氩气）流量范围: 0~ * sccm（氩气）流量范围: 0~ * sccm（含 * % * 烷的氩气）1.3触摸屏定制PLC 自动控制流量1.4采用电磁调节阀并常闭1.5 重复精度可以实现±0.2％F.S.1.6 响应时间 ≤2 sec1.7 工作温度范围在5～ * ℃1.8 耐压至少3MPa1.9 通道湿材料采用 * L 不锈钢、密封材料1. * 静密封材料、动密封材料均采用氟橡胶2. 气体定量系统2.1 功能:通过多通道、分段调压实现PECVD 管内压力在 * Pa 到 * kPa 之间自动控制。2.2 数显真空计的可测量范围为5* * -5mbar 到 * mbar3.报警功能安全起见需要有报警功能，报警原因包括：1、气体用完报警； 2、 压力设定值达不到报警；3、出现烟雾报警；4、超压自动断开加热和进气功能；5、含有 * 烷测漏仪，当非 * 烷工作区间出现 * 烷可以检测到并提示。

按行业标准提供售后服务