申购单号:CB 点击查看>>
申购主题: * 靶自动 * 体式磁控溅射镀膜机
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:
送货时间:
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 市南点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:自动 * 体式磁控溅射镀膜机 * 套，包括：1. * 靶（永磁靶）磁控溅射镀膜系统。2. 溅射室极限真空度：≤6.6x * -5 Pa (经烘烤除气后)；真空获得采用FF 点击查看>> 分子泵和优质机械泵（8L/S）系统从大气开始抽气：溅射室 * 分钟可达到6.6x * -4 Pa；系统停泵关机 * 小时后真空度：≤5Pa。3. 3套 * mm高性能永磁共焦磁控溅射靶。4. 样品台布置 (略) ，可放置最大4英寸样品1片，样品具有连续旋转功能，旋转0— * 转/分连续可调。5. 样品台可加热，加热温度：室温至 * °C。6. 包含2台数字式 * w脉冲直流电源和1台 * w全自动匹配射频电源。7. 尺寸为4英寸的样品可均镀膜，保证3英寸范围不均匀度 为≤±5%（以镀膜 (略) 验收，镀金属膜厚度约 * nm）。8. 包含达 (略) 需的其他必要配件，提供 * 年整 (略) 安装培训服务。申购明细：

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采购单位: (略)
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