西安电子科技大学-竞价公告(CB107012021000176)
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西安电子科技大学-竞价公告(CB107012021000176)
申购单号:CB 点击查看>>
申购主题:磁控溅射薄膜制备系统PD- * C
采购单位:西 (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算: 点击查看>> .0
签约时间:
送货时间:
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:西电北校点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 磁控溅射薄膜制备系统PD- * C | 1.0 | 套 点击查看>> .0 |
| 品牌 | 普迪真空 | ||
| 型号 | PD- * C | ||
| 规格参数 | 主要功能及目标：该系统适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜、扫描电镜制样电极材料制备等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大。采购标的满足的质量：1.？镀膜室极限真空：优于6E-6Pa（经烘烤除气后）；2.？镀膜室抽速测试：抽到工作真空（5E-4Pa）时间少于 * 分钟（干燥环境下恢复抽真空）；3.？系统漏率：≤2x * -7Pa.l/S（以氦质谱检漏仪测试指标考核）；4.？系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压 * 小时后真空度小于 * Pa；5.？基片加热：衬底最高加热温度 * ℃；6.？溅射尺寸：衬底基片最大4英寸，兼容4英寸、2英寸、Φ * mm、Φ * mm，以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～ * rpm连续可调；7.成膜质量：直径3英寸范围内均匀性优于±5%； | ||
| 质保及售后服务 | 服务安全时限等：1年免费质保，安全性能高，售后承诺1小时内响应问题， * 般情况下 * 个工作日之内解决。如果 * 个工作日之内不能解决， (略) 件使用，如果无法通 (略) 件解决问题的，工程师在8小时 (略) 解决问题 | ||
申购单号:CB 点击查看>>
申购主题:磁控溅射薄膜制备系统PD- * C
采购单位:西 (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算: 点击查看>> .0
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安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:西电北校点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 磁控溅射薄膜制备系统PD- * C | 1.0 | 套 点击查看>> .0 |
| 品牌 | 普迪真空 | ||
| 型号 | PD- * C | ||
| 规格参数 | 主要功能及目标：该系统适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜、扫描电镜制样电极材料制备等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大。采购标的满足的质量：1.？镀膜室极限真空：优于6E-6Pa（经烘烤除气后）；2.？镀膜室抽速测试：抽到工作真空（5E-4Pa）时间少于 * 分钟（干燥环境下恢复抽真空）；3.？系统漏率：≤2x * -7Pa.l/S（以氦质谱检漏仪测试指标考核）；4.？系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压 * 小时后真空度小于 * Pa；5.？基片加热：衬底最高加热温度 * ℃；6.？溅射尺寸：衬底基片最大4英寸，兼容4英寸、2英寸、Φ * mm、Φ * mm，以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～ * rpm连续可调；7.成膜质量：直径3英寸范围内均匀性优于±5%； | ||
| 质保及售后服务 | 服务安全时限等：1年免费质保，安全性能高，售后承诺1小时内响应问题， * 般情况下 * 个工作日之内解决。如果 * 个工作日之内不能解决， (略) 件使用，如果无法通 (略) 件解决问题的，工程师在8小时 (略) 解决问题 | ||
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