西安交通大学-竞价公告(CB106982021001966)
西安交通大学-竞价公告(CB106982021001966)
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 高真空电阻蒸发镀膜机 | 1.0 | 台 |
品牌 | (略) 泰科诺 | ||
型号 | ZHD * | ||
规格参数 | * 、设备名称:高真空电阻蒸发镀膜机 * 、品牌: (略) 泰科诺 * 、型号:ZHD * * 、参数要求:1、真空腔室:ф * ×H * mm, * 优质不锈钢真空腔室;2、真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统,数显复合真空计;3、真空极限(空载):8.0× * -5Pa;4、漏率:≤0.8Pa/h;5、抽速:(空载)从大气抽至5.0× * -3Pa≤ * min;6、基片台尺寸:最大可镀基片尺寸/面积:Φ * mm范围内可装卡各种规格基片;7、基片台旋转:旋转速度:0- * 转/分钟;8、蒸发源及电源:2对水冷式蒸发电极;1台3kw金属蒸发电源;9、膜厚不均匀性:≤±5%(基片台Φ * mm 范围内); * 、控制方式:PLC+触摸屏控制方式; * 、报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 * 、售后服务:产品保质期为1年;保质期内设备免费维修(人为损坏除外);对质保期以外设备的维护,只收取成本费。 * 、辅助设备:1、膜厚控制系统1套;2、冷却循环水机1台;真空泵 * 台(edwards)。 * 、 (略) 家必须提供相应金属电极制备工艺参数。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务,质保期 * 个月。 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 高真空电阻蒸发镀膜机 | 1.0 | 台 |
品牌 | (略) 泰科诺 | ||
型号 | ZHD * | ||
规格参数 | * 、设备名称:高真空电阻蒸发镀膜机 * 、品牌: (略) 泰科诺 * 、型号:ZHD * * 、参数要求:1、真空腔室:ф * ×H * mm, * 优质不锈钢真空腔室;2、真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统,数显复合真空计;3、真空极限(空载):8.0× * -5Pa;4、漏率:≤0.8Pa/h;5、抽速:(空载)从大气抽至5.0× * -3Pa≤ * min;6、基片台尺寸:最大可镀基片尺寸/面积:Φ * mm范围内可装卡各种规格基片;7、基片台旋转:旋转速度:0- * 转/分钟;8、蒸发源及电源:2对水冷式蒸发电极;1台3kw金属蒸发电源;9、膜厚不均匀性:≤±5%(基片台Φ * mm 范围内); * 、控制方式:PLC+触摸屏控制方式; * 、报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 * 、售后服务:产品保质期为1年;保质期内设备免费维修(人为损坏除外);对质保期以外设备的维护,只收取成本费。 * 、辅助设备:1、膜厚控制系统1套;2、冷却循环水机1台;真空泵 * 台(edwards)。 * 、 (略) 家必须提供相应金属电极制备工艺参数。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务,质保期 * 个月。 |
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