(略) 就键合机在高德红外电子 (略) 询价采购 ，现公开邀请合 (略) 网上电子投标。

* 、项目内容

项目标号：GDHYXJ 点击查看>>

项目标名：键合机

交货地点和时间：

* 、投标人资格要求：

键合机 采购信息公示

* 、项目概况

（ * ）项目编号： 点击查看>>

（ * ）项目名称：晶圆键合机 3台双腔或6台单腔键合机

（ * ）项目内容及需求：

1. 1、要求： A. 晶圆尺寸： * mm键合叠层：0.8~4mm；

B． * mm直径的上/下极板加热模块；上/下极板的最大加热温度： * ℃，可分别控制加热温度；可调节分辨率：1℃；加热精度：≤±1℃；加热均匀性：≤±2%；加热速度：1℃/min ~ * ℃/min，可编程设定；下极板必须具备冷却功能，可编程设定冷却速率（5℃/min ~ * ℃/min）。；上极板冷却功能可以选配；

C. 键合压力模块，最大键合压力： * KN；最小键合压力： * N；压力精度：≤±3%或± * N；压力均匀性：≤±5%

D. 工艺室真空：真空系统结构：分子泵+干泵真空抽速：常压到1* * -3mBar的时间≤2min；极限真空：1* * -5mBar；工艺填充气体（N2）1路：；用于工艺室的抽真空，即抽真空→充N2→抽真空，更好的去除工艺室的水汽等。；上/下极板加热时，填充N2，以提高加热效率。；键合工艺完成时，充N2辅助冷却晶圆，以提高降温速率。

E. 机台需配备还原氧化层功能的装置（如 * 酸）。完成金锡键合工艺，并满足低空洞率、高可靠性，高真空、MEMS结构不受影响的要求；

2. 2、交期： * 日历天。

* 、资格要求

（ * ）必须符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、 (略) (略) 必需的设备和专业技术能力。

4、有依法 (略) 会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前 * 年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重 (略) 全生产事故的声明；

7、未被列入“信用中国”网站 点击查看>> ) (略) 人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严 (略) 为记录名单和“中 (略) ”（www.ccg 点击查看>> ）政府采购严 (略) 为记录名单， (略) 上查询结果记录（ (略) 之后），截图打印。

（ * ）特定资格要求：

1、参与企业必须为 (略) 家或代理商，代理商必 (略) 家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

* 、供应商资料递交截止时间和地点

（ * ）截止时间： 点击查看>> * : *

（ * ）地点： (略) 市 (略) 技术开发区黄 (略) 南路6号

* 、联系事项

联系人：朱威 电话： 点击查看>>

* 、监督电话：

(略) ： 点击查看>>

(略) (略)

* 日

* 、投标人须登录高德红外电子采购平台(http:/ 点击查看>> )进行投标和开标活动，务必在开标前完成注册并获得投标资格，中标 (略) 公示。

* 、网上投标方法：具体步 (略) 站“服务指南”。

* 、报名截止时间： 点击查看>> * : * ，投标截止及开标时间： 点击查看>> * : * ，投标人应于投标截止时间前在高德红外电子采购平 (略) 有电子投标文件。

* 、物理开标地点：

* 、有意者可与朱威联系，业务联系电话：电话： 邮箱： * 点击查看>> 。

纪检投诉受理：

高德红外电子采购平台

点击查看>> * : *

(略) 就键合机在高德红外电子 (略) 询价采购 ，现公开邀请合 (略) 网上电子投标。

* 、项目内容

项目标号：GDHYXJ 点击查看>>

项目标名：键合机

交货地点和时间：

* 、投标人资格要求：

键合机 采购信息公示

* 、项目概况

（ * ）项目编号： 点击查看>>

（ * ）项目名称：晶圆键合机 3台双腔或6台单腔键合机

（ * ）项目内容及需求：

1. 1、要求： A. 晶圆尺寸： * mm键合叠层：0.8~4mm；

B． * mm直径的上/下极板加热模块；上/下极板的最大加热温度： * ℃，可分别控制加热温度；可调节分辨率：1℃；加热精度：≤±1℃；加热均匀性：≤±2%；加热速度：1℃/min ~ * ℃/min，可编程设定；下极板必须具备冷却功能，可编程设定冷却速率（5℃/min ~ * ℃/min）。；上极板冷却功能可以选配；

C. 键合压力模块，最大键合压力： * KN；最小键合压力： * N；压力精度：≤±3%或± * N；压力均匀性：≤±5%

D. 工艺室真空：真空系统结构：分子泵+干泵真空抽速：常压到1* * -3mBar的时间≤2min；极限真空：1* * -5mBar；工艺填充气体（N2）1路：；用于工艺室的抽真空，即抽真空→充N2→抽真空，更好的去除工艺室的水汽等。；上/下极板加热时，填充N2，以提高加热效率。；键合工艺完成时，充N2辅助冷却晶圆，以提高降温速率。

E. 机台需配备还原氧化层功能的装置（如 * 酸）。完成金锡键合工艺，并满足低空洞率、高可靠性，高真空、MEMS结构不受影响的要求；

2. 2、交期： * 日历天。

* 、资格要求

（ * ）必须符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、 (略) (略) 必需的设备和专业技术能力。

4、有依法 (略) 会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前 * 年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重 (略) 全生产事故的声明；

7、未被列入“信用中国”网站 点击查看>> ) (略) 人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严 (略) 为记录名单和“中 (略) ”（www.ccg 点击查看>> ）政府采购严 (略) 为记录名单， (略) 上查询结果记录（ (略) 之后），截图打印。

（ * ）特定资格要求：

1、参与企业必须为 (略) 家或代理商，代理商必 (略) 家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

* 、供应商资料递交截止时间和地点

（ * ）截止时间： 点击查看>> * : *

（ * ）地点： (略) 市 (略) 技术开发区黄 (略) 南路6号

* 、联系事项

联系人：朱威 电话： 点击查看>>

* 、监督电话：

(略) ： 点击查看>>

(略) (略)

* 日

* 、投标人须登录高德红外电子采购平台(http:/ 点击查看>> )进行投标和开标活动，务必在开标前完成注册并获得投标资格，中标 (略) 公示。

* 、网上投标方法：具体步 (略) 站“服务指南”。

* 、报名截止时间： 点击查看>> * : * ，投标截止及开标时间： 点击查看>> * : * ，投标人应于投标截止时间前在高德红外电子采购平 (略) 有电子投标文件。

* 、物理开标地点：

* 、有意者可与朱威联系，业务联系电话：电话： 邮箱： * 点击查看>> 。

纪检投诉受理：

高德红外电子采购平台

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