河海大学-竞价公告(CB102942021000061)
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河海大学-竞价公告(CB102942021000061)
申购单号:CB 点击查看>>
申购主题:紫外单面光刻机
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后 * 天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 紫外单面光刻机 | 1.0 | |
| 品牌 | IOE | ||
| 型号 | URE- 点击查看>> L | ||
| 规格参数 | 1．技术参数?曝光面积：4英寸?曝光波长： * nm?分辨力：0.8mm-1mm?对准精度：±0. 8mm?掩模样片整体运动范围：X： * mm;Y: * mm?掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸?样片尺寸：直径f * mm-- f * mm(各种不规则片)?★厚度可适应0.1mm--6mm(最大可扩展为 * mm)?曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能?★ (略) 对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍，物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍，目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍?调平接触压力通过传感器保证重复?★数字设定对准间隙和曝光间隙?★具备压印模块接口，也具备接近模块接口?掩模相对 (略) 程：? X: ±5mm; Y: ±5mm;q:±6o?★最大焦厚： * mm（SU8胶，用户提供检测条件）? (略) 性：2.5 o?曝光能量密度：> * mW/cm2?单层曝光 * 键完成?采用球气浮自动找平?照明不均匀性： ￡2.5%（ f * mm范围）；?★曝光光源：紫外LED（进口）；2．外形尺寸：约 * mm（长）? * mm(宽) ? * mm（高）3．配置设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。（曝光头系统包括：?进口紫外LED光源模块；?LED光源整形模块；?XYZ光源位置调节台；?光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（ * 个透镜）、场镜组、反射镜组）；?冷却风扇。对准工件台包括：?掩模样片整体运动台；?掩模样片相对运动台；?转动台；?样片调平机构,自动完成；?基片抽拉式上下机构；?样片调焦机构，电机自动调；?承片台4个：f * mm 、2英寸、3英寸、4英寸；?掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；对准系统包括：?光源、 电源；? (略) 对准显微镜主体；?目镜3对（ * 倍、 * 倍、 * 倍，共6个）；?物镜3对（4倍、 * 倍、 * 倍，共6个）；?CCD对准系统， * 寸液晶显示器。电控系统包括：?单片机控制系统；?紫外LED电源模块；?控制柜桌。气动系统包括：?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；?电磁阀驱动；?气动仪表。其他附件：?真空泵 * 台（无油泵）；?空压机 * 台（静音泵）；?管道） | ||
| 质保及售后服务 | （1）紫外光刻机产品为全新产品，生产完成后包装运输至用户指定地点，并派出专业工程师负责免费上门安装与调试，将设备恢复到原有技术状态。（2） (略) 验收。 (略) 检验方法及检验报告、检验合格证，使用操作与维护说明书， (略) 验收。验收标准按合同 (略) ；（3） (略) 安装调试完成后，负责免费为客户操作人员提供产品操作技能与维护相关知识的专业培训，培训时间及人员据用户需求确定。（4）对 (略) * 年质保期和永久的跟踪维护服务。（5）设备技术响应时间在2小时内，现场技术支持响应时间在 * 小时内， * 小时内排除设备故障；（6）如产品在质保期内出现任何非人为的质量问题，我所将负责免费维修、更换。（7）质保期满后负责长期按 (略) 需配件，以保证设备的后期使用，发现问题 (略) 理排除，并免收维护工程技术人员劳务费用。 | ||
申购单号:CB 点击查看>>
申购主题:紫外单面光刻机
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后 * 天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 紫外单面光刻机 | 1.0 | |
| 品牌 | IOE | ||
| 型号 | URE- 点击查看>> L | ||
| 规格参数 | 1．技术参数?曝光面积：4英寸?曝光波长： * nm?分辨力：0.8mm-1mm?对准精度：±0. 8mm?掩模样片整体运动范围：X： * mm;Y: * mm?掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸?样片尺寸：直径f * mm-- f * mm(各种不规则片)?★厚度可适应0.1mm--6mm(最大可扩展为 * mm)?曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能?★ (略) 对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍，物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍，目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍?调平接触压力通过传感器保证重复?★数字设定对准间隙和曝光间隙?★具备压印模块接口，也具备接近模块接口?掩模相对 (略) 程：? X: ±5mm; Y: ±5mm;q:±6o?★最大焦厚： * mm（SU8胶，用户提供检测条件）? (略) 性：2.5 o?曝光能量密度：> * mW/cm2?单层曝光 * 键完成?采用球气浮自动找平?照明不均匀性： ￡2.5%（ f * mm范围）；?★曝光光源：紫外LED（进口）；2．外形尺寸：约 * mm（长）? * mm(宽) ? * mm（高）3．配置设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。（曝光头系统包括：?进口紫外LED光源模块；?LED光源整形模块；?XYZ光源位置调节台；?光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（ * 个透镜）、场镜组、反射镜组）；?冷却风扇。对准工件台包括：?掩模样片整体运动台；?掩模样片相对运动台；?转动台；?样片调平机构,自动完成；?基片抽拉式上下机构；?样片调焦机构，电机自动调；?承片台4个：f * mm 、2英寸、3英寸、4英寸；?掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；对准系统包括：?光源、 电源；? (略) 对准显微镜主体；?目镜3对（ * 倍、 * 倍、 * 倍，共6个）；?物镜3对（4倍、 * 倍、 * 倍，共6个）；?CCD对准系统， * 寸液晶显示器。电控系统包括：?单片机控制系统；?紫外LED电源模块；?控制柜桌。气动系统包括：?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；?电磁阀驱动；?气动仪表。其他附件：?真空泵 * 台（无油泵）；?空压机 * 台（静音泵）；?管道） | ||
| 质保及售后服务 | （1）紫外光刻机产品为全新产品，生产完成后包装运输至用户指定地点，并派出专业工程师负责免费上门安装与调试，将设备恢复到原有技术状态。（2） (略) 验收。 (略) 检验方法及检验报告、检验合格证，使用操作与维护说明书， (略) 验收。验收标准按合同 (略) ；（3） (略) 安装调试完成后，负责免费为客户操作人员提供产品操作技能与维护相关知识的专业培训，培训时间及人员据用户需求确定。（4）对 (略) * 年质保期和永久的跟踪维护服务。（5）设备技术响应时间在2小时内，现场技术支持响应时间在 * 小时内， * 小时内排除设备故障；（6）如产品在质保期内出现任何非人为的质量问题，我所将负责免费维修、更换。（7）质保期满后负责长期按 (略) 需配件，以保证设备的后期使用，发现问题 (略) 理排除，并免收维护工程技术人员劳务费用。 | ||
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