发布时间： 点击查看>> * : * : * 截止时间： 点击查看>> * : * : *
基本信息：
申购单号：CBCIGIT 点击查看>> 申购主题：衍射调制动态曝光装置 采购单位： (略) (略) 绿色智 (略) 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：发布竞价结果后 * 天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 市/市辖区/ (略) 区 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
1、竞价供应商需逐条响应设备要求的规格参数，应提供制造商公开发布的印刷资料（彩页或Datasheet）或检测机构出具的检测报告，若制造商公开发布的印刷资料与检测机构出具的检测报告不 * 致，以检测机构出具的检测报告为准。2、供应商需提交售后及技术支持服务方案。
申购明细：
序号
1
采购内容
衍射调制动态曝光装置
数量
1台
预算单价
品牌
无
型号
无
规格参数
1、有效曝光面积：大于 * mm* * mm； 2、光强范围：0.5mW/cm2~ * mW/cm2范围内可调； 3、光强调节精度：优于0.1mW； 4、曝光均匀性：6寸范围优于±1.5%，2寸内优于±0.5%； 5、X\Y方向运动精度及重复定位精度：优于 * nm； 6、X\ (略) 程：≥5mm； 7、X\Y运动直线度：5mm距离不大于 * nm； 8、X\Y运动速度：≥ * nm/s； 9、X\Y运动速度编程精度：优于 * nm/s； * 、X\Y运动时间量程：≥ * s； * 、X\Y运动时间控制精度：优于0.1s； * 、X\Y运动电机启停与光源曝光同步性：优于0.1s； * 、X\Y运 (略) 度：2mm范围优于1um，同时能检测； * 、 (略) 程：≥ * mm； * 、Z方向运动精度及重复定位精度：优于1um； * 、承片台吸附基片，需考虑基片形变问题（可考虑多孔抽真空吸附方式）； * 、可以高精度调平及分离； * 、Z方向编程控制精度：优于1um； * 、水平方向旋转范围±5°，旋转分辨率±0. * °； * 、承载台需按晶圆外形设计，具有4寸、6寸、8寸等多种规格； * 、掩模架需要配备5寸、7寸、8寸等多种种掩模架； * 、软件需具备功能包括：定时曝光、步进曝光、连续曝光 * 种模式； * 、具有对准显示、调平、调旋转功能； * 、曝光机工作台具有 * 定防震功能； * 、能够完成连续面型微纳结构光学元件的制备，面型精度优于PV * nm，表面粗糙度优于Ra 5nm。
质保及售后服务
按行业标准提供服务

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基本信息：
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签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：发布竞价结果后 * 天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 市/市辖区/ (略) 区 我要报价
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1、竞价供应商需逐条响应设备要求的规格参数，应提供制造商公开发布的印刷资料（彩页或Datasheet）或检测机构出具的检测报告，若制造商公开发布的印刷资料与检测机构出具的检测报告不 * 致，以检测机构出具的检测报告为准。2、供应商需提交售后及技术支持服务方案。
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1
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衍射调制动态曝光装置
数量
1台
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品牌
无
型号
无
规格参数
1、有效曝光面积：大于 * mm* * mm； 2、光强范围：0.5mW/cm2~ * mW/cm2范围内可调； 3、光强调节精度：优于0.1mW； 4、曝光均匀性：6寸范围优于±1.5%，2寸内优于±0.5%； 5、X\Y方向运动精度及重复定位精度：优于 * nm； 6、X\ (略) 程：≥5mm； 7、X\Y运动直线度：5mm距离不大于 * nm； 8、X\Y运动速度：≥ * nm/s； 9、X\Y运动速度编程精度：优于 * nm/s； * 、X\Y运动时间量程：≥ * s； * 、X\Y运动时间控制精度：优于0.1s； * 、X\Y运动电机启停与光源曝光同步性：优于0.1s； * 、X\Y运 (略) 度：2mm范围优于1um，同时能检测； * 、 (略) 程：≥ * mm； * 、Z方向运动精度及重复定位精度：优于1um； * 、承片台吸附基片，需考虑基片形变问题（可考虑多孔抽真空吸附方式）； * 、可以高精度调平及分离； * 、Z方向编程控制精度：优于1um； * 、水平方向旋转范围±5°，旋转分辨率±0. * °； * 、承载台需按晶圆外形设计，具有4寸、6寸、8寸等多种规格； * 、掩模架需要配备5寸、7寸、8寸等多种种掩模架； * 、软件需具备功能包括：定时曝光、步进曝光、连续曝光 * 种模式； * 、具有对准显示、调平、调旋转功能； * 、曝光机工作台具有 * 定防震功能； * 、能够完成连续面型微纳结构光学元件的制备，面型精度优于PV * nm，表面粗糙度优于Ra 5nm。
质保及售后服务
按行业标准提供服务