江苏大学-竞价公告(CB102992021000584)
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江苏大学-竞价公告(CB102992021000584)
申购单号:CB 点击查看>>
申购主题:加热型原子层沉积系统
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算: 点击查看>> .0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款 * %，1年之后付剩下 * %货款。
备注说明:进口设备请务必填写原产地，否则视为无效报价。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 加热型原子层沉积系统 | 1.0 | 套 点击查看>> .0 |
| 品牌 | 加热型原子层沉积系统 | ||
| 型号 | TALD- * R | ||
| 规格参数 | * 、腔体及样品台1.1 标准6英寸样品台+2个定制腔体，可放置最大直径 * mm，高 * mm的样品；1.2 样品加热采用真空内铠装加热盘，样品台能够加热到 * ℃，温度控制精度±0.5℃；.1.3 腔室配置外加热装置，最高加热温度 * ℃，温度控制精度为±1℃，1.4 腔室及真空抽气管路的连接采用耐温橡胶圈密封，真空漏率小于5E-7Pa.L/s；； * 、前驱体源管路结构及加热控制2.1 标准加热液态前驱体源系统2路，适用于饱和蒸气压较高的液态前驱体源。加热源装置及输运管路的最高加热温度可达到 * ℃，温度控制精度为±0.5℃，其到反应腔的管路系统配置保温隔热功能；每路加热源均配备1个Swagelok快速高温ALD专用阀门、1个高温手动阀和1个 * mL不锈钢源瓶；标准加热液态前驱体源系统最大可升级至4路；2.2 常温液态源1路，配备Swagelok快速ALD阀、手动密封阀和 * ml玻璃水源瓶；2.3 前驱体源系统配置独立的惰性气体吹扫管路，采用2条独立的吹扫管路分别从2个独立的进口进入到反应腔室；每路惰性气体吹扫管路配置独立的吹扫流量计和气动截止阀门，惰性气体气体吹扫流量采用进口数字式质量流量计控制，控制精度为±1%；2.4 工艺气体管路均采用EP级电抛光不锈钢材料；所有气 (略) 件均采用金属VCR密封；2.5 前驱体源系统在更换源料瓶后，管路及其与之相联接的管路和阀门具有在线清功能； * 、真空系统及加热控制3.1 配置高性能真空泵，抽速＞5E-3Torr；3.2 配置数字式压力传感器，检测范围为：1E-5Torr-大气压；3.3 配置有防止真空计污染 (略) 以及气动隔膜阀，延长真空计的使用寿命；3.4 抽气管路配置热阱，热阱的最高加热温度能够达到 * ℃，温度控制精度为±1℃；3.5 排气管路加热温度室温~ * ℃可控，配置截止阀 * 个，加热温度室温~ * ℃可控； * 、控制及软件系统4.1 软件控制系统为PLC+工控机+触摸屏；4.2 软件系统能对能对 (略) 控制， (略) ；4.3 操作系统有互锁报警何状态监控； * 、验收设备到货后，按照 (略) 验收：以 * * 基铝和水为前驱体，供方提供氧化铝沉积标准工艺配方，在6英寸晶圆上沉积 * 循环氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心5点，每两点间距不小于 * 毫米）进行椭偏仪膜厚测试，6英寸晶圆上薄膜厚度标准偏差≤±1%为合格。 | ||
| 质保及售后服务 | * .技术服务和培训 6.1卖方须为 (略) 免费安装、调试设备，进行操作试验， (略) 正常，为仪器操作人员提 (略) 免费的操作及维护培训 6.2整机保修 * 年。 ※参与投标的代理商需要 (略) 的售后服务承诺书，否则视为无效投标。 | ||
申购单号:CB 点击查看>>
申购主题:加热型原子层沉积系统
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算: 点击查看>> .0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款 * %，1年之后付剩下 * %货款。
备注说明:进口设备请务必填写原产地，否则视为无效报价。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 加热型原子层沉积系统 | 1.0 | 套 点击查看>> .0 |
| 品牌 | 加热型原子层沉积系统 | ||
| 型号 | TALD- * R | ||
| 规格参数 | * 、腔体及样品台1.1 标准6英寸样品台+2个定制腔体，可放置最大直径 * mm，高 * mm的样品；1.2 样品加热采用真空内铠装加热盘，样品台能够加热到 * ℃，温度控制精度±0.5℃；.1.3 腔室配置外加热装置，最高加热温度 * ℃，温度控制精度为±1℃，1.4 腔室及真空抽气管路的连接采用耐温橡胶圈密封，真空漏率小于5E-7Pa.L/s；； * 、前驱体源管路结构及加热控制2.1 标准加热液态前驱体源系统2路，适用于饱和蒸气压较高的液态前驱体源。加热源装置及输运管路的最高加热温度可达到 * ℃，温度控制精度为±0.5℃，其到反应腔的管路系统配置保温隔热功能；每路加热源均配备1个Swagelok快速高温ALD专用阀门、1个高温手动阀和1个 * mL不锈钢源瓶；标准加热液态前驱体源系统最大可升级至4路；2.2 常温液态源1路，配备Swagelok快速ALD阀、手动密封阀和 * ml玻璃水源瓶；2.3 前驱体源系统配置独立的惰性气体吹扫管路，采用2条独立的吹扫管路分别从2个独立的进口进入到反应腔室；每路惰性气体吹扫管路配置独立的吹扫流量计和气动截止阀门，惰性气体气体吹扫流量采用进口数字式质量流量计控制，控制精度为±1%；2.4 工艺气体管路均采用EP级电抛光不锈钢材料；所有气 (略) 件均采用金属VCR密封；2.5 前驱体源系统在更换源料瓶后，管路及其与之相联接的管路和阀门具有在线清功能； * 、真空系统及加热控制3.1 配置高性能真空泵，抽速＞5E-3Torr；3.2 配置数字式压力传感器，检测范围为：1E-5Torr-大气压；3.3 配置有防止真空计污染 (略) 以及气动隔膜阀，延长真空计的使用寿命；3.4 抽气管路配置热阱，热阱的最高加热温度能够达到 * ℃，温度控制精度为±1℃；3.5 排气管路加热温度室温~ * ℃可控，配置截止阀 * 个，加热温度室温~ * ℃可控； * 、控制及软件系统4.1 软件控制系统为PLC+工控机+触摸屏；4.2 软件系统能对能对 (略) 控制， (略) ；4.3 操作系统有互锁报警何状态监控； * 、验收设备到货后，按照 (略) 验收：以 * * 基铝和水为前驱体，供方提供氧化铝沉积标准工艺配方，在6英寸晶圆上沉积 * 循环氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心5点，每两点间距不小于 * 毫米）进行椭偏仪膜厚测试，6英寸晶圆上薄膜厚度标准偏差≤±1%为合格。 | ||
| 质保及售后服务 | * .技术服务和培训 6.1卖方须为 (略) 免费安装、调试设备，进行操作试验， (略) 正常，为仪器操作人员提 (略) 免费的操作及维护培训 6.2整机保修 * 年。 ※参与投标的代理商需要 (略) 的售后服务承诺书，否则视为无效投标。 | ||
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