中山大学微电子科学与技术学院真空蒸镀设备采购项目

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中山大学微电子科学与技术学院真空蒸镀设备采购项目



基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) 微电子 (略) 真空蒸镀设备采购项目
项目类型货物采购 申购主题真空蒸镀设备采购单位 (略)
项目预算采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人李老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 省 (略) 市 (略) (略) 校区红楼 * 栋
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、 (略) 不收取任何费用。 4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
真空蒸镀设备1台 【普迪】 【科诚】 【泰科诺】详情请进入系统查看
"真空蒸镀设备"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 培训要求：1、设备安装完成后，由专业应用技 (略) 产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、 (略) 理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少3名操作人员 (略) 分机器故障，熟练使用设备为止；2、 (略) 家需提供免费技术支持电话，解答用户问 (略) 维护服务；3、 (略) (略) 安装调试服务，提供详细技术资料并免 (略) 培训，培训的内容及方案应由双方协商制定，确保本单位的技术人员能够熟练掌握该设备的使用方法。 重要 否
2 真空系统-高真空泵： 脂润滑分子泵，抽速不小于 * L/S； 非常重要 是
3 极限真空：优于 5E-7 torr； 重要 否
4 ★抽速测试：从大气抽到工作真空（5E-6 torr） 时间少于 * 分钟（干燥环境下） ； 非常重要 是
5 系统漏率：≤2x * -7 Pa.l/S (以氦质谱检漏仪测试指标考核） ；系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压 * 小时后真空度小于 * Pa; 基片加热：衬底最高加热温度 * ℃, 控温精度小于±3 ℃，具备等离子清洗功能； 重要 否
6 溅射尺寸：直径6英寸大工件台，兼容4英寸、2英寸、Φ * mm、Φ * mm， 以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～ * rpm连续可调，旋转轴水冷保护，转轴磁流体密封；成膜质量：直径4英寸范围内均匀性优于±5%； 非常重要 是
7 系统溅射真空度在1E-4 torr，溅射成膜致密，能溅射超薄氧化物膜层。 重要 否
8 真空室：优质 * 不锈钢真空室，尺寸约为 * mm（宽）x * mm（深）x * mm（高）， (略) (略) 理； (略) (略) 有备用法兰接口以备将来使用；可拆卸不锈钢内衬； 手拧拆卸方便清理；设备带支撑地脚和滚轮； 重要 否
9 真空室：系统配备自动进样室可 * 次传递4-6寸硅片 * 片 重要 否
* 真空系统-高阀： 8寸电动插板阀 * 套； 机械泵：抽速不低于9L/S；真空测量：全真空全量程真空计；真空密封： 采用无氧铜密封，门胶圈采用氟胶圈密封；电控气动粗抽阀，放气阀； 重要 否
* 真空系统-气体控制：2条进气路，预留 * 路通道备用， 采用流量计控制进气， 流量计最大流量分别不小于 点击查看>> sccm，2路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光EP管及VCR接头，混合后导入真空室前方进气； 重要 否
* 溅射系统-直流电源1台： 不小于 * W的直流电源，功率输出：单输出 0~ * W，最大可输出到 * W；模式： 功率调节、 电流调节或电压调节；显示精度：小于最大输出值的 2%；多级弧抑制及灭弧；射频电源1台：不小于 * W的射频电源, 自动匹配，频率: * . * MHz, 误差不超过± 0. * %，最大输出功率(W): * W，最小输出功率(W):2W，反射功率极限(W): 小于 * W；溅射靶枪：4个3英寸圆形靶枪共焦向下溅射，靶枪和工件距离 * - * mm可调节，溅射靶角度精确可调，靶枪倾斜角度可调节（0- * 度），每个靶枪带 * 个独立的电控气动挡板，配备自动切换器各靶可独立/顺次/共同工作； 非常重要 是
* 溅射系统-进样室：1个自动进样室，尺寸长宽高约为 * mm * mm * mm，配备电动自动搬运机械手 * 套，配备机械泵 * 套，配备阀门 * 套，配备真空计 * 套，配备自动门阀 * 套联通镀膜室； 重要 否
* 操作系统：PLC+电脑人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面；控制内容： 机械泵， 分子泵， 气动、 电磁阀门、 流量计、 真空计等等； 自动抽真空，自动排气等；具有完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下， (略) 于完整互锁保护下，保障人员和设备安全； 重要 否
* 附件参数：1.静音空压机：提供干燥、 干净、 无水、 无油的压缩空气，压力0. * -0.6MPA；2.电脑与显示屏：CPU型号Intel i5系列，内存类型DDR4，容量和频率 * G * MHz，新卡芯片型号GMA HD * ，主机接口类型和数量 * ×USB(含2.0，3.1)，视频接口类型和数量1×VGA，2×DP。硬盘参数 * G SSD，显示器的规格和分辨率: * .5英寸（宽屏 * ：9），分辨率不低于 * ，VGA接口×1。； 重要 否
* 软件及其功能：配套控制软件，实现手自动控制系统，具备图形可视化操作界面，控制真空系统和镀膜系统 重要 否
* 配置清单：1.分子泵， 1台2.高真空阀， 1套3.机械泵， 1台4.全量程真空计， 1套5.小阀门 电控气动阀， 2个6.气体质量流量计 点击查看>> sccm， 2个7.直流电源 最大输出功率可到 * W， 1套8.自动匹配射频电源1台，最大输出功率可到 * W，频率 * . * MHz，1套9.磁控靶枪 3inch， 4只 * .PLC+电脑人机界面手自动控制系统完善的逻辑程序互锁保护系统， 1套 * .恒压控制系统 含进口薄膜规及自动调压阀，1套 * .静音空压机小型， 1台 * .电脑与显示器，1套 重要 否
* 售后服务要求：1、供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作；2、收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天 (略) 进行设备的安装和调试；3、保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在 * 小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；4、每年至少提供 * 次免费上门检修服务。 重要 否




基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) 微电子 (略) 真空蒸镀设备采购项目
项目类型货物采购 申购主题真空蒸镀设备采购单位 (略)
项目预算采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人李老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 省 (略) 市 (略) (略) 校区红楼 * 栋
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、 (略) 不收取任何费用。 4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
真空蒸镀设备1台 【普迪】 【科诚】 【泰科诺】详情请进入系统查看
"真空蒸镀设备"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 培训要求：1、设备安装完成后，由专业应用技 (略) 产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、 (略) 理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少3名操作人员 (略) 分机器故障，熟练使用设备为止；2、 (略) 家需提供免费技术支持电话，解答用户问 (略) 维护服务；3、 (略) (略) 安装调试服务，提供详细技术资料并免 (略) 培训，培训的内容及方案应由双方协商制定，确保本单位的技术人员能够熟练掌握该设备的使用方法。 重要 否
2 真空系统-高真空泵： 脂润滑分子泵，抽速不小于 * L/S； 非常重要 是
3 极限真空：优于 5E-7 torr； 重要 否
4 ★抽速测试：从大气抽到工作真空（5E-6 torr） 时间少于 * 分钟（干燥环境下） ； 非常重要 是
5 系统漏率：≤2x * -7 Pa.l/S (以氦质谱检漏仪测试指标考核） ；系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压 * 小时后真空度小于 * Pa; 基片加热：衬底最高加热温度 * ℃, 控温精度小于±3 ℃，具备等离子清洗功能； 重要 否
6 溅射尺寸：直径6英寸大工件台，兼容4英寸、2英寸、Φ * mm、Φ * mm， 以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～ * rpm连续可调，旋转轴水冷保护，转轴磁流体密封；成膜质量：直径4英寸范围内均匀性优于±5%； 非常重要 是
7 系统溅射真空度在1E-4 torr，溅射成膜致密，能溅射超薄氧化物膜层。 重要 否
8 真空室：优质 * 不锈钢真空室，尺寸约为 * mm（宽）x * mm（深）x * mm（高）， (略) (略) 理； (略) (略) 有备用法兰接口以备将来使用；可拆卸不锈钢内衬； 手拧拆卸方便清理；设备带支撑地脚和滚轮； 重要 否
9 真空室：系统配备自动进样室可 * 次传递4-6寸硅片 * 片 重要 否
* 真空系统-高阀： 8寸电动插板阀 * 套； 机械泵：抽速不低于9L/S；真空测量：全真空全量程真空计；真空密封： 采用无氧铜密封，门胶圈采用氟胶圈密封；电控气动粗抽阀，放气阀； 重要 否
* 真空系统-气体控制：2条进气路，预留 * 路通道备用， 采用流量计控制进气， 流量计最大流量分别不小于 点击查看>> sccm，2路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光EP管及VCR接头，混合后导入真空室前方进气； 重要 否
* 溅射系统-直流电源1台： 不小于 * W的直流电源，功率输出：单输出 0~ * W，最大可输出到 * W；模式： 功率调节、 电流调节或电压调节；显示精度：小于最大输出值的 2%；多级弧抑制及灭弧；射频电源1台：不小于 * W的射频电源, 自动匹配，频率: * . * MHz, 误差不超过± 0. * %，最大输出功率(W): * W，最小输出功率(W):2W，反射功率极限(W): 小于 * W；溅射靶枪：4个3英寸圆形靶枪共焦向下溅射，靶枪和工件距离 * - * mm可调节，溅射靶角度精确可调，靶枪倾斜角度可调节（0- * 度），每个靶枪带 * 个独立的电控气动挡板，配备自动切换器各靶可独立/顺次/共同工作； 非常重要 是
* 溅射系统-进样室：1个自动进样室，尺寸长宽高约为 * mm * mm * mm，配备电动自动搬运机械手 * 套，配备机械泵 * 套，配备阀门 * 套，配备真空计 * 套，配备自动门阀 * 套联通镀膜室； 重要 否
* 操作系统：PLC+电脑人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面；控制内容： 机械泵， 分子泵， 气动、 电磁阀门、 流量计、 真空计等等； 自动抽真空，自动排气等；具有完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下， (略) 于完整互锁保护下，保障人员和设备安全； 重要 否
* 附件参数：1.静音空压机：提供干燥、 干净、 无水、 无油的压缩空气，压力0. * -0.6MPA；2.电脑与显示屏：CPU型号Intel i5系列，内存类型DDR4，容量和频率 * G * MHz，新卡芯片型号GMA HD * ，主机接口类型和数量 * ×USB(含2.0，3.1)，视频接口类型和数量1×VGA，2×DP。硬盘参数 * G SSD，显示器的规格和分辨率: * .5英寸（宽屏 * ：9），分辨率不低于 * ，VGA接口×1。； 重要 否
* 软件及其功能：配套控制软件，实现手自动控制系统，具备图形可视化操作界面，控制真空系统和镀膜系统 重要 否
* 配置清单：1.分子泵， 1台2.高真空阀， 1套3.机械泵， 1台4.全量程真空计， 1套5.小阀门 电控气动阀， 2个6.气体质量流量计 点击查看>> sccm， 2个7.直流电源 最大输出功率可到 * W， 1套8.自动匹配射频电源1台，最大输出功率可到 * W，频率 * . * MHz，1套9.磁控靶枪 3inch， 4只 * .PLC+电脑人机界面手自动控制系统完善的逻辑程序互锁保护系统， 1套 * .恒压控制系统 含进口薄膜规及自动调压阀，1套 * .静音空压机小型， 1台 * .电脑与显示器，1套 重要 否
* 售后服务要求：1、供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作；2、收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天 (略) 进行设备的安装和调试；3、保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在 * 小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；4、每年至少提供 * 次免费上门检修服务。 重要 否


    
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