| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 | | 1 | * 、半自动气柜基本配置及技术要求：本项目需用到氢气和氨气两种特种气体，因氢气有可燃性，氨气有毒腐性，为安全使用两种气体，在氢气和氨气互不反应的前提下，氢气+氨气共用 * 个气柜，半自动气柜为双瓶柜体，气瓶柜配备左右两侧减压阀各两级减压阀、高压保压和低压吹扫单元、抽真空单元、出口0. * 微米过滤器、左右两侧紧急关断阀门、高压侧压力开关（PSG）、独立抽风、消防喷淋头、火焰探测器等必要的组件。另外氨气钢瓶需配备的钢瓶称技术要求：1）自动切断，手动吹扫，出现安全隐患可自动切断，减少操作人员和危险因素的接触；2）半自动气柜的气动阀 (略) 控制，不会因停电而导致设备的故障中断；3）气柜具体配置高品质的系统组件，具体参数如下：A．单向阀：防止特气倒灌入清洁用的高纯氮气和抽气用的氮气管路；B．调压阀：用于调节并控制供应气体压力，达到用气压力需求；C．压力传输器：将被测压力转换为电信号输出，可通过输出值判断管路是否泄漏既相关阀门是否可安全的开启，在 * 定程度上也可判断钢瓶的气体余量；D．真空发生器：利用氮气快速流动产生吸引的负压，将管路中的气体带出；E．气柜含抽气装置、高温检测、火焰探测器、排风报警、现场与远程的紧急关断开关、管路高压泄露测试设计等防护设计。如氢气具有可燃性， (略) 的高温探头检测温度超过 * ℃时，消防喷淋头开始洒水，若气体发生泄漏，气体侦测系统侦测后 (略) 安全防护；具体参数详见“阀门及仪表材质技术指标”4）气柜柜体为符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗的抽风外壳，外壳钢板厚度不应小于2.5mm，并有防腐蚀涂层；柜门须具有自动关闭，上锁的功能。5）在钢瓶接头附近的管线应设有垫片过滤器以去除更换钢瓶时可能产生的金属颗粒，承包方应于投标技术服务书提出上述过滤孔径。6）每 * 钢瓶应有远程遥控启动紧急停机开关，在灾害发生时钢瓶被自动关闭；7）系统发生警告/切断状况至少包含以下的情况：a.气体过流量时；b.低压或排风系统失效时；c.电力失效时；d.侦测到气体泄漏时；e.气柜测到火警时；8） (略) 有弯头采用成品迷你弯头。 | 非常重要 | 是 | | 2 | * 、气瓶架基本配置及技术要求：1） * 氟化碳+ * 氟化硫共用 * 台气瓶架；每个气体气路需配置高压侧压力表+垫片过滤器+手动膜阀+ * 级调压阀+低压侧压力表+0. * 微米过滤器，另需配置高压排气阀门；设备管阀件尺寸为1/4”；其中 * 氟化硫需配备钢瓶称；2） * 氟 * 烷+ * 氟环 * 烷共用 * 台气瓶架；每个气体气路需配置高压侧压力表+垫片过滤器+手动膜阀+ * 级调压阀+低压侧压力表+0. * 微米过滤器，另需配置高压排气阀门；设备管阀件尺寸为1/4”； * 氟 * 烷和 * 氟环 * 烷都需配备钢瓶称；3）高纯氮气+氦气共用 * 台气瓶架；每个气体气路需配置高压侧压力表+垫片过滤器+手动膜阀+ * 级调压阀+低压侧压力表+0. * 微米过滤器，另需配置高压排气阀门；设备管阀件尺寸为1/4”； 4）氧气+氩气共用 * 台气瓶架；每个气体气路需配置高压侧压力表+垫片过滤器+手动膜阀+ * 级调压阀+压力表+低压侧压力表+0. * 微米过滤器，另需配置高压排气阀门；设备管阀件尺寸为1/4”；5）氧/氮混气为单瓶气瓶架；需配置高压侧压力表+垫片过滤器+手动膜阀+ * 级调压阀+压力表+ * 级调压阀+低压侧压力表+0. * 微米过滤器，另需配置高压排气阀门；设备管阀件尺寸为1/4”；6）H/LPN2单瓶气瓶架；低压侧支路需配置高压侧压力表+垫片过滤器+手动膜阀+调压阀+低压侧压力表+0. * 微米过滤器；高压侧支路需配置高压侧压力表+垫片过滤器+手动膜阀+调压阀+低压侧压力表；另需配置高压排气阀门；设备管阀件尺寸为1/4”。7） (略) 有弯头采用成品迷你弯头。具体参数详见“阀门及仪表材质技术指标”。 | 重要 | 否 | | 3 | * 、手动阀门分流箱基本配置及技术要求：1）采用符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗，安全金属钢板抽风外壳，壳钢板厚度不应小于2.5mm，并有防腐蚀涂层。具有自动关闭门、抽风外壳、上锁等功能。2）阀门分配箱根据工艺设备需求，本次氢气和氨气 * 级减压共用 * 个箱体；氨气设计2条 * 次配支路，氢气设计3条 * 次配支路。3）阀门分配箱各支路配置：主管配置手动阀+压力表；支管配置手动阀门+ * 级减压阀+压力表+手动阀 ；吹扫管路配置手动阀+单向阀+压力表+各支路手动隔离阀。4）氢气和氨气选用不锈钢 * L (略) 理超净管；管材、阀门与组件均采用SS * L (略) 理。5）管路非焊接接口采用VCR连接，焊接接口采用自动轨道焊接方式。6） (略) 有弯头采用成品迷你弯头。具体参数详见“阀门及仪表材质技术指标”。 | 重要 | 否 | | 4 | * 、阀门及仪表材质技术指标：1、隔膜阀：阀体材质：不锈钢 * L，制动器材质：铝合金，膜片材质：镍钴合金，耐用性（开闭回数）：最高使用压力 1Mpa；2、单向阀：材质：不锈钢 * L，最大工作压力：真空至 * psi；3、调压阀：材质：不锈钢 * L VAR 或超级合金结构， * Ra max/ * Ra max，调压范围可根据用户需求调节；4、压力表： (略) 理（ (略) 理），VCR连接方式，实时显示管路压力状况。 | 重要 | 否 | | 5 | * 、气体侦测系统技术指标：气体侦测系统主要有气体泄露侦测器，PLC控制柜，监控电脑或触摸屏，声光报警系统，紧急 (略) 分组成。气体 (略) 络或4- * mA型号将侦测点状态实时提交给PLC，PLC根据预先设定程序控制声光报警及气柜等设备。同时，在紧急状况发生时，操作人可通过操作紧急切断开关，执行应急操作。监控端远程实时显示各气体泄漏侦测点状态、气体泄漏报警状况、侦测设备工作状况报警。监控端远程设置各气体泄漏报警分为 * 级报警、 * 级报警两个等级； (略) 状态显示各侦测点报警历史；气体设备远程控制支持1）实时输送气体泄漏报警信号给GDS，实现远程自动关断；2）通过操作紧急切断开关，执行应急操作。侦测器报警值的设定，警报分为两种等级： * 级报警值氨气： * .5 ppm（ * 定时间内气体浓度），氢气： * ppm（ * 定时间内气体浓度），氧气： * .5% vol（体积比）； * 级报警氨气： * ppm（ * 定时间内气体浓度），氢气： * ppm（ * 定时间内气体浓度），氧气： * .5% vol（体积比）。与报警灯，消防，广播联动：气体泄露值超过设定值 * 级报警值，系统发出警告，报警灯黄灯闪烁，不停设备；气泄露值超过设定值 * 级报警值，系统发出警告，报警灯红灯闪烁并蜂呜，启动疏散广播，切断气源，并发出相应的停机指令。警报声响指示以分区（环境与机台）动作为原则，全区鸣响。 | 非常重要 | 否 | | 6 | * 、设备、气体系统材料参考品牌（仅供参考）：1、可编程逻辑控制器：西门子、欧姆龙、AB；2、调压阀：Rotarex、Tescom、Aptech；3、隔膜阀：Fujikin、KITZ、TKF；4、单向阀：JSK、Swagelok；5、过滤器：Entegris、Swagelok、Pall；6、管道：Valex、Kuze、JX；7、侦测器：Honeywell、理研；8、压力表：WIKA、NKS；9、自控模块：西门子、AB、欧姆龙。 | 重要 | 否 | | 7 | 十、配置要求：1、氢气系统：氨气+氢气气柜1台，氨气+氢气阀门分流箱1台，1/4’’不锈钢 * (略) 理管道 * 米，管件1套；2、氨气系统： 1/4’’不锈钢 * (略) 理管道 * 米，管件1套；3、氮气系统：1/2’’阀门组 1套，1/4’’阀门组3套，3/4’’球阀 6个，1/2’’球阀3个，1/4’’球阀 * 个，流量计1个，3/4’’SS * L BA管道 * 米，1/2’’ 不锈钢 * L BA管道 * 米，1/4’’不锈钢 * LBA管道 * 米，管件1 套；4、 * 氟化碳系统： CF4+SF6 GR1台，1/4’’VS 1套，1/4’’不锈钢 * L (略) 理管道 * 米，管件 1套；5、 * 氟化硫系统：1/4’’不锈钢 * L (略) 理管道 * 米，管件 1套；6、 * 氟 * 烷系统： * 氟 * 烷+ * 氟环 * 烷 气架1台，1/4’’不锈钢 * (略) 理管道 * 米，管件1套；7、 * 氟环 * 烷系统：1/4’’SS * (略) 理管道 * 米，管件1套；8、氦气系统：氦气+高纯氮气气架 1台，1/4’’阀门组 1套，1/4’’不锈钢 * L (略) 理管道 * 米，管件1套；9、高纯氮气系统：1/4’’阀门组 1套，1/4’’隔膜阀2个，1/4’’不锈钢 * (略) 理管道 * 米，管件1套； * 、氧气系统：氧气+氩气气架1台，1/4’’阀门组3套，1/4’’隔膜阀2个，1/4’’SS * (略) 理管道 * 米，管件1套； * 、氩气系统：1/4’’阀门组3套，1/4’’隔膜阀2个，1/4’’不锈钢 * (略) 理管道 * 米，管件1套； * 、氮/氧混气系统：气架1台，1/4’’阀门组 * 套，1/4’不锈钢 * L (略) 理管道 * 米，管件1套； * 、吹扫系统：高低压高纯氮气 气架1台及供气管道 * 套； * 、GDS系统：氧气侦测器4个，氢气侦测器6个，氨气侦测器3个；线缆1套，GDS控制系统1套，声光报警5个。 | 重要 | 否 | | 8 | 十 * 、 * 项检测合格标准：管道系统安装完毕后，除氮气系统仅做保压，其余气体系统做 * 项检测，检测结果供检查合格后再交付使用； * 项检测合格标准： 管路吹扫流程：将管道中阀门打开，后端有取样点，前段接入高纯氮气/高纯氩气不断吹扫，直至达到 * 项检测要求后停止；气柜、阀门分配箱吹扫流程：钢瓶出口阀门、设备工艺气体 (略) 关闭，吹扫 (略) 打开，吹扫氮气进入管道，同时真空发生器利用气源产生的负压带走管路中的吹扫过后的气体； * 项检测合格标准：氦检漏测试 : ≤ 1 x * -9 mbar（压力单位）. Liter（升）/sec（秒）；保压测试: 0% after * hour(去除温度影响)；不纯物分析测试: O2 ≤ * ppb；不纯物分析测试:H2O ≤ * ppb；颗粒:≤1 Pcs/scf > 0.1um。提供最终检测报告。 | 非常重要 | 否 | | 9 | 十 * 、安装结束后需移交如下文件：为保证安装质量，供应商需承诺设备安装结束后提供：1、项目安装图纸、图纸清单、安装图纸；2、系统技术规格：系统测试规格表、管道材料规格表；3、测试报告：氦检漏测试: ≤1 x * -9 mbar（压力单位）. Liter（升）/sec（秒）.，保压测试: 0% after * hour(去除温度影响)，不纯物分析测试: O2 ≤ * ppb，不纯物分析测试:H2O ≤ * ppb，颗粒:≤1 Pcs/scf > 0.1um，提供最终检测报告。管线检查及吹扫记录、焊接安装记录4、调试报告：气柜调试检查表、阀门分流箱调试检查表、GDS调试检查表；5、质量文件：气体 (略) 质量文件、气柜质量文件、阀门分流箱质量文件、过滤器质量文件；6、MSDS材料安全数据表：材料安全数据表；7、其它：操作培训及签到考核、工程联系单。 | 非常重要 | 否 | | * | 十 * 、售后服务要求：免费保修期内发生故障，保修承担方应在收到客户通知后1小时内远程电话技术指导，1小时内响应， (略) ，小故障8小时内、大故障 * 小时内维修完毕。质保期内为达成工程目标而发生的维护和整改费用等均由承包人承担；保修期内每两年 (略) 维护保养检测，提供保养维护报告或者记录。发生紧急抢修事故的，在接到事故通知后，公司将 * 小时内组织专业人员 (略) 抢修。保修期结束后，提 (略) 及联合开发等相关服务， * 小时电话 (略) 服务，包含3次简单的设备 * 次配服务（含气柜，阀门分流箱维护）。要求合同签订后 * 天内供货安装完毕。 | 非常重要 | 否 | | * | 十 * 、设备使用培训要求：为用户安排培训，培训内容至少包含：1、气体的性质和危害；2、气体钢瓶的分类、存储、搬运和使用。3、 (略) 件的工作原理及其使用方法。4、设备/系统流程图：培训至使用用户能够绘制出设备和系统的流程图。5、设备操作、换瓶操作、 (略) 理及注意事项。6、设备/系统日常基本维护：日常巡检内容、定期检查项、定期更换耗材等。7、气体系统的应急反应：基本的应急反应，推动建立应急反应机制。 | 重要 | 否 | | * | * 、主机参数：本实验室中的原子层沉积设备、等离子刻蚀机和镀膜机机台需用到高纯氮气、氨气、氧气、氢气等高纯气体，因高纯气体介质的纯度、输送的稳定性、流量等会直接影响到实验的结果、良率等方面，因此实验室配套高纯特种气体供应及侦测系统，为安全有效的使用这些高纯气体，根据气体的性质，流量以及使用环境等参数，将分别需要特气柜，气瓶架，阀门分流箱，阀门分流盘中的 * 种或多种设备；氢气系统：自气柜出口经阀门分流箱至工艺设备用点；氨气系统：自气柜出口经阀门分流箱至工艺设备用点；氮气系统： (略) 预留阀出口至各区域后经阀门组调压后至工艺设备用点； * 氟化碳系统：自气架出口经阀门组调压后至工艺设备用点； * 氟化硫系统：自气架出口至工艺设备用点； * 氟 * 烷系统：自气架出口至工艺设备用点； * 氟环 * 烷系统：自气架出口至工艺设备用点；氦气系统：自气架出口经阀门组调压后至工艺设备用点；高纯氮气系统：自气架出口经阀门组调压后至工艺设备用点。高纯氮气系统：自气架出口经阀门组调压后至工艺设备用点；氧气系统：自气架出口经阀门组调压后至工艺设备用点；氩气系统：自气架出口经阀门组调压后至工艺设备用点；氮/氧混气系统：自气架出口经阀门组调压后至工艺设备用点。 | 非常重要 | 否 | | * | * 、设备配置及数量要求：1、气体设备：1.1氢气+氨气柜，规格为半自动系统，可装1+1钢瓶，数量为1SET；1.2手动双瓶气架-- * 氟化碳+ * 氟化硫，规格为手动系统，可装1+1钢瓶,自吹扫，数量为1SET；1.3手动双瓶气架-- * 氟 * 烷+ * 氟环 * 烷，规格为手动系统，可装1+1钢瓶，自吹扫，数量为1SET；1.4手动双瓶气架--高纯氮气+氦气，规格为手动系统，可装1+1钢瓶，自吹扫，数量为1SET；1.5手动双瓶气架--氧气+氩气，规格为手动系统，可装 1+1钢瓶，自吹扫，数量为1SET；1.6氧/氮混气气瓶架，规格为手动系统，可装单瓶，2）自吹扫，数量为1SET；1.7手动单瓶气架--高低压氮气，规格为手动系统，可装单瓶，数量为1SET。2、分流控制箱/盘：2.1手动阀门分流箱--氢气+氨气，规格为手动系统，1）支持1/4"X1/4"，3支路，2）配置吹扫，文丘里及尾气排放，数量为1SET。3、系统组件与设备：3.1氧气报警器--非防爆型，规格为电化学式，数量为4SET；3.2氢气报警器--非防爆型，规格为电化学式，数量为6SET；3.3氨气报警器--非防爆型，规格为电化学式，数量为3SET；3.4GSCS- * 气体监控控制箱，数量为1SET；3.5声光报警，数量为5SET；3.6紧急开关，数量为1SET.4、其他设备：4.1氮气系统:4.1.1球阀3/4"，规格为不锈钢 * L,低压，数量为6PCS；4.1.2球阀1/2"，规格为不锈钢 * L,低压，数量为3PCS；4.1.3球阀1/4"，规格为不锈钢 * L,低压，数量为 * PCS；4.1.4阀门组 1/2"，规格为不锈钢 * L,调压阀(带压力表)+球阀，数量为1PCS；4.1.4阀门组 1/4"，规格为不锈钢 * L,调压阀(带压力表)+球阀，数量为3PCS；4.1.5流量计，规格为DN * 法兰连接,本地显示累计和实时流量，流量 * 立方/小时，数量为1PCS。4.2 * 氟化碳系统：4.2.1阀门组 1/4"，规格为不锈钢调压阀(带压力表)+隔膜阀,数量为1SET。4.3高纯氮气系统：4.3.1阀门组 1/4"，规格为不锈钢调压阀(带压力表)+隔膜阀,,数量为1SET；4.3.2膜阀1/4“，规格为低压，数量为2SET.4.4氧气系统:4.4.1阀门组 1/4"，规格为不锈钢调压阀(带压力表)+隔膜阀,数量为3SET；4.4.2膜阀1/4“，规格为低压,数量为2SET。4.5氩气系统：4.5.1阀门组 1/4"，规格为不锈钢调压阀(带压力表)+隔膜阀,数量为3SET；4.5.2膜阀1/4“，规格为低压,数量为2SET。4.6氦气系统:4.6.1阀门组 1/4"，规格为不锈钢调压阀(带压力表)+隔膜阀,数量为1SET。4.7氧/氮混气系统:4.7.1阀门组 1/4"，规格为不锈钢调压阀(带压力表)+隔膜阀,数量为1SET。4.8系统(GN2)：4.8.1球阀1/2"，规格为不锈钢 * ,低压, * psi,数量为1PCS；4.8.2球阀1/4"，规格为不锈钢 * , 低压, * psi,数量为2PCS；4.8.3阀门组 1/2"，规格为不锈钢 * L,调压阀(带压力表)+球阀,数量为1SET；4.8.4阀门组 1/4"，规格为不锈钢 * L,调压阀(带压力表)+球阀,数量为2SET。 | 非常重要 | 否 | | * | * 、管道管材配置要求：1氮气系统:1.1管道3/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（Ra0.2μm）,数量为 * M；1.2管道 1/2“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（Ra0.2μm）,数量为 * M；1.3管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（Ra0.2μm）,数量为 * M；1.4管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。2氨气系统：2.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；2.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。3.氢气系统：3.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；3.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。4. * 氟化碳系统：4.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；4.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。5. * 氟化硫系统：5.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；5.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。6. * 氟 * 烷系统：6.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；6.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。7. * 氟环 * 烷系统：7.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；7.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。8.氦气系统：8.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；8.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。9.氮气系统：9.1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M；9.2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。 * .氧气系统： * .1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M； * .2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。 * .氩气系统： * .1管道1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M； * .2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。 * .氧/氮混气系统： * .1管道 1/4“，规格为不锈钢 * L, (略) 理（表面粗糙度≤0. * μm）,数量为 * M； * .2管件，规格为不锈钢管接件,数量为1SET。 * 辅助系统： * .1辅助系统(GN2),数量为1SET； * .2辅助系统(PN2),数量为1SET。 | 非常重要 | 否 |
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