发布时间： 点击查看>> * : * : * 截止时间： 点击查看>> * : * : *
基本信息：
申购单号：CB 点击查看>> 申购主题：微流控器件微流道加工系统 采购单位： (略) 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：
签约时间：发布中标结果后7天内签约合同 送货时间：合同签订后 * 天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/ 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
微流控器件微流道加工系统
数量
1
预算单价
品牌
IOE
型号
URE- 点击查看>> L
规格参数
1．技术参数 1.1 曝光面积：4英寸 1.2 曝光波长： * nm 1.3 分辨力：0.8μm-1μm 1.4 对准精度：±0.8μm 1.5 掩模样片整体运动范围：X： * mm;Y: * mm 1.6 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 1.7 样片尺寸：直径 * mm-- * mm及各种不规则片 1.8 ★厚度可适应0.1mm--6mm(最大可扩展为 * mm) 1.9 曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量 1. * 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能 1. * ★ (略) 对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍，物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍，目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍 1. * 调平接触压力通过传感器保证重复 1. * ★数字设定对准间隙和曝光间隙 1. * ★具备压印模块接口，也具备接近模块接口 1. * 掩模相对 (略) 程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6o 1. * ★最大焦厚： * μm（SU8胶） 1. * (略) 性：2.5 o 1. * 曝光能量密度：> * mW/cm2 1. * 单层曝光 * 键完成 1. * 采用球气浮自动找平 1. * 照明不均匀性： 小于2.5%（ 直径 * mm范围）； 1. * ★曝光光源：紫外LED（进口）； 2．外形尺寸：约 * mm（长）、 * mm(宽)、 * mm（高） 3．配置：设备主要由均匀照明曝光系统（进口LED光源模块、整形模块、调节台、光学系统及冷却风扇灯）、对准工件台系统（掩膜整体运动台、相对运动台、转动台、调平机构、基片抽拉式上下机构、自动调焦机构、承片台4个，掩膜夹4个等）、对准系统（光源、电源、 (略) 显微镜主体、目镜3对、物镜3对，CCD对准、液晶显示器等）、电控系统、气动控制系统及真空泵、空压机等辅助配套设备构成。 ★项为必须响应项，代 (略) 家授权书
质保及售后服务
按行业标准提供服务

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数量
1
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型号
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1．技术参数 1.1 曝光面积：4英寸 1.2 曝光波长： * nm 1.3 分辨力：0.8μm-1μm 1.4 对准精度：±0.8μm 1.5 掩模样片整体运动范围：X： * mm;Y: * mm 1.6 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 1.7 样片尺寸：直径 * mm-- * mm及各种不规则片 1.8 ★厚度可适应0.1mm--6mm(最大可扩展为 * mm) 1.9 曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量 1. * 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能 1. * ★ (略) 对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍，物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍，目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍 1. * 调平接触压力通过传感器保证重复 1. * ★数字设定对准间隙和曝光间隙 1. * ★具备压印模块接口，也具备接近模块接口 1. * 掩模相对 (略) 程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6o 1. * ★最大焦厚： * μm（SU8胶） 1. * (略) 性：2.5 o 1. * 曝光能量密度：> * mW/cm2 1. * 单层曝光 * 键完成 1. * 采用球气浮自动找平 1. * 照明不均匀性： 小于2.5%（ 直径 * mm范围）； 1. * ★曝光光源：紫外LED（进口）； 2．外形尺寸：约 * mm（长）、 * mm(宽)、 * mm（高） 3．配置：设备主要由均匀照明曝光系统（进口LED光源模块、整形模块、调节台、光学系统及冷却风扇灯）、对准工件台系统（掩膜整体运动台、相对运动台、转动台、调平机构、基片抽拉式上下机构、自动调焦机构、承片台4个，掩膜夹4个等）、对准系统（光源、电源、 (略) 显微镜主体、目镜3对、物镜3对，CCD对准、液晶显示器等）、电控系统、气动控制系统及真空泵、空压机等辅助配套设备构成。 ★项为必须响应项，代 (略) 家授权书
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