电子科技大学-竞价公告(CB106142021000081)
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电子科技大学-竞价公告(CB106142021000081)
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | SG 点击查看>> 高功率器件测试探针台 | 1.0 | 点击查看>> .0 |
| 品牌 | |||
| 型号 | TPS * -HP | ||
| 规格参数 | * 、基本功能及指标要求：1)测试范围：耐压 * kV，导通电流≥ * A。2)测试器件类型：垂直及横向功率器件，高压 * 极管等3)测试参数：静态IV参数，交流阻抗电容参数4)测试晶圆片尺寸：8英寸，兼容6英寸及碎片 5)具备高压安全防护装置6)通过必要的测试转接套件可连接测试仪器完成相关参数测试7)系统主机：Windows操作系统，CPU大于≥GHz，硬盘≥ * GB，带鼠标，键盘，显示器，带GPIB,USB通信接口。技术要求 2.1基本功能及指标要求：1)测试范围：耐压 * kV，导通电流≥ * A。2)测试器件类型：垂直及横向功率器件，高压 * 极管等3)测试参数：静态IV参数，交流阻抗电容参数4)测试晶圆片尺寸：8英寸，兼容6英寸及碎片 5)具备高压安全防护装置6)通过必要的测试转接套件可连接测试仪器完成相关参数测试7)系统主机：Windows操作系统，CPU大于≥GHz，硬盘≥ * GB，带鼠标，键盘，显示器，带GPIB,USB通信接口。 * 、详细技术指标要求1）探针台主体要求：a) (略) 程： (略) 程： ≥ * mm x * mm，手动XY向旋钮快速移动可调，具有微调功能； (略) 程≥ * mm，千分尺微调 * μm；旋转角度微调≥± * °，粗调旋转最大 * ° b)载片盘：8英寸，表面镀金，真空吸附，具有高压保护层；chuck盘具有高压安装接口，高电流接口，可接电压≥ * kV，可接入脉冲电流≥ * A ；c)载物台可以快速拉出≥ * mm，并带有锁定功能 d)台面： (略) 程 * mm，可整体抬升，具有快速分离抬针功能，接触分离高度可微调；e)腔体：主体带密闭腔体，可充氮气，带密闭 * 角盒2）显微镜单元：a)龙门支架固定，显微镜X/ (略) 程范围≥± * mm；b) * 目体式显微镜：观察头 * °倾斜,连续变倍物镜0. * X-4.5X,工作距离≥ * mm.瞳孔距调节范围 * mm- * mm,带内置联锁机械,固定式目镜筒;带1X CCD接口;辅助物镜 ：0.3X,0.5X，1X,1.5Xc)CCD： * P 自动对焦 ,HDMI 视频相机,带CCD图像保存，可输出视频，可以wifi传输，靶面尺寸1/1.9" d)显示器： * P高清显示器，带HDMI接口，尺寸≥ * 英寸3）探针座套件及探针 ：a)探针座基本指标：磁吸附，带磁性开关。X-Y-Z (略) 程: * .5mm x * .5mm x * .5mm ，移动分辨率1μm， * TPI，带磁力开关；XY旋钮同侧 ；b)电容针座套件2套：带电容测试高压同轴线缆，输出接口SHV；带固定探针支架，可调倾斜角度可 c)高压针座套件 2套, 带高压同轴及高压 * 轴线缆各1套；带固定高压探针支架d)大电流探针座 2套：带高电流线缆，香蕉插头输出，脉冲电流≥ * A；带固定大电流探针支架，可调整探针偏转角度e)直流针座 3套 ：带同轴BNC输出线缆，香蕉插头输出，电流≥1A；带固定直流探针支架，可调整探针倾斜角度f)探针：高压探针 * 根，耐压 * kV，金属材质，钨针；大电流探针 * 根，脉冲电流≥ * A，镀金，共面分齿结构；直流探针 * 根，钨针，针尖 * μm4）连接线缆及接头套件： a)测试连接套件：至少包括高压同轴线缆耐压 * kV,2套;大电流线缆（脉冲 * A）2套；高压 * 同轴线缆 * 套；接地线缆1套b)高压保护电阻盒：可焊接耐压电阻，接口为高压 * 轴及SHV接口c)配置满足垂直及横向器件连接方式的测试转接头及连接线缆5）自动化测试软件1套；可通过GPIB接口控制自动探针台及器件分析仪、电学仪器，可自动化完成晶圆的IV测试及电容测试；具备脚本开发功能， (略) 模式，带仪器通信接口驱动；具备单点测量、晶圆在片实时测量等多种测试模式；自动 (略) 有芯片、记录数据并输出报表，可预设电学测试功能，设置界面同软件功能等; 测试数据原始数据及汇总数据，支持输出.csv，html格式。6）辅助装置：a)屏蔽箱：黑色，遮光，双开门结构，带信号转接安装接口，带高压保护功能，带安全锁， b)防震桌：气浮隔振，自动充气，自动平衡，整体焊接支架，支架下方带升降高度机构和脚轮；标配静音无油空气压缩机，进口半膜片式空气弹簧；整体规格： * * * mm；固有频率：<1.5~3Hz；c)真空泵：无油静音真空泵 7) 控制主机：Windows操作系统，CPU大于2.5GHz，硬盘大于 * GB，带鼠标，键盘，显示器，带GPIB,USB通信接口 | ||
| 质保及售后服务 | 1. 测试系统保修年限：保修期 * 年。2. 售后服务：若设备出现问题，4小时内有电话回应，在 * 小时之内售后技术 (略) (略) 理。如需更换备件，备件在 * 小时 (略) 。3. 安装、调试：所有设备供货方提供免费的安装、调试和技术培训。 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | SG 点击查看>> 高功率器件测试探针台 | 1.0 | 点击查看>> .0 |
| 品牌 | |||
| 型号 | TPS * -HP | ||
| 规格参数 | * 、基本功能及指标要求：1)测试范围：耐压 * kV，导通电流≥ * A。2)测试器件类型：垂直及横向功率器件，高压 * 极管等3)测试参数：静态IV参数，交流阻抗电容参数4)测试晶圆片尺寸：8英寸，兼容6英寸及碎片 5)具备高压安全防护装置6)通过必要的测试转接套件可连接测试仪器完成相关参数测试7)系统主机：Windows操作系统，CPU大于≥GHz，硬盘≥ * GB，带鼠标，键盘，显示器，带GPIB,USB通信接口。技术要求 2.1基本功能及指标要求：1)测试范围：耐压 * kV，导通电流≥ * A。2)测试器件类型：垂直及横向功率器件，高压 * 极管等3)测试参数：静态IV参数，交流阻抗电容参数4)测试晶圆片尺寸：8英寸，兼容6英寸及碎片 5)具备高压安全防护装置6)通过必要的测试转接套件可连接测试仪器完成相关参数测试7)系统主机：Windows操作系统，CPU大于≥GHz，硬盘≥ * GB，带鼠标，键盘，显示器，带GPIB,USB通信接口。 * 、详细技术指标要求1）探针台主体要求：a) (略) 程： (略) 程： ≥ * mm x * mm，手动XY向旋钮快速移动可调，具有微调功能； (略) 程≥ * mm，千分尺微调 * μm；旋转角度微调≥± * °，粗调旋转最大 * ° b)载片盘：8英寸，表面镀金，真空吸附，具有高压保护层；chuck盘具有高压安装接口，高电流接口，可接电压≥ * kV，可接入脉冲电流≥ * A ；c)载物台可以快速拉出≥ * mm，并带有锁定功能 d)台面： (略) 程 * mm，可整体抬升，具有快速分离抬针功能，接触分离高度可微调；e)腔体：主体带密闭腔体，可充氮气，带密闭 * 角盒2）显微镜单元：a)龙门支架固定，显微镜X/ (略) 程范围≥± * mm；b) * 目体式显微镜：观察头 * °倾斜,连续变倍物镜0. * X-4.5X,工作距离≥ * mm.瞳孔距调节范围 * mm- * mm,带内置联锁机械,固定式目镜筒;带1X CCD接口;辅助物镜 ：0.3X,0.5X，1X,1.5Xc)CCD： * P 自动对焦 ,HDMI 视频相机,带CCD图像保存，可输出视频，可以wifi传输，靶面尺寸1/1.9" d)显示器： * P高清显示器，带HDMI接口，尺寸≥ * 英寸3）探针座套件及探针 ：a)探针座基本指标：磁吸附，带磁性开关。X-Y-Z (略) 程: * .5mm x * .5mm x * .5mm ，移动分辨率1μm， * TPI，带磁力开关；XY旋钮同侧 ；b)电容针座套件2套：带电容测试高压同轴线缆，输出接口SHV；带固定探针支架，可调倾斜角度可 c)高压针座套件 2套, 带高压同轴及高压 * 轴线缆各1套；带固定高压探针支架d)大电流探针座 2套：带高电流线缆，香蕉插头输出，脉冲电流≥ * A；带固定大电流探针支架，可调整探针偏转角度e)直流针座 3套 ：带同轴BNC输出线缆，香蕉插头输出，电流≥1A；带固定直流探针支架，可调整探针倾斜角度f)探针：高压探针 * 根，耐压 * kV，金属材质，钨针；大电流探针 * 根，脉冲电流≥ * A，镀金，共面分齿结构；直流探针 * 根，钨针，针尖 * μm4）连接线缆及接头套件： a)测试连接套件：至少包括高压同轴线缆耐压 * kV,2套;大电流线缆（脉冲 * A）2套；高压 * 同轴线缆 * 套；接地线缆1套b)高压保护电阻盒：可焊接耐压电阻，接口为高压 * 轴及SHV接口c)配置满足垂直及横向器件连接方式的测试转接头及连接线缆5）自动化测试软件1套；可通过GPIB接口控制自动探针台及器件分析仪、电学仪器，可自动化完成晶圆的IV测试及电容测试；具备脚本开发功能， (略) 模式，带仪器通信接口驱动；具备单点测量、晶圆在片实时测量等多种测试模式；自动 (略) 有芯片、记录数据并输出报表，可预设电学测试功能，设置界面同软件功能等; 测试数据原始数据及汇总数据，支持输出.csv，html格式。6）辅助装置：a)屏蔽箱：黑色，遮光，双开门结构，带信号转接安装接口，带高压保护功能，带安全锁， b)防震桌：气浮隔振，自动充气，自动平衡，整体焊接支架，支架下方带升降高度机构和脚轮；标配静音无油空气压缩机，进口半膜片式空气弹簧；整体规格： * * * mm；固有频率：<1.5~3Hz；c)真空泵：无油静音真空泵 7) 控制主机：Windows操作系统，CPU大于2.5GHz，硬盘大于 * GB，带鼠标，键盘，显示器，带GPIB,USB通信接口 | ||
| 质保及售后服务 | 1. 测试系统保修年限：保修期 * 年。2. 售后服务：若设备出现问题，4小时内有电话回应，在 * 小时之内售后技术 (略) (略) 理。如需更换备件，备件在 * 小时 (略) 。3. 安装、调试：所有设备供货方提供免费的安装、调试和技术培训。 | ||
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