天津大学-竞价公告(CB100562021000627)
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天津大学-竞价公告(CB100562021000627)
申购单号:CB 点击查看>>
申购主题:薄膜沉积系统
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 市/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 薄膜沉积系统 | 1.0 | |
| 品牌 | 北方华创 | ||
| 型号 | HORICO * | ||
| 规格参数 | 1主要参数指标：干氧+湿氧1.1工艺气路配置：至少包括N2、O2以及水汽发生器。1.2主要工艺指标要求：片内均匀性≤±1.5%、片间均匀性≤±2%及批间均匀性≤±2%（厚度 * A- * 0A；测试点距边缘6mm；均匀性定义：（厚度最大值-厚度最小值）/厚度平均值）；2主要技术数据：2.1可加工硅片尺寸：4& 6″圆片2.2可配石英管管最大外径： φ * mm2.3工作温度范围： * ℃～ * 常用工艺温度： * 恒温区长度及精度： * ℃～ * ℃ * mm /±0.5℃2.6单点温度稳定性：工作温度： * ℃～ * ℃ ±0.5℃/ * h2.7升温时间: (从室温升至 * ℃)≤ * min2.8温度斜变能力：最大可控升温速度( * ～ * ℃) * ℃/min最大可控降温速度( * ℃) 3℃/min2.9最大升温功率： * KVA/每管2. * 保温功率： * KVA/每管2. * 送料装置：速度： * ～ * mm/min重复定位精度±1mm最大承载能力： * Kg净化台工作等级（静态）：在 (略) 房达到 * 级2. * 气体流量设定精度：±1％F.S.2. * 气路系统气密性1× * -7pa.m3/s3 (略) 件说明：3.1 (略) 分构成，即扩散炉主体（含排毒箱）、加热炉体、气源柜、净化工作台、送料装置。净化台下方安装有插头，是炉管推拉舟进出的手动控制信号接口，并配备 * 个手持式控制小盒，手操盒上面安装有两个点动式按钮控制推拉舟的进出，小盒可以任意插拔，这样便于调节SiC桨。3.2加热炉体:采用 * 段加热， * 点控温。炉体材料采用优质耐高温炉丝,保温材料采用进口HT高温硅酸铝纤维毡和塞拉含锆毯，这些材料使炉体具有良好的使用寿命和较小的热损耗。SPIKE热偶固定方式为陶瓷夹紧方式。3.3气路系统：气路系统包括机械小盒、电气小 (略) 分， (略) 分采用高精度数字质量流量控制器和进口气动阀、浮子流量计、手动阀门、VCR接头； (略) 分采用进口洁净耐蚀减压阀及接头、过滤器； (略) 分采用洁净、耐蚀不锈钢管件， (略) 分采用进口洁净内抛光耐蚀不锈钢管及进口不锈钢直角焊接接头焊接而成，所有管件接头材料均为 * L。优质的元器件组合及焊接工艺保证了整个系统的高洁净度、 (略) 封性、 (略) 全性，从而保证工艺成膜的高质量。工艺气体: N2、O2。（1.气路流量计配置：N2= * 0SCCM、O= * 0SCCM、LO2= * SCCM，保护N2= * 0SCCM ）2. 每管出气口增加 * 个 * L直角卡套弯头，3.气路连接管传孔必须使用保护套管；）3.4净化工作台：净化工作台是 (略) 所，洁净气流呈水平层流。净化台主要由涡流风机、初效过滤器、风道、高效过滤器等组成。净 (略) 装有送料装置，工作台面为不锈钢材质。3.5送料装置：配有 * 套悬臂式自动送料装置。该装置上装有前、后、极限位传感器。该装置配置步进电机驱动系统。前限位使用进口耐高温限位开关，传感器信号线使用耐高温导线或补偿导线，必须保证高温状态下不老化、不变形。采用进口带涂层SiC桨。3.6控制系统：本系统采用低功耗、防磁、防震平板显示器和抗干扰能力强的嵌入式工控机，对炉温、气体流量、各种阀门、进出 (略) 自动控制， (略) 工艺时序。温控单元： 3.6.1 * 段控温均采用控制精度0.1%的进口控温表，可 (略) 温度采集与设定。3.6.2具有可编程的升、降温，温度梯度控制功能。3.6.3具有PID自整定功能，并可以根据不同的温度区域设定不同的PID值和温度补偿值。3.6.4具有超温报警、工艺结束报警功能。3.6.5具有极限超温报警功能,同时能自动切断炉丝加热电源。3.6.6可同时显示控制热偶温度及PROFILE热偶温度。用PROFILE热偶可以在工控机系统页上真实显示 (略) 工艺时的动态温度；并可实现温区自动分布，避免必须每次手动拉温区校准控温热偶。可实现工艺过程中PROFILE热偶控温（即串级控温），保证硅片温度的精确，还可实现恒温区或恒温区有温度梯度的实时PROFILE温度控制。4安全保护与报警：为了保证设 (略) 和快速诊断设备故障，该设备具有多种安全连锁装置和故障报警功能。4.1温度保护报警：4.1.1超温报警：当炉温超过设定值时，屏幕会显示超温，此时超温报警灯亮、讯响。4.1.2极限超温报警：当炉温达到极限设定的炉温时，超温的加热器会自动断电。极限超温报警的设定值用户可以根据实际 (略) 设定，但是不得高于 * ℃。4.1.3断偶保护：当控制热偶或报警热偶，断开或接触不良时，会有超温报警或极限超温报警状态发生。通知操作人员及时排除故障。从而保护了加热系统。4.2气体流量超标报警：报警状态出现时，屏幕显示、讯响；同时工艺管路中的危险气体被关掉。此时工艺流程会根据程序设定转向。4.3炉箱超温保护：由于热交换系统故障或室温过高，使高温炉机箱内温度超过设定值时，会有炉箱超温预警信号产生，指示灯亮、讯响，通 (略) 处理，避免造成设备或产品的损失。4.4计算机停机保护：当计算机由于本身故障和电源断电而停止工作时，控制系统会发出报警讯响，同时关掉气体阀门。5售后服务：5.1技术服务：仪 (略) 在地后, 在接到用户通知 (略) 安装调试直至达到验收指标。5.2技术培训： (略) 在 (略) 为期2周的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、 (略) 理、基本维护等。5.3保修期：提供主机1年的免费保修，保修期自验收签字之日起计算。保修期满前1个月内卖方应负责 * 次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。维修响应时间：卖方应在 * 小时内对用户的服务要求作出响应， * 般问题应在 * 小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在 * 周内解决或提出明确解决方案，否则卖方应赔偿相应损失。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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申购主题:薄膜沉积系统
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 市/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 薄膜沉积系统 | 1.0 | |
| 品牌 | 北方华创 | ||
| 型号 | HORICO * | ||
| 规格参数 | 1主要参数指标：干氧+湿氧1.1工艺气路配置：至少包括N2、O2以及水汽发生器。1.2主要工艺指标要求：片内均匀性≤±1.5%、片间均匀性≤±2%及批间均匀性≤±2%（厚度 * A- * 0A；测试点距边缘6mm；均匀性定义：（厚度最大值-厚度最小值）/厚度平均值）；2主要技术数据：2.1可加工硅片尺寸：4& 6″圆片2.2可配石英管管最大外径： φ * mm2.3工作温度范围： * ℃～ * 常用工艺温度： * 恒温区长度及精度： * ℃～ * ℃ * mm /±0.5℃2.6单点温度稳定性：工作温度： * ℃～ * ℃ ±0.5℃/ * h2.7升温时间: (从室温升至 * ℃)≤ * min2.8温度斜变能力：最大可控升温速度( * ～ * ℃) * ℃/min最大可控降温速度( * ℃) 3℃/min2.9最大升温功率： * KVA/每管2. * 保温功率： * KVA/每管2. * 送料装置：速度： * ～ * mm/min重复定位精度±1mm最大承载能力： * Kg净化台工作等级（静态）：在 (略) 房达到 * 级2. * 气体流量设定精度：±1％F.S.2. * 气路系统气密性1× * -7pa.m3/s3 (略) 件说明：3.1 (略) 分构成，即扩散炉主体（含排毒箱）、加热炉体、气源柜、净化工作台、送料装置。净化台下方安装有插头，是炉管推拉舟进出的手动控制信号接口，并配备 * 个手持式控制小盒，手操盒上面安装有两个点动式按钮控制推拉舟的进出，小盒可以任意插拔，这样便于调节SiC桨。3.2加热炉体:采用 * 段加热， * 点控温。炉体材料采用优质耐高温炉丝,保温材料采用进口HT高温硅酸铝纤维毡和塞拉含锆毯，这些材料使炉体具有良好的使用寿命和较小的热损耗。SPIKE热偶固定方式为陶瓷夹紧方式。3.3气路系统：气路系统包括机械小盒、电气小 (略) 分， (略) 分采用高精度数字质量流量控制器和进口气动阀、浮子流量计、手动阀门、VCR接头； (略) 分采用进口洁净耐蚀减压阀及接头、过滤器； (略) 分采用洁净、耐蚀不锈钢管件， (略) 分采用进口洁净内抛光耐蚀不锈钢管及进口不锈钢直角焊接接头焊接而成，所有管件接头材料均为 * L。优质的元器件组合及焊接工艺保证了整个系统的高洁净度、 (略) 封性、 (略) 全性，从而保证工艺成膜的高质量。工艺气体: N2、O2。（1.气路流量计配置：N2= * 0SCCM、O= * 0SCCM、LO2= * SCCM，保护N2= * 0SCCM ）2. 每管出气口增加 * 个 * L直角卡套弯头，3.气路连接管传孔必须使用保护套管；）3.4净化工作台：净化工作台是 (略) 所，洁净气流呈水平层流。净化台主要由涡流风机、初效过滤器、风道、高效过滤器等组成。净 (略) 装有送料装置，工作台面为不锈钢材质。3.5送料装置：配有 * 套悬臂式自动送料装置。该装置上装有前、后、极限位传感器。该装置配置步进电机驱动系统。前限位使用进口耐高温限位开关，传感器信号线使用耐高温导线或补偿导线，必须保证高温状态下不老化、不变形。采用进口带涂层SiC桨。3.6控制系统：本系统采用低功耗、防磁、防震平板显示器和抗干扰能力强的嵌入式工控机，对炉温、气体流量、各种阀门、进出 (略) 自动控制， (略) 工艺时序。温控单元： 3.6.1 * 段控温均采用控制精度0.1%的进口控温表，可 (略) 温度采集与设定。3.6.2具有可编程的升、降温，温度梯度控制功能。3.6.3具有PID自整定功能，并可以根据不同的温度区域设定不同的PID值和温度补偿值。3.6.4具有超温报警、工艺结束报警功能。3.6.5具有极限超温报警功能,同时能自动切断炉丝加热电源。3.6.6可同时显示控制热偶温度及PROFILE热偶温度。用PROFILE热偶可以在工控机系统页上真实显示 (略) 工艺时的动态温度；并可实现温区自动分布，避免必须每次手动拉温区校准控温热偶。可实现工艺过程中PROFILE热偶控温（即串级控温），保证硅片温度的精确，还可实现恒温区或恒温区有温度梯度的实时PROFILE温度控制。4安全保护与报警：为了保证设 (略) 和快速诊断设备故障，该设备具有多种安全连锁装置和故障报警功能。4.1温度保护报警：4.1.1超温报警：当炉温超过设定值时，屏幕会显示超温，此时超温报警灯亮、讯响。4.1.2极限超温报警：当炉温达到极限设定的炉温时，超温的加热器会自动断电。极限超温报警的设定值用户可以根据实际 (略) 设定，但是不得高于 * ℃。4.1.3断偶保护：当控制热偶或报警热偶，断开或接触不良时，会有超温报警或极限超温报警状态发生。通知操作人员及时排除故障。从而保护了加热系统。4.2气体流量超标报警：报警状态出现时，屏幕显示、讯响；同时工艺管路中的危险气体被关掉。此时工艺流程会根据程序设定转向。4.3炉箱超温保护：由于热交换系统故障或室温过高，使高温炉机箱内温度超过设定值时，会有炉箱超温预警信号产生，指示灯亮、讯响，通 (略) 处理，避免造成设备或产品的损失。4.4计算机停机保护：当计算机由于本身故障和电源断电而停止工作时，控制系统会发出报警讯响，同时关掉气体阀门。5售后服务：5.1技术服务：仪 (略) 在地后, 在接到用户通知 (略) 安装调试直至达到验收指标。5.2技术培训： (略) 在 (略) 为期2周的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、 (略) 理、基本维护等。5.3保修期：提供主机1年的免费保修，保修期自验收签字之日起计算。保修期满前1个月内卖方应负责 * 次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。维修响应时间：卖方应在 * 小时内对用户的服务要求作出响应， * 般问题应在 * 小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在 * 周内解决或提出明确解决方案，否则卖方应赔偿相应损失。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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