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洁净棚

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美日

MRJH- * FK

、洁净棚的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、 (略) 产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配 。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达 * . * ~ * . * 5%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十 分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃 * 旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利 用气流将发生的尘埃迅速排出室外。地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速 度，气流则较均 * ， * 般洁净室，其风速均取在0. * ~0.5m/s之间。2、洁净棚5个洁净面规格：ALD系统： * * * mm1套； (略) 理： * * * mm1套；RIE： * * * mm1套；CMP/机器人： * * * mm1套；检测间： * * * mm1套；光刻机： * * * mm1套；配套净化级铝型材，铝方通 * * * * * mm= * 米， * * * * * mm= * 米， * * * * * mm= * 米，安装辅材 * 批，防静电风帘 * 批， * . * 5%高效过滤器 * * * mm= * 套，设备包安装，整体质保售后5年。3、高效过滤器外尺寸（mm）： * （宽）* * （深）* * （高），高校过滤器尺寸： * （宽）* * （深）* * （高）箱体和高效过滤器采用分体 式设计,安装,更换高效更方便；，大洋内转子马达，（铝合金叶轮风机质保 * 年）、并具有节能、计算机集中控 制、运行稳定、噪声低、数字化调整等特性；，采用独特的风道风速均匀， 整个出风面以0. * m/s-0. * m/s风速均匀送出。 (略) 前均按美国联邦标准（ * E）用激光粒子计数器逐台扫描检测，确保质量；FFU适用于 * ~ 点击查看>> 级无尘车间， (略) 集中控制；

按行业标准提供服务

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