高真空电阻蒸发镀膜设备采购
高真空电阻蒸发镀膜设备采购
申购单主题: | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 申购单位: | (略) | 是否含税: | 否 | 使用币种: | 人民币 |
申购备注: |
设备名称 | (略) 商 | 型号 | 是否标配 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
高真空电阻蒸发镀膜设备 | 北 京 微 纳 真 空 | VZZ- * S | 是 | 1 | 国内含税价/人民币 | ||
规格 | 真空腔室:Φ * ×H * mm 真空极限:优于 3.0× * -5 Pa 抽速:分子泵完全启动,抽至 3.0× * -4Pa≤ * min 机械泵:北仪合资TRP- * 直联旋片泵,6L/S 分子泵:中科科仪FF 点击查看>> 复合分子泵, * L/S 前级阀:川北真空GDQ- * b,高真空气动挡板阀 充气阀: * 星华创DJ2C-6,电磁截止阀 数显复合真空计: (略) 睿宝ZDF- * , * 低 * 高 基片台:最大可镀基片尺寸/面积 * × * mm,基片台配有气动挡板,旋转速度0- * 转/分连续可调,光控定位,磁流体密封,基片台背板通冷却循环水强制水冷 蒸发源及电源: 3 组蒸发源,各源均有水冷且独立,可蒸镀金属材料(舟式源/挂丝源)和有机材料(坩埚源/盒式源);2KW真空蒸发专用电源两台;能实现 * 源依次蒸发以及两源同时蒸发,源间配备隔离挡板 膜厚监控:采用高精度石英晶振膜厚监控仪(Inficon,SQM- * )在线监测蒸镀速率、自控膜厚 控制方式:PLC 手自动控制,触摸屏操作; 基片台水冷组件1套 备品备件:钨舟 * 个 ,钼舟 * 个,高纯铝颗粒 * 克,钨蓝坩埚组合 3套 ,CF * 铜垫圈 3个, 设备上相应规格密封圈、螺栓等紧固件、保险丝 |
申购单主题: | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 申购单位: | (略) | 是否含税: | 否 | 使用币种: | 人民币 |
申购备注: |
设备名称 | (略) 商 | 型号 | 是否标配 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | |
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高真空电阻蒸发镀膜设备 | 北 京 微 纳 真 空 | VZZ- * S | 是 | 1 | 国内含税价/人民币 | ||
规格 | 真空腔室:Φ * ×H * mm 真空极限:优于 3.0× * -5 Pa 抽速:分子泵完全启动,抽至 3.0× * -4Pa≤ * min 机械泵:北仪合资TRP- * 直联旋片泵,6L/S 分子泵:中科科仪FF 点击查看>> 复合分子泵, * L/S 前级阀:川北真空GDQ- * b,高真空气动挡板阀 充气阀: * 星华创DJ2C-6,电磁截止阀 数显复合真空计: (略) 睿宝ZDF- * , * 低 * 高 基片台:最大可镀基片尺寸/面积 * × * mm,基片台配有气动挡板,旋转速度0- * 转/分连续可调,光控定位,磁流体密封,基片台背板通冷却循环水强制水冷 蒸发源及电源: 3 组蒸发源,各源均有水冷且独立,可蒸镀金属材料(舟式源/挂丝源)和有机材料(坩埚源/盒式源);2KW真空蒸发专用电源两台;能实现 * 源依次蒸发以及两源同时蒸发,源间配备隔离挡板 膜厚监控:采用高精度石英晶振膜厚监控仪(Inficon,SQM- * )在线监测蒸镀速率、自控膜厚 控制方式:PLC 手自动控制,触摸屏操作; 基片台水冷组件1套 备品备件:钨舟 * 个 ,钼舟 * 个,高纯铝颗粒 * 克,钨蓝坩埚组合 3套 ,CF * 铜垫圈 3个, 设备上相应规格密封圈、螺栓等紧固件、保险丝 |
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