等离子增强型化学气相沉积设备竞价项目

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等离子增强型化学气相沉积设备竞价项目


* 、采购需求信息
设备品目类别仪器设备设备用途科研
项目号HW 点击查看>> 是否批量报价总价最低成交
竞价开始时间 点击查看>> * : * : * 竞价结束时间 点击查看>> * : * : *
交货时间合同签订后 * 天交货地点 (略) * 山校区
产品类型点击查看>>点击查看>>结算货币人民币
贷款支付方式1、验收合格后用户凭发票报账付清全额货款
* 、等离子增强型化学气相沉积设备
商品名称等离子增强型化学气相沉积设备数量1
参考品牌 (略) 思联参考型号KF *
计量单位个本商品预算单价(元)点击查看>>点击查看>>
保修年限2年
技术指标1. 反应腔室1）方形基片有效尺寸 * cm× * cm；2）基板和电极之间的距离可根据 (略) 调节；3）长膜时，腔室内的气体流量、压力可以根据 (略) 调节；4）生长的薄膜厚度均匀性小于+/- * ％（厚度在 点击查看>> nm） （9点法测量：Uniformity = [(Max-Min) / (Max+Min)* * %]）；5）可对腔室内的 (略) 检测，并有清排装置；6）提供观察窗，方 (略) 观察；7）绝对压力检测系统（薄膜规）2. 真空系统1） (略) 分，干泵；2） (略) 分，分子泵；3）反应腔室极限真空优于1× * －5 Pa，工作真空约 * － * Pa；从常压抽到1× * －4Pa，时间不超过 * 分钟。3. 加热系统1）反应腔室内，基板温度至少达到 * ℃；2）控温精读为±1℃（进口电温控表，品牌：日本岛电）；3）温度均匀性达到± * 度（9点法测试标准）；4）带有温度传感器，可以实时监测基板温度；5）可以控制升温和降温的速率；4. 气路系统1）4条气路，所需工艺气体为： SiH4、N2O、NH3、N2；2）另外预留两条气路接口；3）气体流量可控；4）带有安全防爆气路柜+气路（带气路反充洗功能 泄露报警器 ），N2O、NH3、N2采用特气专用质量流量控制器+专用电磁阀+进口隔膜阀（气动）；SiH4采用进口质量流量控制器（品牌： (略) ）+进口隔膜阀（气动）；安全进气总阀门；进口隔膜阀（气动 急停控制）+高真空电磁阀5. 反应源1）方式；多孔喷淋式2）尺寸；6英寸6. 射频电源1）供电AC * V/ * Hz/ * A2）输出 * . * MHz(±0.1%)3）匹配器：自动匹配7. 其他辅助设备1）照明系统：腔室内安装照明系统， (略) 系统的观察；2）腔室的清洗方便， (略) 的清洗方案；3）所有腔室要求使用不锈钢材料加工制造，高洁净度（放置超净室）；4）控制系统：(自动抽真空+自动关机+保护互锁装置+安全急停)；5）排气管：不锈钢（或不可燃材料），带有氮气稀释接口
安装及售后要求1.电源要求： * V/ * V， * Hz2.洁净级别要求：千级超净室3. 原厂 (略) 安装调试，安 (略) 培训。
附件无
供应商报价须知
1、本系统将向成交供应商收取成交金额的0.5%作为技术服务费；
????请成交供应商在参与项目竞价完成后及时登录系统，务必在项目成交后7个工作日内点击“操作”确认成交并缴纳平台使用服务费。
???（特别提醒： 超过7个工作日逾期未支付平台服务费用，视为自动放弃成交结果！） 2、必须 (略) 新货品； 3、为防止恶意控制价格，在网上竞价结果公布前，不允许任 (略) 家或总代理商报备；4、本系统预算仅供参考，采购人不能支付的超预算报价， (略) 理；5、 * 般以人民币报价的项目，必须含税；以外币报价的项目，必须按照CIF (略) 港/C (略) /DA (略) 进行报价；如项目有特殊说明的从其说明；6、定制类项目竞价完毕后，如用户单位如需要提供样品，竞价单位则必须要提供，因此，报价时必须考虑；7、空调、监控等强、弱电安装项目，竞价单位必须具有相关安装资质的技术人员（并能提供相关证明材料），严禁无证上岗；8、供货完毕后，提供购销类发票（非工程类发票或服务类发票）给用户单位。

* 、采购需求信息
设备品目类别仪器设备设备用途科研
项目号HW 点击查看>> 是否批量报价总价最低成交
竞价开始时间 点击查看>> * : * : * 竞价结束时间 点击查看>> * : * : *
交货时间合同签订后 * 天交货地点 (略) * 山校区
产品类型点击查看>>点击查看>>结算货币人民币
贷款支付方式1、验收合格后用户凭发票报账付清全额货款
* 、等离子增强型化学气相沉积设备
商品名称等离子增强型化学气相沉积设备数量1
参考品牌 (略) 思联参考型号KF *
计量单位个本商品预算单价(元)点击查看>>点击查看>>
保修年限2年
技术指标1. 反应腔室1）方形基片有效尺寸 * cm× * cm；2）基板和电极之间的距离可根据 (略) 调节；3）长膜时，腔室内的气体流量、压力可以根据 (略) 调节；4）生长的薄膜厚度均匀性小于+/- * ％（厚度在 点击查看>> nm） （9点法测量：Uniformity = [(Max-Min) / (Max+Min)* * %]）；5）可对腔室内的 (略) 检测，并有清排装置；6）提供观察窗，方 (略) 观察；7）绝对压力检测系统（薄膜规）2. 真空系统1） (略) 分，干泵；2） (略) 分，分子泵；3）反应腔室极限真空优于1× * －5 Pa，工作真空约 * － * Pa；从常压抽到1× * －4Pa，时间不超过 * 分钟。3. 加热系统1）反应腔室内，基板温度至少达到 * ℃；2）控温精读为±1℃（进口电温控表，品牌：日本岛电）；3）温度均匀性达到± * 度（9点法测试标准）；4）带有温度传感器，可以实时监测基板温度；5）可以控制升温和降温的速率；4. 气路系统1）4条气路，所需工艺气体为： SiH4、N2O、NH3、N2；2）另外预留两条气路接口；3）气体流量可控；4）带有安全防爆气路柜+气路（带气路反充洗功能 泄露报警器 ），N2O、NH3、N2采用特气专用质量流量控制器+专用电磁阀+进口隔膜阀（气动）；SiH4采用进口质量流量控制器（品牌： (略) ）+进口隔膜阀（气动）；安全进气总阀门；进口隔膜阀（气动 急停控制）+高真空电磁阀5. 反应源1）方式；多孔喷淋式2）尺寸；6英寸6. 射频电源1）供电AC * V/ * Hz/ * A2）输出 * . * MHz(±0.1%)3）匹配器：自动匹配7. 其他辅助设备1）照明系统：腔室内安装照明系统， (略) 系统的观察；2）腔室的清洗方便， (略) 的清洗方案；3）所有腔室要求使用不锈钢材料加工制造，高洁净度（放置超净室）；4）控制系统：(自动抽真空+自动关机+保护互锁装置+安全急停)；5）排气管：不锈钢（或不可燃材料），带有氮气稀释接口
安装及售后要求1.电源要求： * V/ * V， * Hz2.洁净级别要求：千级超净室3. 原厂 (略) 安装调试，安 (略) 培训。
附件无
供应商报价须知
1、本系统将向成交供应商收取成交金额的0.5%作为技术服务费；
????请成交供应商在参与项目竞价完成后及时登录系统，务必在项目成交后7个工作日内点击“操作”确认成交并缴纳平台使用服务费。
???（特别提醒： 超过7个工作日逾期未支付平台服务费用，视为自动放弃成交结果！） 2、必须 (略) 新货品； 3、为防止恶意控制价格，在网上竞价结果公布前，不允许任 (略) 家或总代理商报备；4、本系统预算仅供参考，采购人不能支付的超预算报价， (略) 理；5、 * 般以人民币报价的项目，必须含税；以外币报价的项目，必须按照CIF (略) 港/C (略) /DA (略) 进行报价；如项目有特殊说明的从其说明；6、定制类项目竞价完毕后，如用户单位如需要提供样品，竞价单位则必须要提供，因此，报价时必须考虑；7、空调、监控等强、弱电安装项目，竞价单位必须具有相关安装资质的技术人员（并能提供相关证明材料），严禁无证上岗；8、供货完毕后，提供购销类发票（非工程类发票或服务类发票）给用户单位。
    
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