紫外曝光机

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紫外曝光机



基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) 生 (略) 紫外曝光机采购项目
项目类型货物采购 申购主题紫外曝光机采购单位 (略)
项目预算采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人李老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 市光明区公常路 (略) (略) 东 *
备注1、本项目不允许产自中华人民共和国关境外的进口货物报价，否则报价无效； 2、国内供货请报含税人民币价； 3、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效； 4、 (略) 不收取任何费用。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
紫外曝光机1台 【鑫南光】 【兴林】 【鑫有研】详情请进入系统查看
"紫外曝光机"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 ★主机参数：套刻精度≤1μm（ (略) 合格检测报告） 非常重要 是
2 主机参数：观察系统为上下各两个无级变倍、高分辨率单筒显微镜上装 * 个CCD摄像头通过视屏线连接计算机上。 重要 否
3 主机参数：单筒显微镜为1.6X～ * X连续变倍显微镜；CCD摄像机靶面对角线尺寸为：1/3″；观察系统放大倍数为： * 倍至 * 倍；双物镜可调距离： * mm～ * mm； 重要 否
4 主机参数：掩模板架装置：该装置装入 不低于 * × * mm板架， (略) 真空吸附；该装置安装在机座上，能围绕A点作翻转运动，相对于承片台而言作上下翻转运动，以便于上下版和上下片；该装置来回反复翻转，回到承片台上平面的位置，重复精度为≤±1.5μm；该装置具有补偿基片楔形误差之功能，保证版下平面与片上平面之良好接触，以便提高曝光质量。 （提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
5 主机参数：承片台调整装置：1. 备有Φ * mm承片台 * 个，这种承片台有 * 个长方孔，下面 * 个CCD通过该孔能观察到版或片的下平面；2. 承片台能作X、Y、Z、θ运动，X、Y、Z可作±5mm运动，θ运动为±5°；对准范围：X、Y：±3mm；Q：±3°；3. 承片台密着环相对于掩模板，能实现“真空密着”：真空密着力≤-0. * Mpa为硬接触；真空密着力在-0. * Mpa至-0. * Mpa为软接触；真空密着力0至-0. * Mpa为微力接触；（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
6 附件参数：计算机控制系统及软件系统：1. 双窗口显示分辨率不低于 * X * 采集图像，最大采集比特数 * bit * 路信 (略) 切换；2. 窗口图片保存大小不低于 * X * bmp；3. 电脑操作 (略) 理器≥I3- * ，内存4G、固态硬盘1T，读写速度 * M/S起， I/O接口后置、DisplayPort、HDMI、 (略) 口，显示器尺寸 * .5英寸、分辨率 * ，电源 * W， (略) 的Windows * 专业版 重要 是
7 软件及其功能：计算机控制系统及软件系统的功能：支持图像冻结，对准。支持单窗口最大化显示。对比度、亮度、饱和度两窗口单独调节； 重要 否
8 配置清单：1、主机（含显微观察系统） 1套2、计算机控制系统及软件 1套3、 * mm× * mm 真空掩模板架 1个4、Φ * mm承片台 1个5、原装汞灯2只 重要 否
9 售后服务与培训要求：1.原厂 整机保修。汞灯正常工作时间不低于 * 小时，无法达到工作时长或属于非人为因素故障造成的汞灯故障可免费更换。在该期间软硬件出现故障，提供免费维护、升级或更换服务。 (略) 保修承诺函；2. 售后服务要求：4小时响应，8小时内派技术 (略) 解决问题，使其恢复；对设备出现的较大问题，解决时间不超过2个日历日；在保修期内，如设备出现故障，在2个日历日内完成维修工作，否则更换新机。3. 培训要求：按照用户要求 (略) 使用及维护培训 重要 是
* 曝光类型：双面对准单面曝光。最大曝光面积：≥ * mm× * mm。曝光强度：0～ * mw/cm2可调。（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
* 主机参数：对准精度≤±0.5μm（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
* 主机参数：紫外光源的参数规格：可使用的波长：G线、H线、I线的组合，紫外线的波长范围： * 埃，紫外光源：G线（ * nm）或I线（ * nm）； 重要 否
* 主机参数：采用不低于 * W直流球形汞灯，汞灯2套；（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 重要 是
* ★主机参数：出射光斑≤φ * mm；光强≥5mw；φ * mm范围内光的不均匀性≤±3%；（ (略) 合格检测报告） 非常重要 是
* 主机参数：曝光类型：双面对准单面曝光。曝光时间采用0～ * .9秒，时间继电器控制。 重要 否




基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) 生 (略) 紫外曝光机采购项目
项目类型货物采购 申购主题紫外曝光机采购单位 (略)
项目预算采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人李老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 市光明区公常路 (略) (略) 东 *
备注1、本项目不允许产自中华人民共和国关境外的进口货物报价，否则报价无效； 2、国内供货请报含税人民币价； 3、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效； 4、 (略) 不收取任何费用。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
紫外曝光机1台 【鑫南光】 【兴林】 【鑫有研】详情请进入系统查看
"紫外曝光机"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 ★主机参数：套刻精度≤1μm（ (略) 合格检测报告） 非常重要 是
2 主机参数：观察系统为上下各两个无级变倍、高分辨率单筒显微镜上装 * 个CCD摄像头通过视屏线连接计算机上。 重要 否
3 主机参数：单筒显微镜为1.6X～ * X连续变倍显微镜；CCD摄像机靶面对角线尺寸为：1/3″；观察系统放大倍数为： * 倍至 * 倍；双物镜可调距离： * mm～ * mm； 重要 否
4 主机参数：掩模板架装置：该装置装入 不低于 * × * mm板架， (略) 真空吸附；该装置安装在机座上，能围绕A点作翻转运动，相对于承片台而言作上下翻转运动，以便于上下版和上下片；该装置来回反复翻转，回到承片台上平面的位置，重复精度为≤±1.5μm；该装置具有补偿基片楔形误差之功能，保证版下平面与片上平面之良好接触，以便提高曝光质量。 （提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
5 主机参数：承片台调整装置：1. 备有Φ * mm承片台 * 个，这种承片台有 * 个长方孔，下面 * 个CCD通过该孔能观察到版或片的下平面；2. 承片台能作X、Y、Z、θ运动，X、Y、Z可作±5mm运动，θ运动为±5°；对准范围：X、Y：±3mm；Q：±3°；3. 承片台密着环相对于掩模板，能实现“真空密着”：真空密着力≤-0. * Mpa为硬接触；真空密着力在-0. * Mpa至-0. * Mpa为软接触；真空密着力0至-0. * Mpa为微力接触；（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
6 附件参数：计算机控制系统及软件系统：1. 双窗口显示分辨率不低于 * X * 采集图像，最大采集比特数 * bit * 路信 (略) 切换；2. 窗口图片保存大小不低于 * X * bmp；3. 电脑操作 (略) 理器≥I3- * ，内存4G、固态硬盘1T，读写速度 * M/S起， I/O接口后置、DisplayPort、HDMI、 (略) 口，显示器尺寸 * .5英寸、分辨率 * ，电源 * W， (略) 的Windows * 专业版 重要 是
7 软件及其功能：计算机控制系统及软件系统的功能：支持图像冻结，对准。支持单窗口最大化显示。对比度、亮度、饱和度两窗口单独调节； 重要 否
8 配置清单：1、主机（含显微观察系统） 1套2、计算机控制系统及软件 1套3、 * mm× * mm 真空掩模板架 1个4、Φ * mm承片台 1个5、原装汞灯2只 重要 否
9 售后服务与培训要求：1.原厂 整机保修。汞灯正常工作时间不低于 * 小时，无法达到工作时长或属于非人为因素故障造成的汞灯故障可免费更换。在该期间软硬件出现故障，提供免费维护、升级或更换服务。 (略) 保修承诺函；2. 售后服务要求：4小时响应，8小时内派技术 (略) 解决问题，使其恢复；对设备出现的较大问题，解决时间不超过2个日历日；在保修期内，如设备出现故障，在2个日历日内完成维修工作，否则更换新机。3. 培训要求：按照用户要求 (略) 使用及维护培训 重要 是
* 曝光类型：双面对准单面曝光。最大曝光面积：≥ * mm× * mm。曝光强度：0～ * mw/cm2可调。（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
* 主机参数：对准精度≤±0.5μm（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 非常重要 是
* 主机参数：紫外光源的参数规格：可使用的波长：G线、H线、I线的组合，紫外线的波长范围： * 埃，紫外光源：G线（ * nm）或I线（ * nm）； 重要 否
* 主机参数：采用不低于 * W直流球形汞灯，汞灯2套；（提供彩页 (略) 商盖章出具其他证明材料） 重要 是
* ★主机参数：出射光斑≤φ * mm；光强≥5mw；φ * mm范围内光的不均匀性≤±3%；（ (略) 合格检测报告） 非常重要 是
* 主机参数：曝光类型：双面对准单面曝光。曝光时间采用0～ * .9秒，时间继电器控制。 重要 否


    
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