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[B2021101903]匀胶机网上竞价公告
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采购项目信息
项目名称 | 匀胶机 | 项目编号 | B 点击查看>> |
开始时间 | 点击查看>> * : * : * | 截止时间 | 点击查看>> * : * : * |
供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第 * 十 * 条规定的资格条件。 |
采购货物信息列表
序号 | 货物(服务)名称 | 数量 | 计量单位 | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
1 | 匀胶机 | 1 | 台 | ||||
技术参数 | 1、腔体尺寸:9.5英寸 ( * 毫米); 2、Wafer芯片尺寸: * - * mm直径的材料,方片 * x * mm; 3、转动速度:0- * , * rpm,4、旋涂加速度:0- * , * rpm/sec; 5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%; 6、转速调节精度:<1rpm,重复性< 1rpm; 7、工艺时间设定:1- * .9 sec/step 0.1 精度; 8、*匀胶机材质:NPP天然聚 * 烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方; 9、* 高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0. * %。 * 、程序控制:可存储 * 个程序段,每个程序段可以设置 * 步不同的速度状态; * 、*分辨率:分辨率小于1转/分,可重复性小于±1转/分,美国国家标 (略) (NIST)认证过的,并且无需再校准! * . 电子绝缘负载双保护装置; * . 嵌锁的安全盖板; * . 防腐装置; * . *保护气体装置:旋涂过程中可以充氮气和压缩气体,对 (略) 气流保护; * .配套真空泵系统:无油型 * ~ * 伏交流, * / * 赫兹; * .真空泵参数: * - * 英寸汞柱 (~ 点击查看>> 毫米汞柱),抽速:4.5 SCFM (0. * 立方米/分钟) 。 * 、* 配套分析软件:SPIN * 操作分析软件; * 、原装进口水平测试仪; * 、两袋密封圈; * 、废液接收单元; | ||||||
相关材料 |
(略) 采购与 (略)
点击查看>> * : * : *
采购项目信息
项目名称 | 匀胶机 | 项目编号 | B 点击查看>> |
开始时间 | 点击查看>> * : * : * | 截止时间 | 点击查看>> * : * : * |
供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第 * 十 * 条规定的资格条件。 |
采购货物信息列表
序号 | 货物(服务)名称 | 数量 | 计量单位 | ||||
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1 | 匀胶机 | 1 | 台 | ||||
技术参数 | 1、腔体尺寸:9.5英寸 ( * 毫米); 2、Wafer芯片尺寸: * - * mm直径的材料,方片 * x * mm; 3、转动速度:0- * , * rpm,4、旋涂加速度:0- * , * rpm/sec; 5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%; 6、转速调节精度:<1rpm,重复性< 1rpm; 7、工艺时间设定:1- * .9 sec/step 0.1 精度; 8、*匀胶机材质:NPP天然聚 * 烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方; 9、* 高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0. * %。 * 、程序控制:可存储 * 个程序段,每个程序段可以设置 * 步不同的速度状态; * 、*分辨率:分辨率小于1转/分,可重复性小于±1转/分,美国国家标 (略) (NIST)认证过的,并且无需再校准! * . 电子绝缘负载双保护装置; * . 嵌锁的安全盖板; * . 防腐装置; * . *保护气体装置:旋涂过程中可以充氮气和压缩气体,对 (略) 气流保护; * .配套真空泵系统:无油型 * ~ * 伏交流, * / * 赫兹; * .真空泵参数: * - * 英寸汞柱 (~ 点击查看>> 毫米汞柱),抽速:4.5 SCFM (0. * 立方米/分钟) 。 * 、* 配套分析软件:SPIN * 操作分析软件; * 、原装进口水平测试仪; * 、两袋密封圈; * 、废液接收单元; | ||||||
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