双面对准曝光机

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双面对准曝光机



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( * )采购内容:双面对准曝光机(1台)

( * )主要技术要求:

1)适用基片尺寸:6吋晶圆;

2)LED光源;

3)设备曝光对准模式:TSA+BSA,TSA显微镜物镜:5X standard;

4)mask holder:7吋掩膜版;

5)需与6吋晶圆键合设备配套。

( * )招标联系人:何丽薇 电话: 点击查看>>点击查看>>

采购联系人:杨博文 电话: 点击查看>>点击查看>>

技术负责人:林亚宁 电话: 点击查看>>

该项目采取线下对接报名,请与项目联系人直接联系。




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( * )采购内容:双面对准曝光机(1台)

( * )主要技术要求:

1)适用基片尺寸:6吋晶圆;

2)LED光源;

3)设备曝光对准模式:TSA+BSA,TSA显微镜物镜:5X standard;

4)mask holder:7吋掩膜版;

5)需与6吋晶圆键合设备配套。

( * )招标联系人:何丽薇 电话: 点击查看>>点击查看>>

采购联系人:杨博文 电话: 点击查看>>点击查看>>

技术负责人:林亚宁 电话: 点击查看>>

该项目采取线下对接报名,请与项目联系人直接联系。


    
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