双面对准曝光机
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( * )采购内容:双面对准曝光机(1台)
( * )主要技术要求:
1)适用基片尺寸:6吋晶圆;
2)LED光源;
3)设备曝光对准模式:TSA+BSA,TSA显微镜物镜:5X standard;
4)mask holder:7吋掩膜版;
5)需与6吋晶圆键合设备配套。
( * )招标联系人:何丽薇 电话: 点击查看>> 、 点击查看>>
采购联系人:杨博文 电话: 点击查看>> 、 点击查看>>
技术负责人:林亚宁 电话: 点击查看>>
该项目采取线下对接报名,请与项目联系人直接联系。
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