SG2021007570001中易威特ZZF-500手套箱镀膜机蒸镀系统采购

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SG2021007570001中易威特ZZF-500手套箱镀膜机蒸镀系统采购




发布时间: 点击查看>> * : * : * 截止时间: 点击查看>> * : * : *
基本信息:


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国产含税

增值税普通发票

人民币





合同签订后 * 天内送达

免费上门安装(含材料费)





货到验收合格后付款


申购明细:
序号
1
采购内容
SG 点击查看>> 中易威特ZZF- * 手套箱镀膜机蒸镀系统
数量
1
预算单价
点击查看>>
品牌
中易威特
型号
ZZF- *
规格参数
真空腔室:SUS * 真空专用不锈钢, * * * * * mm; 真空系统:分子泵(FF- 点击查看>> )+TRP- * 机械泵,超高真空挡板阀; 真空极限:由于5* * ^(-5)Pa; 抽速:从大气抽至 * ^(-4)Pa<= * min; 基片台:根据用户要求预留对接接口,另外配 * 套简易基片台具有旋转功能; 蒸发源:6组蒸发源, (略) 分布同 * 圆内,保证6个源到基片的距离相等,源与源之间隔板分离,保证互不污染,1台2kVA蒸发电源,电流控制精度<=1A,切换使用; 膜厚控制系统:采用晶振膜厚控制仪控制,进口inficon SQM * (3探头); 电控系统及报警保护:控制系统 PLC+工控机程序控制,液晶屏人机操作界面,手/自动 * 体控制方式,完善的程序互锁及缺水、过流过压等 (略) (略) 相应保护措施。
质保及售后服务
按行业标准提供服务



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真空腔室:SUS * 真空专用不锈钢, * * * * * mm; 真空系统:分子泵(FF- 点击查看>> )+TRP- * 机械泵,超高真空挡板阀; 真空极限:由于5* * ^(-5)Pa; 抽速:从大气抽至 * ^(-4)Pa<= * min; 基片台:根据用户要求预留对接接口,另外配 * 套简易基片台具有旋转功能; 蒸发源:6组蒸发源, (略) 分布同 * 圆内,保证6个源到基片的距离相等,源与源之间隔板分离,保证互不污染,1台2kVA蒸发电源,电流控制精度<=1A,切换使用; 膜厚控制系统:采用晶振膜厚控制仪控制,进口inficon SQM * (3探头); 电控系统及报警保护:控制系统 PLC+工控机程序控制,液晶屏人机操作界面,手/自动 * 体控制方式,完善的程序互锁及缺水、过流过压等 (略) (略) 相应保护措施。
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